中国で人気のスパッタリング装置用高真空ターボ分子ポンプ(高品質) 執筆者 エピソード | 2023 年 4 月 21 日 | 製品カタログ製品説明 製品説明 分子ポンプ自動ユニットには自動制御システムが搭載されており、各ポンプとバルブの起動・停止を手順に従って制御することで、プレポンピング、前段、高度なバルブ制御を実現します。様々な用途に適しています...