3개의 2인치 타겟을 갖춘 마그네트론 스퍼터링 필름 코팅기(DC 또는 RF 전원 공급)
마그네트론 스퍼터링 코팅기 몇 가지 타겟 소개:
3개의 타겟을 갖춘 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 당사에서 자체 개발한 경제적인 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비입니다. CZPT 기술을 적용하여 모듈식으로 맞춤 제작이 가능합니다. 1인치 또는 2인치 마그네트론 타겟 중에서 선택할 수 있으며, 코팅할 기판의 크기에 따라 타겟 크기를 결정할 수 있습니다. 이 장비는 500W DC 전원 공급 장치와 300W RF 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다. DC 전원 공급 장치는 금속 박막 코팅에, RF 전원 공급 장치는 비금속 박막 코팅에 사용할 수 있습니다. 3개의 타겟을 통해 다층 코팅 또는 다중 코팅 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 고객의 다른 코팅 요구 사항에 따라 DC 전원 공급 장치 및 펄스 전원 공급 장치를 CZPT 방식으로 추가할 수 있습니다. 300W에서 1000W까지 다양한 출력 옵션을 제공하여 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다.
코팅 장비에는 2채널 고정밀 질량 유량계가 장착되어 있습니다. 필요에 따라 최대 4채널 질량 유량계로 가스 경로를 맞춤 구성하여 복잡한 가스 환경 설계 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 이 장비는 혁신적인 터보 분자 펌프 세트를 갖추고 있으며, 최종 진공도는 최대 1.0E-5Pa에 달합니다. 다른 종류의 분자 펌프도 구매 가능합니다. 분자 펌프의 가스 경로는 여러 개의 솔레노이드 밸브로 제어되므로 펌프를 끄지 않고도 챔버를 열어 샘플을 배출할 수 있어 작업 효율을 크게 향상시킬 수 있습니다. 이 장비에는 시스템 제어를 위한 통합 산업용 컴퓨터가 장착될 수 있습니다. 컴퓨터 프로그램에서는 진공 펌프 제어 및 스퍼터링 전력 제어와 같은 대부분의 기능을 이해할 수 있어 실험 효율을 더욱 높일 수 있습니다.
3개 타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅기 소프트웨어:
이 장비는 단층 또는 다층 강유전체 박막, 전도성 박막, 합금 박막, 반도체 박막, 세라믹 박막, 유전체 박막, 광학 박막, 산화물 박막, 고밀도 박막, PTFE 박막 등을 제작하는 데 사용할 수 있습니다. 유사 제품과 비교했을 때, 이 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 활용도가 높을 뿐만 아니라 크기가 작고 작동 방식이 간단하여 실험실에서 재료 박막을 제작하는 데 이상적인 장비입니다.
3개 타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅기의 기술 사양:
| 샘플 단계 | 차원 | φ185mm | 온도 제어 정확도 | ±1ºC |
| 가열 온도 | 최대 500ºC | 회전 속도 | 1~20rpm 조절 가능 | |
| CZPTron 스퍼터링 헤드에 초점 | 수량 | 2″×3 (1″, 2″ 선택 사항) | 냉각기 | 유량 10L/min의 순환식 식수 냉각기 |
| CZPT 방법 | 수냉식 | |||
| 진공 챔버 | 챔버 크기 | φ300mm×300mm | 관찰 창 | φ100mm |
| 상공회의소 콘텐츠 | CZPT 강철 | 열기 모드 | 최상의 보호 기능을 발휘하세요 | |
| 질량 유량계 | 2채널 측정 범위 100sccm 100sccm (소비자 요구에 따른 CZPT) | |||
| 진공 시스템 | 설계 | CY-GZK103-A | 펌핑 인터페이스 | KF40 |
| 분자 펌프 | CY-600 | 배기 인터페이스 | KF16 | |
| 백킹 펌프 | 회전식 베인 펌프 | 진공 측정 | 복합 진공 게이지 | |
| 최종 진공 | 1.0E-5Pa | 전력 제공 | AC220V 50/60Hz | |
| 펌프 가격 | 분자 펌프: 600L/S, 로터리 베인 펌프: 1.1L/S, 탁월한 가스 펌핑 성능: 20분 내 최대 1.0E-3Pa의 진공 형성 | |||
| 에너지 구성 | 수량 | 직류 전원 공급 장치×2 RF 전원 공급 장치 ×1 |
최대 출력 전력 | 직류 500W, 무선 주파수 300W |
| 기타 매개변수 | CZPT 전압 | AC220V, 50Hz | 전체 크기 | 600mm×650mm×1280mm |
| 전체 전력 | 3.5KW | 완전 과중량 | 약 300kg | |
3개 타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비 사진:
2005년에 설립된 항저우 CY CZPT 유한회사는 실험실 기술 조사 장비의 개발 및 생산을 전문으로 하는 회사입니다. 주요 제품으로는 접합, 압착, 소성, 절단, 연마, 코팅 장비, 분석 도구 및 관련 소모품 등이 있습니다. CZPT는 실험실 소결 장비, 코팅 장비 등을 포함하며, 현재 전 세계 25개국과 미국, 유럽, 아시아 등 여러 지역에 수출되어 다양한 연구 분야에서 높은 평가를 받고 있습니다.
저희는 경험이 풍부한 엔지니어링 조사 및 개발팀을 보유하고 있으며, 전문가 수는 33명입니다. 회사 전체 직원 수는 150명이며, 500제곱미터 이상의 사무 공간과 약 1,500제곱미터 규모의 공장을 항저우 하이테크 존 CZPTtronic CZPT 파크에 두고 있습니다. 저희 제품은 주로 연구 시장에 공급되며, 대학 및 연구실의 과학 연구에 활용되고 있습니다. 또한 고객의 요구에 따라 맞춤형 제품도 제작 가능합니다.
질문: 귀사는 제조업체입니까, 아니면 구매 및 판매 조직입니까?
에이. 저희는 전문 실험실 기기 제조업체로서 자체 설계팀과 제조 시설을 보유하고 있으며, 풍부한 경험을 바탕으로 고품질의 제품과 최적의 가격을 보장합니다.
질문: 귀사의 제품 판매 후 사후 관리 서비스는 어떤 방식으로 이루어지나요?
에이. 제품 보증 기간은 12개월이며, 평생 유지 보수 서비스를 제공합니다. 숙련된 사전 판매 및 사후 판매 부서가 24시간 이내에 응답하여 모든 기술적인 문제를 해결해 드립니다.
질문: 배송 기간은 얼마나 걸리나요? 악기를 개인 맞춤 제작하려면 얼마나 걸리나요?
에이.1. 제품 재고가 있는 경우, 배송비는 5~10배입니다. 2. 당사는 고객에게 CZPT 공급업체를 제공할 수 있습니다. 맞춤형 장비의 사양에 따라 일반적으로 30~60일이 소요됩니다.
Q. 우리나라의 전력 공급 방식과 콘센트 방식이 서로 다릅니다. 어떻게 해결해야 할까요?
에이. 저희는 전 세계 여러 국가의 전원 플러그 규격에 맞춰 고객님의 지역 요구 사항에 맞는 변압기와 플러그를 제공해 드릴 수 있습니다.
질문: 어떻게 지급받으시나요?
에이.T/T, L/C, D/P 등의 결제 방식을 사용할 경우 Alibaba CZPT Assure를 이용하는 것이 좋습니다.
질문: 제품 거래는 어떻게 진행되나요? 배송 및 전달 전략은 어떻게 되나요?
에이.1. 일반 수출용 훈증 소독 표시가 있는 목재 상자 포장 2. 구매자의 요구 사항에 따라 분류, 항공, 해상 운송 중 가장 적합한 방법을 찾아 운송
더 궁금한 사항이 있으시면 구매자/공급업체 담당자에게 문의하십시오.
