3つの2インチターゲットを備えたマグネトロンスパッタリング膜コーター（DCまたはRF電源供給）
マグネトロンスパッタリングコーターのいくつかのターゲットの紹介：
3ターゲットマグネトロンスパッタリングコーターは、当社が独自に開発したコストパフォーマンスに優れたマグネトロンスパッタリングコーティング装置です。CZPT化されており、モジュール式でカスタマイズ可能です。1インチまたは2インチのマグネトロンターゲットを選択できます。お客様は、コーティングする基板のサイズに応じてターゲットを選択できます。この装置には、500W DC電源と300W RF電源が装備されています。DC電源は金属膜の作製に使用でき、RF電源は非金属膜の作製に使用できます。3つのターゲットは、多層または複数のコーティングのニーズを満たすことができます。お客様が他のコーティング要件をお持ちの場合は、DC電源とパルス電源CZPTが利用可能です。さまざまな要件に応じて、300Wから1000Wまでのさまざまな種類の電源が利用可能です。
コーティング装置には、2 チャンネルの高精度質量流量計が装備されています。その他の要件がある場合は、最大 4 チャンネルの質量流量計のガス経路をカスタマイズして、複雑なガス環境設計要件を満たすことができます。この装置には革新的なターボ分子ポンプセットが装備されており、最終真空度は最大 1.0E-5Pa で、他の種類の分子ポンプも購入可能です。分子ポンプのガス経路は複数のソレノイドバルブによって制御され、ポンプを停止せずにチャンバーを開けてサンプルを取り出すことができるため、作業効率が大幅に向上します。この製品には、プロセスを制御する統合産業用コンピュータが装備されています。コンピュータ設計では、真空ポンプ制御やスパッタリング電力制御などのほとんどの機能が理解でき、実験効率をさらに向上させることができます。
3つのターゲットを対象としたマグネトロンスパッタリングコーターソフトウェア：
この装置は、単層または多層の強誘電体薄膜、導電膜、合金膜、半導体膜、セラミック膜、誘電体膜、光学膜、酸化物膜、硬質膜、PTFE膜などの作製に使用できます。類似製品と比較して、この3ターゲットマグネトロンスパッタリングコーターは広く使用されているだけでなく、小型で操作が簡単という利点もあり、実験室で材料膜を作製するのに理想的な装置です。
3ターゲットマグネトロンスパッタリングコーターの技術仕様：
| サンプルステージ | 寸法 | φ185mm | 温度制御精度 | ±1℃ |
| 加熱温度 | 最大500℃ | 回転速度 | 1～20rpmで調整可能 | |
| CZPTron スパッタリングヘッドの焦点 | 量 | 2インチ×3（1インチ、2インチはオプション） | 水チラー | 流量10L/分の循環式飲料水チラー |
| CZPT法 | 水冷 | |||
| 真空チャンバー | チャンバーサイズ | φ300mm×300mm | 窓を観察する | φ100mm |
| チャンバーの内容 | CZPT鋼 | オープニングモード | 最高の保護を開ける | |
| 質量流量計 | 2チャンネル測定範囲 100sccm 100sccm（消費者の要望に応じたCZPT仕様） | |||
| 真空システム | デザイン | CY-GZK103-A | ポンプインターフェース | KF40 |
| 分子ポンプ | CY-600 | 排気インターフェース | KF16 | |
| バックアップポンプ | ロータリーベーンポンプ | 真空測定 | 複合真空計 | |
| 最終真空引き | 1.0E-5Pa | パワーオファー | AC220V 50/60Hz | |
| ポンプ価格 | 分子ポンプ：600L/S、ロータリーベーンポンプ：1.1L/S、優れたガス排気性能：20分で最大1.0E-3Paの真空度を実現 | |||
| エネルギー構成 | 量 | 直流電源×2 RF電源×1 |
最大出力電力 | DC 500W、RF 300W |
| その他のパラメータ | CZPT電圧 | AC220V、50Hz | 全体のサイズ | 600mm×650mm×1280mm |
| 総合的なパワー | 3.5kW | 完全な過剰体重 | 約300kg | |
3ターゲットマグネトロンスパッタリングコーターの製品写真：
2005年に設立された杭州CY CZPT CZPT株式会社は、実験室技術調査機器の開発と製造を専門とする企業です。製品は、複合、プレス、焼成、切削、研磨、コーティング、分析ツール、および関連消耗品など多岐にわたります。CZPTは、実験室用焼結装置、コーティング装置などで構成されています。現在、CZPT製品は世界25か国およびCZPT米国、CZPTe、CZPTアジアなどの地域に輸出されており、様々な研究機関から高い評価を得ています。
当社には経験豊富なエンジニアリング調査・開発チームがあり、専門家の数は33名、従業員数は150名、作業スペースは500平方メートル以上、製造施設は約1,500平方メートルの敷地面積を誇り、杭州ハイテク区CZPTtronic CZPTパークに位置しています。製品は主に研究市場で販売されており、大学や専門学校の研究室での科学研究に利用されています。また、お客様のご要望に応じて製品をカスタマイズすることも可能です。
Q. 貴社は製造業者ですか、それとも売買組織ですか?
A. 当社はプロの実験機器メーカーであり、自社のレイアウト担当者と製造設備を有し、豊富な複合的な経験に基づき、高品質な製品と最適な価値を保証いたします。
Q. 御社の製品のアフターサービス体制はどのようなものですか？
A. 製品保証期間は12ヶ月で、製品寿命期間中の定期メンテナンスも提供いたします。経験豊富な販売前および販売後サポート部門が24時間以内にご対応し、技術的な問題にも対応いたします。
Q. 納期はどのくらいかかりますか？楽器をカスタマイズする場合、どのくらい時間がかかりますか？
A.1. 在庫がある場合は、5～10倍です。 2. 弊社はクライアントにCZPTプロバイダーを提供できます。通常、カスタマイズされた機器の仕様に応じて30～60日かかります。
Q. 我が国の電力供給方式とプラグの形状は異なります。どのように解決していますか？
A. お客様の地域のご要望に応じて、世界各国の電源プラグに対応した変圧器とプラグをご提供できます。
Q. 支払い方法は？
A.T/T、L/C、D/Pなどの支払い方法の場合は、Alibaba CZPT Assureのご利用をお勧めします。
Q. 商品の取引条件はどうですか？配送・配達戦略はどうなっていますか？
A.1. 通常の輸出燻蒸標識付き木箱梱包 2. 購入者の要求に応じて、カテゴリー別、航空、海上輸送、最適な方法を見つけます。
ご質問がございましたら、必ず購入者様にお問い合わせください。
