การรับประกัน: 1 ปี
การสนับสนุนแบบกำหนดเอง: OEM, ODM
หมายเลขรุ่น: GWSP1000
การใช้งาน: อุตสาหกรรมอาหารและเครื่องดื่ม, อุตสาหกรรมยา, เครื่องดูดสุญญากาศระดับสูง, เครื่องสปัตเตอร์สุญญากาศ, เครื่องทำความสะอาดพลาสมา IC, เครื่องขัดเงาพลาสมา IC, เครื่องบรรจุภัณฑ์ IC, ห้องขนส่ง IC, เตาอบสุญญากาศ LED, ห้องล็อค/ถ่ายโอนโหลด, กล่องถุงมือ, เครื่องบรรจุภัณฑ์ LED, การฉีดและบรรจุภัณฑ์ผลึกเหลว, เตาอบสุญญากาศ, เตาอบกระจายสุญญากาศ, การพิมพ์โลหะ 3 มิติ, เตาอบการเติบโตของผลึกเดี่ยว, เครื่องทำความสะอาดและอบแห้งด้วยไมโครเวฟ, การหลอมด้วยลำแสงอิเล็กตรอน/เลเซอร์, การไล่แก๊สสุญญากาศ, การทดแทนแก๊สสุญญากาศ, เครื่องอบแห้งแบบแช่แข็ง, การจัดเก็บสุญญากาศ, เครื่องฆ่าเชื้อพลาสมาอุณหภูมิต่ำ, อุปกรณ์ทันตกรรม, เครื่องอบแห้งและบรรจุภัณฑ์แบตเตอรี่ลิเธียม, สเปกโทรสโกปี/กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน, เครื่องจำลองสภาพแวดล้อมอวกาศ, เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของฮีเลียม, เครื่องสเปกโทรเมตรมวล, การฟื้นฟูปั๊มไครโอ, ชิ้นส่วนรถยนต์คุณภาพสูง ลูกรอกปรับความตึงสายพานเครื่องยนต์สำหรับ Honda Civic 2006-2011 ชุดปรับความตึง 31170-RWK-005 31170-RNA-A03 อุปกรณ์สุญญากาศ, เครื่องดูดสุญญากาศระดับสูงแบบไร้น้ำมัน, เครื่องทำความสะอาดแบบไร้น้ำมัน เครื่องดูดฝุ่น
แหล่งพลังงาน: ไฟฟ้า
แรงดัน: แรงดันต่ำ
โครงสร้าง: ปั๊มแบบสกรอลล์
การรับรอง: ได้รับการรับรอง CE, EAC, ISO9001
คุณสมบัติ: ไม่ใช้น้ำมัน เสียงเบา ไม่ต้องบำรุงรักษา ให้การดูดฝุ่นที่สะอาด
ซีลเชิงกล: ซีลแบบมีช่องว่าง
มอเตอร์: 3 เฟส, 50-60 เฮิรตซ์, 1425/1725 รอบต่อนาที, 200-416 โวลต์, 1.5 กิโลวัตต์ ปลั๊กสำหรับสหรัฐอเมริกา สหภาพยุโรป สหราชอาณาจักร และอินเดีย
มาตรฐานหรือไม่มาตรฐาน: มาตรฐาน
วัสดุ: โลหะผสมอลูมิเนียม
สี: เทา
รายละเอียดบรรจุภัณฑ์: บรรจุภัณฑ์กล่องกระดาษรังผึ้งมาตรฐาน หุ้มด้วยฟิล์มพลาสติกยืดป้องกันภายนอก
ส
ปั๊มสุญญากาศแบบสกรอลล์ไร้น้ำมัน GWSP
ปั๊มสุญญากาศแบบสกรอลล์ไร้น้ำมันซีรีส์ GWSP หรือที่รู้จักกันในชื่อ ปั๊มหมุนวน ปั๊มสกรอลล์แห้ง ปั๊มสกรอลล์ไร้น้ำมัน ปั๊มสุญญากาศแบบสกรอลล์แห้ง ปั๊มสุญญากาศแบบหมุนวนไร้น้ำมัน เหมาะอย่างยิ่งสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โฟโตอิเล็กทริก วัสดุ การแพทย์ พลังงาน อวกาศ เครื่องมือวิเคราะห์ และระบบสุญญากาศ ด้วยข้อดีของโครงสร้างที่กะทัดรัด ขนาดเล็ก น้ำหนักเบา การสั่นสะเทือนต่ำ เสียงรบกวนต่ำ สายพานไทม์มิ่งประสิทธิภาพสูง ISO 5294 H 18 ฟัน เคลือบสีดำ ใช้พลังงานต่ำ เหมาะสำหรับแหล่งจ่ายไฟทั่วโลก เริ่มการทำงานด้วยปุ่มเดียว สามารถเริ่มและหยุดการทำงานได้บ่อยครั้งระหว่างความดันบรรยากาศและสุญญากาศ GEOWELL เป็นผู้ผลิตปั๊มสุญญากาศแบบสกรอลล์มืออาชีพที่มีประสบการณ์มากกว่า 20 ปี มีอายุการใช้งานยาวนานที่สุดและยอดขายมากที่สุดในประเทศจีน ปั๊มสุญญากาศแบบสกรอลล์ซีรีส์ GWSP ของ GEOWELL คือตัวเลือกที่ดีที่สุดสำหรับเทคโนโลยีการสูบจ่ายที่สะอาด
ข้อกำหนดทางเทคนิค
| แบบอย่าง | จีดับบลิวเอสพี1000 | ||
| การเคลื่อนย้าย | 50Hz | ซีเอฟเอ็ม | 35.8 |
| ม3/ชม | 59.8 | ||
| ล/ส | 16.6 | ||
| ลิตร/นาที | 996.0 | ||
| 60Hz | ซีเอฟเอ็ม | 42.8 | |
| ม3/ชม | 71.6 | ||
| ล/ส | 20.0 | ||
| ลิตร/นาที | 1195.0 | ||
| แรงกดดันสูงสุด | ทอร์ | ≤7.5*10-3 | |
| psi | ≤1.5*10-4 | ||
| เอ็มบาร์ | ≤1.0*10-2 | ||
| ปา | ≤1 | ||
| ระดับเสียง | เดซิเบล(เอ) | ≤63 | |
| การรั่วไหล | มบาร์·ล/วินาที | 1*10-7 | |
| แรงดันขาเข้า/ขาออกสูงสุด | เมกะปาสคาล | 0.1 / 0.13 | |
| อุณหภูมิการทำงานโดยรอบ | ℉ | 41~104 | |
| ประเภทการระบายความร้อน | ระบายความร้อนด้วยอากาศ | ||
| หน้าแปลนทางเข้า/ทางออก | KF40/KF16*2 | ||
| มอเตอร์ 3 เฟส | พลัง | กิโลวัตต์ | 1.50 |
| แรงดันไฟฟ้า | วี | 200~230 หรือ 380~415 (50Hz), 200~230 หรือ 460 (60Hz) | |
| ความเร็ว | รอบต่อนาที | 1425 (50Hz), 1725 (60Hz) | |
| มิติ | 3 เฟส | มม. | 565*445*405 |
| น้ำหนักสุทธิ | 3 เฟส | กก. | 54 |
| คนอื่น | ด้วยการไล่อากาศ | ||
ข้อควรระวังด้านความปลอดภัย
ปั๊มสุญญากาศแบบสกรอลล์ไร้น้ำมันรุ่น GWSP เหมาะสำหรับกระบวนการที่ต้องการความสะอาดเท่านั้น
ห้ามสูบสารพิษ สารระเบิด สารไวไฟ สารกัดกร่อน หรือสารที่มีสารเคมี ตัวทำละลาย หรืออนุภาค GEOWELL จะไม่ดำเนินการบำรุงรักษาปั๊มที่เคยใช้ก๊าซพิเศษหรือสารอันตรายอื่นๆ โปรดตรวจสอบให้แน่ใจว่าอุณหภูมิของก๊าซขาเข้าต้องต่ำกว่า 122 องศาฟาเรนไฮต์
รายละเอียดงานก่อสร้าง
กราฟแสดงประสิทธิภาพ
คุณสมบัติและประโยชน์
เครื่องดูดฝุ่นแบบไร้น้ำมัน
ไม่มีการแพร่กลับของน้ำมัน ไม่มีไอเสียเป็นละอองน้ำมัน
จัดสภาพแวดล้อมการดูดฝุ่นที่สะอาด
ผลิตภัณฑ์หลากหลายประเภท
อัตราการสูบจ่ายครอบคลุมช่วง 1.8~35.4 cfm ระดับสุญญากาศสูงสุด 7.5*10⁻³~6.0*10⁻² Torr
เหมาะสำหรับแหล่งจ่ายไฟทุกประเภททั่วโลก
มีให้เลือกใช้งานที่แรงดันไฟฟ้า 110/220/380/460 โวลต์ และความถี่ 50/60 เฮิรตซ์
การสั่นสะเทือนต่ำ เสียงรบกวนต่ำ
57~63 dB(A) การทำงานราบรื่น
ประสิทธิภาพสูง บำรุงรักษาง่าย
ไม่ใช้ระบบระบายความร้อนด้วยน้ำ ไม่ใช้น้ำมันหล่อลื่น ไม่ต้องบำรุงรักษาประจำวัน
แอปพลิเคชัน
อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
เครื่องสปัตเตอร์แบบสุญญากาศ
เครื่องทำความสะอาดพลาสมา IC
เครื่องขัดผิวพลาสม่า IC
เครื่องบรรจุภัณฑ์ IC
ห้องส่งผ่านสัญญาณ IC
อุตสาหกรรมโฟโตอิเล็กทริก
เตาอบสุญญากาศแบบใช้ไฟ LED
ห้องล็อก/ถ่ายโอนกระสุน
ช่องเก็บของในรถ
เครื่องบรรจุภัณฑ์ LED
การฉีดและบรรจุภัณฑ์ผลึกเหลว
อุตสาหกรรมวัสดุ
เตาอบอ่อนตัวแบบสุญญากาศ
เตาอบกระจายความร้อนแบบสุญญากาศ
การพิมพ์โลหะ 3 มิติ
เตาเผาสำหรับการเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยว
เครื่องอบแห้งด้วยไมโครเวฟ
การหลอมด้วยลำแสงอิเล็กตรอน/เลเซอร์
การไล่แก๊สด้วยระบบสุญญากาศ
การทดแทนก๊าซสุญญากาศ
อุตสาหกรรมอาหารและยา
เครื่องอบแห้งแบบแช่แข็ง
การเก็บรักษาในสุญญากาศ
อุปกรณ์ทางการแพทย์
เครื่องฆ่าเชื้อด้วยพลาสมาอุณหภูมิต่ำ
การเก็บรักษาในสุญญากาศ
อุปกรณ์ทันตกรรม
อุตสาหกรรมพลังงาน
เครื่องกู้คืนก๊าซ SF6
เครื่องอบแห้งและบรรจุภัณฑ์แบตเตอรี่ลิเธียม
การวิเคราะห์เครื่องมือและอุปกรณ์
สเปกโทรสโกปี/กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน scHangZhou
เครื่องจำลองสภาพแวดล้อมอวกาศ
เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของฮีเลียม
เครื่องสเปกโทรเมตรมวล
การฟื้นฟูปั๊มความเย็น
เครื่องเร่งอนุภาค/ซินโครตรอน
อุปกรณ์สุญญากาศ
เครื่องดูดสุญญากาศระดับสูงพิเศษแบบไร้น้ำมัน
เครื่องดูดฝุ่นแบบไร้น้ำมัน
ใบรับรอง
GEOWELL ได้สร้างเส้นทางการวิจัยและพัฒนาเทคโนโลยีปั๊มสุญญากาศแบบสกรอลล์ไร้น้ำมันอย่างอิสระ ตั้งแต่การวิจัยเชิงทฤษฎีขั้นพื้นฐาน การพัฒนาแอปพลิเคชัน ไปจนถึงการผลิตจำนวนมาก GEOWELL ได้สะสมสิทธิบัตรทางเทคนิคและเทคโนโลยีที่เป็นกรรมสิทธิ์มากกว่า 60 รายการ และได้รับการรับรองมาตรฐาน CE ของยุโรป EAC ของรัสเซีย และ ISO9001
การควบคุมคุณภาพ
GEOWELL ได้ผสานแนวคิดด้านคุณภาพเข้ากับทุกแง่มุมของการผลิตสินค้า การควบคุมคุณภาพเริ่มต้นตั้งแต่การรับวัตถุดิบ การผลิต การประกอบ ไปจนถึงการจัดส่ง โดยมีการตรวจสอบคุณภาพทุกขั้นตอน มีการปฏิบัติตามมาตรฐานการทดสอบอย่างเคร่งครัด และใช้ข้อมูลเป็นเกณฑ์เดียวในการตรวจสอบคุณภาพ (High Quality Aluminium 3D Printer Parts 2GT Timing Belt Pulley 16 Tooth 15mm)
บรรจุภัณฑ์และการจัดส่ง
ข้อมูลบริษัท
บริษัท จีโอเวลล์ แวคคัม จำกัด เป็นบริษัทไฮเทคในประเทศจีนที่ทุ่มเทให้กับการผลิต การวิจัยและพัฒนา และการตลาดปั๊มสุญญากาศแบบสกรอลล์ไร้น้ำมันและเครื่องอัดอากาศสุญญากาศมาตั้งแต่ปี 2545 จีโอเวลล์มุ่งมั่นที่จะมอบผลิตภัณฑ์คุณภาพเยี่ยมที่มีประสิทธิภาพและเชื่อถือได้ให้กับผู้ใช้งานและพันธมิตร จีโอเวลล์เชื่อว่าการผสานรวมผลิตภัณฑ์และบริการที่มีประสิทธิภาพสูง ความน่าเชื่อถือสูง จะนำมาซึ่งคุณค่าสูงสุดแก่ทั้งลูกค้าและตัวเราเอง
นิทรรศการ
คำถามและคำตอบ
ถาม: ฉันจะได้รับคำตอบหลังจากที่เราส่งคำถามไปแล้วนานแค่ไหน?
A: เราจะตอบกลับคุณภายใน 12 ชั่วโมงในวันทำการ
ถาม: คุณเป็นผู้ผลิตโดยตรงหรือไม่?
A: ใช่ค่ะ เราเป็นผู้ผลิตโดยตรงที่มีโรงงานและแผนกต่างประเทศ เราผลิตและจำหน่ายสินค้าทั้งหมดของเราเองค่ะ
ถาม: คุณจะจัดส่งสินค้าให้เราได้เมื่อไหร่?
A: เนื่องจากเราเป็นโรงงานที่มีคลังสินค้าขนาดใหญ่ เราจึงมีสินค้าพร้อมส่งจำนวนมาก ดังนั้นเราจึงสามารถจัดส่งสินค้าได้ภายใน 7 วันหลังจากได้รับเงินมัดจำของคุณ
ถาม: ฉันสามารถเพิ่มโลโก้ลงในผลิตภัณฑ์ได้หรือไม่?
A: แน่นอนค่ะ แต่โดยปกติแล้วเราจะมีข้อกำหนดเรื่องปริมาณการสั่งซื้อ คุณสามารถติดต่อเราเพื่อสอบถามรายละเอียดเพิ่มเติมได้ค่ะ
ถาม: จะรับประกันคุณภาพและบริการหลังการขายของผลิตภัณฑ์ได้อย่างไร?
A: เราดำเนินการตรวจสอบอย่างเข้มงวดตลอดกระบวนการผลิต ตั้งแต่การรับวัตถุดิบจนถึงการจัดส่งสินค้า ทุกผลิตภัณฑ์ต้องผ่านการตรวจสอบ 4 ขั้นตอน ได้แก่ การหล่อ การกลึง การประกอบ และการทดสอบประสิทธิภาพภายในโรงงานของเราก่อนการจัดส่ง นอกจากนี้เรายังรับประกันการตรวจสอบบรรจุภัณฑ์ที่สมบูรณ์อีกด้วย
ถาม: ระยะเวลารับประกันสินค้าของคุณคือเท่าไร?
A: สินค้าส่งออกของเรามีการรับประกัน 12 เดือนนับจากวันที่จัดส่ง หากหมดระยะเวลารับประกันแล้ว ลูกค้าจะต้องชำระค่าอะไหล่ทดแทน
ถาม: มีตัวอย่างสินค้าให้ดูไหม?
A: ใช่ค่ะ โดยปกติเราจะส่งตัวอย่างสินค้าทาง Fedex, DHL, TNT, UPS, EMS, SF, Depon ซึ่งจะใช้เวลาประมาณ 3-4 วันกว่าลูกค้าจะได้รับสินค้า แต่ลูกค้าจะต้องรับผิดชอบค่าใช้จ่ายทั้งหมดที่เกี่ยวข้องกับตัวอย่างสินค้า เช่น ค่าตัวอย่างและค่าขนส่งทางอากาศ เราจะคืนค่าตัวอย่างสินค้าให้ลูกค้าหลังจากได้รับสินค้าที่สั่งซื้อแล้ว
ความรู้พื้นฐานเกี่ยวกับปั๊มสุญญากาศ
ปั๊มสุญญากาศเป็นอุปกรณ์ที่ดูดโมเลกุลของก๊าซออกจากปริมาตรที่ปิดสนิทและรักษาสภาพสุญญากาศบางส่วน หน้าที่หลักคือการสร้างสุญญากาศสัมพัทธ์ภายในปริมาตรที่กำหนด มีปั๊มสุญญากาศหลายประเภท บทความนี้จะอธิบายวิธีการทำงาน ประเภท และการใช้งานของปั๊มสุญญากาศแต่ละประเภท 
วิธีการทำงาน
ปั๊มสุญญากาศเป็นอุปกรณ์เชิงกลที่กำจัดแก๊สออกจากระบบโดยการเพิ่มความดันให้สูงกว่าความดันบรรยากาศโดยรอบ หลักการทำงานของปั๊มสุญญากาศนั้นอยู่บนพื้นฐานของหลักการถ่ายเทและการกักเก็บแก๊ส ปั๊มสุญญากาศสามารถจำแนกได้ตามระดับสุญญากาศและจำนวนโมเลกุลที่สามารถกำจัดได้ต่อลูกบาศก์เซนติเมตรของพื้นที่ ในระดับสุญญากาศปานกลางถึงสูง จะเกิดการไหลแบบหนืดเมื่อโมเลกุลของแก๊สชนกัน การเพิ่มระดับสุญญากาศจะทำให้เกิดการไหลแบบโมเลกุลหรือการไหลแบบเปลี่ยนผ่าน
ปั๊มสุญญากาศมีส่วนประกอบหลายอย่างที่ทำให้เป็นเครื่องมืออเนกประสงค์ ส่วนประกอบหลักอย่างหนึ่งคือมอเตอร์ ซึ่งประกอบด้วยโรเตอร์และสเตเตอร์ โรเตอร์และสเตเตอร์มีขดลวดที่สร้างสนามแม่เหล็กเมื่อได้รับพลังงาน ทั้งสองส่วนต้องติดตั้งบนฐานที่รองรับน้ำหนักของปั๊ม นอกจากนี้ยังมีท่อระบายน้ำมันที่หมุนเวียนน้ำมันไปทั่วระบบเพื่อหล่อลื่นและระบายความร้อน
ปั๊มสุญญากาศอีกประเภทหนึ่งคือปั๊มสุญญากาศแบบวงแหวนของเหลว หลักการทำงานคือการวางใบพัดไว้เหนือหรือใต้ใบมีด ปั๊มแบบวงแหวนของเหลวยังสามารถปรับความเร็วของใบพัดได้ด้วย อย่างไรก็ตาม หากคุณวางแผนที่จะใช้ปั๊มประเภทนี้ ควรปรึกษาผู้เชี่ยวชาญก่อน
ปั๊มสุญญากาศทำงานโดยการเคลื่อนย้ายโมเลกุลของก๊าซไปยังบริเวณที่มีความดันสูงหรือต่ำกว่า เมื่อความดันลดลง การกำจัดโมเลกุลก็จะยากขึ้น ระบบสุญญากาศในอุตสาหกรรมต้องการปั๊มที่สามารถทำงานได้ในช่วงความดัน 1 ถึง 10⁻⁶ Torr
พิมพ์
ปั๊มสุญญากาศมีหลายประเภท มีการใช้งานหลากหลาย เช่น ในห้องปฏิบัติการ จุดประสงค์หลักของปั๊มเหล่านี้คือการกำจัดโมเลกุลของอากาศหรือก๊าซออกจากห้องสุญญากาศ ปั๊มแต่ละประเภทใช้เทคนิคที่แตกต่างกันเพื่อให้บรรลุเป้าหมายนี้ บางชนิดใช้หลักการแทนที่เชิงบวก ในขณะที่บางชนิดใช้เทคนิควงแหวนของเหลว การถ่ายโอนโมเลกุล และการดักจับ
ปั๊มเหล่านี้บางส่วนใช้ในกระบวนการทางอุตสาหกรรม รวมถึงการผลิตหลอดสุญญากาศ จอ CRT หลอดไฟ และกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ นอกจากนี้ยังใช้ในยานยนต์เพื่อขับเคลื่อนชิ้นส่วนไฮดรอลิกและเครื่องบิน โดยปกติแล้วไจโรสโคปจะถูกควบคุมโดยปั๊มเหล่านี้ ในบางกรณี ปั๊มเหล่านี้ยังใช้ในทางการแพทย์อีกด้วย
หลักการทำงานของปั๊มสุญญากาศขึ้นอยู่กับชนิดของก๊าซที่ถูกสูบ โดยมีอยู่ 3 ประเภทหลัก ได้แก่ ปั๊มแบบปริมาตรคงที่ ปั๊มแบบปริมาตรลบ และปั๊มแบบถ่ายโอนโมเมนตัม นอกจากนี้ ยังสามารถแบ่งหลักการเหล่านี้ออกเป็นประเภทของปั๊มต่างๆ ได้อีก ขึ้นอยู่กับชนิดของสารหล่อลื่น เช่น ปั๊มสุญญากาศแบบแห้งจะมีความไวต่อก๊าซและไอระเหยน้อยกว่า
ปั๊มสุญญากาศอีกประเภทหนึ่งเรียกว่า ปั๊มใบพัดหมุน (Rotary Vane Pump) ปั๊มประเภทนี้มีส่วนประกอบหลักสองส่วน คือ โรเตอร์และห้องสุญญากาศ ปั๊มเหล่านี้ทำงานโดยการหมุนชิ้นส่วนที่เคลื่อนที่ได้ไปกระทบกับตัวเรือนปั๊ม พื้นผิวสัมผัสของปั๊มใบพัดหมุนได้รับการออกแบบให้มีช่องว่างเล็กน้อยมากเพื่อป้องกันการรั่วไหลของของเหลวไปยังด้านที่มีแรงดันต่ำ ปั๊มประเภทนี้เหมาะสำหรับงานสุญญากาศที่ต้องการการสั่นสะเทือนต่ำและอัตราการไหลต่อเนื่องสูง อย่างไรก็ตาม ไม่เหมาะสำหรับใช้กับวัสดุบดละเอียด
ปั๊มสุญญากาศมีหลายประเภท และสิ่งสำคัญคือต้องเลือกปั๊มที่เหมาะสมกับการใช้งาน ประเภทของปั๊มขึ้นอยู่กับความต้องการและวัตถุประสงค์ของระบบ ปั๊มขนาดใหญ่สามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่อง ในขณะที่ปั๊มขนาดเล็กเหมาะสำหรับการใช้งานเป็นช่วงๆ 
นำมาใช้
ปั๊มสุญญากาศถูกนำไปใช้ในกระบวนการทางอุตสาหกรรมและวิทยาศาสตร์หลากหลายประเภท ตัวอย่างเช่น ใช้ในการผลิตหลอดสุญญากาศ จอ CRT และหลอดไฟ นอกจากนี้ยังใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ปั๊มสุญญากาศยังใช้เป็นอุปกรณ์ช่วยพยุงทางกลสำหรับอุปกรณ์อื่นๆ ตัวอย่างเช่น อาจมีปั๊มสุญญากาศหลายตัวในเครื่องยนต์ของยานยนต์ที่ใช้ขับเคลื่อนส่วนประกอบไฮดรอลิกของเครื่องบิน นอกจากนี้ยังมักใช้ในการวิจัยฟิวชั่นด้วย
ปั๊มสุญญากาศชนิดที่ใช้กันทั่วไปในห้องปฏิบัติการคือปั๊มแบบใบพัดหมุน (Rotary Vane Pump) หลักการทำงานคือการส่งกระแสลมผ่านใบพัดหมุนหลายใบในตัวเรือนทรงกลม เมื่อใบพัดเคลื่อนที่ผ่านตัวเรือน จะดูดก๊าซออกจากช่องว่างและสร้างสุญญากาศ ปั๊มแบบใบพัดหมุนมักมีขั้นตอนเดียวหรือสองขั้นตอน และสามารถรับแรงดันได้ระหว่าง 10 ถึง 6 บาร์ นอกจากนี้ยังมีอัตราการสูบจ่ายสูงอีกด้วย
ปั๊มสุญญากาศยังใช้ในการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์บนแผ่นเวเฟอร์ ซึ่งเกี่ยวข้องกับกระบวนการต่างๆ เช่น การเจือสาร การแพร่ การกัดแบบแห้ง การตกตะกอนไอสารเคมีแบบเสริมด้วยพลาสมา และการสร้างผงจำนวนมาก การใช้งานเหล่านี้ขึ้นอยู่กับประเภทของปั๊มสุญญากาศที่ใช้ในกระบวนการ และปั๊มสุญญากาศที่เลือกควรได้รับการออกแบบให้เหมาะสมกับสภาพแวดล้อม
แม้ว่าจะมีปั๊มสุญญากาศหลายประเภทให้เลือกใช้ แต่หลักการทำงานพื้นฐานยังคงเหมือนเดิม แต่ละประเภทมีฟังก์ชันและกำลังการผลิตที่แตกต่างกัน ขึ้นอยู่กับประเภทของสุญญากาศ โดยทั่วไปแบ่งออกเป็น ปั๊มแบบปริมาตรคงที่ ปั๊มแบบใบพัดหมุน ปั๊มแบบวงแหวนของเหลว และปั๊มแบบส่งโมเลกุล
การซ่อมบำรุง
ผู้รับผิดชอบการบำรุงรักษาและการซ่อมแซมทั่วไปคือหัวหน้าโครงการวิจัย (Principal Investigator: PI) ต้องปฏิบัติตามและได้รับการอนุมัติจาก PI และบุคลากรห้องปฏิบัติการที่เกี่ยวข้อง Agknx ให้แนวทางสำหรับการบำรุงรักษาอุปกรณ์ปั๊มสุญญากาศเป็นประจำ Agknx ไม่ได้มีวัตถุประสงค์เพื่อทดแทนการตรวจสอบอุปกรณ์ปั๊มสุญญากาศอย่างละเอียดเป็นประจำ ซึ่งควรดำเนินการโดยช่างผู้ชำนาญการที่ได้รับการรับรอง/มีคุณสมบัติ หากอุปกรณ์ทำงานผิดปกติ ผู้ใช้ควรติดต่อ PI หรือ RP เพื่อขอความช่วยเหลือ
ขั้นแรก ตรวจสอบปั๊มสุญญากาศว่ามีชิ้นส่วนใดหลวมหรือไม่ ตรวจสอบให้แน่ใจว่าเกจวัดแรงดันขาเข้าและขาออกเปิดอยู่ เมื่อแสดงแรงดันที่ถูกต้องแล้ว ให้เปิดวาล์วประตู นอกจากนี้ ตรวจสอบแรงดันและอัตราการไหลของปั๊มสุญญากาศ อัตราการไหลและแรงดันควรอยู่ในช่วงที่ระบุไว้บนฉลาก อุณหภูมิของแบริ่งควรอยู่ภายใน 35°F และอุณหภูมิสูงสุดไม่ควรเกิน 80°F ควรเปลี่ยนบูชของปั๊มสุญญากาศเมื่อสึกหรออย่างรุนแรง
หากปั๊มสุญญากาศมีสภาวะการทำงานผิดปกติหลายครั้ง ควรทำการทดสอบประสิทธิภาพ และเปรียบเทียบผลลัพธ์กับค่าอ้างอิงเพื่อระบุความผิดปกติ การบำรุงรักษาเชิงป้องกันอย่างเป็นระบบจึงมีความสำคัญอย่างยิ่งเพื่อหลีกเลี่ยงการชำรุดของปั๊มก่อนกำหนด นี่เป็นเรื่องใหม่ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ แต่บริษัทเซมิคอนดักเตอร์ชั้นนำและผู้ผลิตปั๊มสุญญากาศรายใหญ่ยังคงต้องพัฒนาระบบที่สอดคล้องกันต่อไป
มีการเสนอวิธีการทดสอบการลดแรงดันแบบง่ายเพื่อประเมินประสิทธิภาพของปั๊มสุญญากาศ วิธีการนี้ประกอบด้วยการทดสอบภาคสนามจำลองการเติมอากาศและตัวชี้วัดประสิทธิภาพของปั๊มสี่ตัว ตัวชี้วัดประสิทธิภาพจะได้รับการประเมินภายใต้สภาวะการทดสอบที่มีก๊าซบรรจุ สภาวะขณะไม่ได้ใช้งาน และสภาวะการทดสอบที่ขึ้นอยู่กับปริมาณก๊าซบรรจุ 
ค่าใช้จ่าย
ต้นทุนรวมของปั๊มสุญญากาศประกอบด้วยสองส่วนหลัก ได้แก่ การลงทุนเริ่มต้นและค่าบำรุงรักษาอย่างต่อเนื่อง โดยส่วนหลังเป็นส่วนประกอบที่แพงที่สุด เนื่องจากมีค่าใช้จ่ายประมาณสี่ถึงห้าเท่าของการลงทุนเริ่มต้น ดังนั้น การเลือกใช้รุ่นที่ประหยัดพลังงานมากกว่าจึงเป็นวิธีที่ดีในการลดต้นทุนรวมของระบบและระยะเวลาคืนทุน
ต้นทุนเริ่มต้นของปั๊มสุญญากาศอยู่ที่ประมาณ $786 ปั๊มแบบโรตารี่ใบพัดที่ใช้น้ำมันหล่อลื่นมีราคาถูกที่สุด ในขณะที่ปั๊มแบบโรตารี่ใบพัดที่ไม่ใช้น้ำมันหล่อลื่นมีราคาแพงกว่าเล็กน้อย ปั๊มแบบไม่สัมผัสก็มีราคาสูงกว่าเล็กน้อยเช่นกัน ต้นทุนของปั๊มสุญญากาศนั้นไม่สูง แต่เป็นปัจจัยที่ต้องพิจารณาอย่างรอบคอบ
ในการเลือกปั๊มสุญญากาศ สิ่งสำคัญคือต้องพิจารณาประเภทของก๊าซที่ต้องการสูบ ปั๊มบางชนิดเหมาะสำหรับการสูบอากาศเท่านั้น ในขณะที่บางชนิดออกแบบมาเพื่อสูบฮีเลียม อากาศที่ปราศจากน้ำมันมีอัตราการสูบที่แตกต่างจากอากาศ ดังนั้น คุณต้องพิจารณาคุณลักษณะของตัวกลางเพื่อให้แน่ใจว่าปั๊มตรงตามความต้องการของคุณ ต้นทุนของปั๊มสุญญากาศอาจสูงกว่าราคาซื้อมาก เนื่องจากค่าใช้จ่ายในการใช้งานและการบำรุงรักษาในแต่ละวันอาจสูงกว่ามาก
ปั๊มสุญญากาศแบบหล่อลื่นมักทนทานกว่าและราคาถูกกว่า แต่ก็อาจต้องการการบำรุงรักษามากกว่า ค่าใช้จ่ายในการบำรุงรักษาจะขึ้นอยู่กับชนิดของก๊าซที่ต้องสูบ ก๊าซที่เบากว่าต้องสูบช้าๆ ในขณะที่ก๊าซที่หนักกว่าต้องสูบเร็วขึ้น ระดับการบำรุงรักษาของปั๊มสุญญากาศยังขึ้นอยู่กับความถี่ในการหล่อลื่นด้วย
ปั๊มสุญญากาศแบบไดอะแฟรมจำเป็นต้องได้รับการบำรุงรักษาและเปลี่ยนถ่ายน้ำมันอย่างสม่ำเสมอ ควรเปลี่ยนถ่ายน้ำมันในปั๊มไดอะแฟรมทุกๆ 3000 ชั่วโมงการใช้งาน ปั๊มชนิดนี้ทนต่อสารเคมีและการกัดกร่อนได้ดี ดังนั้นจึงสามารถใช้กับผลิตภัณฑ์ที่เป็นกรดและมีความหนืดสูงได้
แก้ไขโดย czh2023-02-07
