多晶硅真空系统

Poly Crystalline Silicon Vacuum Systems

 

描述
罗茨式旋转活塞泵系统由罗茨真空泵和旋转活塞真空泵串联组成。旋转活塞真空泵用作罗茨真空泵的预真空泵和辅助真空泵，而罗茨真空泵则作为主真空泵。罗茨真空泵和旋转活塞真空泵的排量比选择主要取决于真空系统在长期运行下的真空度。在低真空环境下工作时，建议选择较小的排量比（2:1 至 4:1）；在中等或高真空环境下工作时，则需要选择较大的排量比（4:1 至 10:1）。
 
获得
1.真空度更高，在中等或高度真空环境下排气性能更佳，工作范围更广，节能效果显著。
二、内置机架，结构紧凑，所需空间不大。
3. 自动化程度高，操作简便，维护简单，安全可靠，经久耐用。
四、根据最终用户的具体要求，定制特定的泵技术。
 
范围
单级旋转活塞式单罗茨泵真空系统的主要规格

设计 中泵 
50赫兹		 后盾 
泵		 位移
（升/秒）		 终极部分 
应变(Pa)		 最终总计 
应力（Pa）		 电机功率
（千瓦）		 吸
（毫米）		 释放
（毫米）
JZH75-3 ZJ-75 H-25DVA 七十五 .05 。八 四.4，三.7 一百 四十
JZH110-4 ZJ-110 H-25DVA 一百一十 .05 。八 四.4，三.7 一百 四十
JZH150-6 ZJ-150 H-25DVA 一百五十 .05 。八 五、二、四、五 一百 五十
JZH220-4 ZJ-220 H-50DV 220 .05 .8 8,6 100 50
JZH220-三 ZJ-220 H-60DVA 220 .05 。八 8，七 100 五十
JZH300-4 ZJ-300 H-70DV 300 .05 .8 九五 一百五十 63
JZH300-3 ZJ-300 H-100DV 300 .05 。八 11.5 一百五十 63
JZH600-六 ZJ-600 H-100DV 600 .05 。八 15、十三 200 63
JZH600-5 ZJ-600 H-120DV 600 .05 .8 十五，13 二百 63
JZH600-4 ZJ-600 H-150DV 600 .05 .8 18.5，16.5 200 80
JZH600-3.5 ZJ-600 H-160DV 600 .05 。八 18.5，16.5 200 八十
JZH600-3 ZJ-600 H-220DV 600 .05 。八 22.5,20.5 200 一百
JZH1200-8 ZJ-1200 H-150DV 1200 .05 。八 22 250 80
JZH1200-七.五 ZJ-1200 H-160DV 1200 .05 。八 22 250 80
JZH1200-5 ZJ-1200 H-220DV 1200 .05 .8 26 250 一百
 
JZH1200-4 ZJ-1200 H-300DV 1200 .05 。八 33 250 一百
JZH1800-8 ZJ-1800 H-220DV 1800 .05 。八 30 250 100
JZH1800-6 ZJ-1800 H-300DV 1800 .05 .8 37 250 100
JZH1800-3 ZJ-1800 H-600DV 1800 .05 .8 六十 250 一百五十
JZH2500-11 ZJ-2500 H-220DV 2500 .05 .8 37 三百 一百
JZH2500-8 ZJ-2500 H-300DV 2500 .05 .8 四十四 三百 一百
JZH2500-4 ZJ-2500 H-600DV 2500 .05 。八 六十七 三百 150
JZH5000-8 ZJ-5000 H-600DV 5000 .05 。八 82 四百 150

 
单级罗茨泵双级旋转活塞泵真空系统的主要规格

模型 主泵 
50赫兹		 后盾 
泵		 位移
（升/秒）		 终极部分 
力（帕斯卡）		 最终总计 
压力（帕斯卡）		 电机功率
（千瓦）		 吸
（毫米）		 释放
（毫米）
ZJ2H75-5 ZJ-75 2H-15DVA 七十五 .02 。五 四.4，3.7 一百 四十
ZJ2H110-7 ZJ-一百一十 2H-15DVA 110 .02 .5 四.四，3.七 一百 40
ZJ2H150-5 ZJ-150 2H-30DV 一百五十 .02 .5 七，6 一百 五十
ZJ2H220-7 ZJ-220 2H-30DV 220 .02 。五 8,6 一百 50
ZJ2H220-5 ZJ-220 2H-45DVA 220 .02 。五 八，7 一百 50
ZJ2H220-4 ZJ-220 2H-50DV 220 .02 .5 9.5，8.5 100 63
ZJ2H300-6 ZJ-300 2H-50DV 三百 .02 。五 九.5 一百五十 六十三
ZJ2H300-4 ZJ-300 2H-70DV 300 .02 。五 11.5 一百五十 六十三
ZJ2H600-8.5 ZJ-600 2H-70DV 600 .02 。五 十五 200 六十三
ZJ2H600-七.五 ZJ-600 2H-80DV 600 .02 。五 15 二百 63
ZJ2H600-六 ZJ-600 2H-120DV 600 .02 .5 18.5，16.5 200 八十
ZJ2H600-5 ZJ-600 2H-120DV 600 .02 。五 18.5，16.5 二百 80
ZJ2H1200-8 ZJ-1200 2H-150DV 1200 .02 。五 26 250 一百
ZJ2H1200-5 ZJ-1200 2H-220DV 1200 .02 .5 33 250 100
ZJ2H1800-8 ZJ-1800 2H-220DV 1800 .02 。五 37 250 100
ZJ2H1800-4 ZJ-1800 2H-450DV 1800 .02 。五 六十 250 一百五十
ZJ2H2500-11 ZJ-2500 2H-220DV 2500 .02 。五 四十四，四十五 300 一百
ZJ2H2500-5.5 ZJ-2500 2H-450DV 2500 .02 。五 六十七，63.5 300 150
ZJ2H5000-11 ZJ-5000 2H-450DV 5000 .02 .5 82 400 一百五十

 
双罗茨泵与单级旋转活塞泵真空系统的主要技术规格

设计 主泵 
50赫兹		 中泵 
50赫兹		 后盾 
泵		 位移
（升/秒）		 终极部分 
应变(Pa)		 最终总计 
压力（帕斯卡）		 电机功率
（千瓦）		 吸
（毫米）		 释放
（毫米）
J2ZH220-33 ZJ-220 ZJ-75 H-25DVA 220 .02 。五 7.4 100 四十
J2ZH300-43 ZJ-300 ZJ-75 H-25DVA 三百 .02 。五 8.4 一百五十 四十
J2ZH600-43 ZJ-600 ZJ-150 H-50DV 600 .02 。五 14.5 200 50
J2ZH1200-53.5 ZJ-1200 ZJ-220 H-60DVA 1200 .02 。五 18 250 50
J2ZH1200-53 ZJ-1200 ZJ-220 H-70DV 1200 .02 。五 19.5 250 六十三
J2ZH1200-43 ZJ-1200 ZJ-300 H-100DV 1200 .02 。五 22.5 250 六十三
J2ZH1200-42.5 ZJ-1200 ZJ-300 H-120DV 1200 .02 。五 22.5 250 63
J2ZH1800-62.5 ZJ-1800 ZJ-300 H-150DV 1800 .02 。五 26.5 250 六十三
J2ZH1800-34 ZJ-1800 ZJ-600 H-160DV 1800 .02 .5 33.5 250 八十
J2ZH1800-33.5 ZJ-1800 ZJ-600 H-150DV 1800 .02 。五 33.5 250 八十
J2ZH2500-44 ZJ-2500 ZJ-600 H-160DV 2500 .02 .5 40.5 300 八十
J2ZH2500-43.5 ZJ-2500 ZJ-600 2H-220DV 2500 .02 。五 40.5 300 八十
J2ZH2500-43 ZJ-2500 ZJ-600 H-220DV 2500 .02 .5 44.5 三百 一百
J2ZH5000-44 ZJ-5000 ZJ-1200 H-300DV 5000 .02 。五 70 400 一百
J2ZH5000-33 ZJ-5000 ZJ-1800 H-600DV 5000 .02 。五 九十七 400 150

 
双级旋转活塞泵真空系统两台罗茨泵的主要规格

模型 主泵 
50赫兹		 中泵 
50赫兹		 后盾 
泵		 位移
（升/秒）		 终极部分 
压力（帕斯卡）		 最终总计 
应力（Pa）		 电机功率
（千瓦）		 吸
（毫米）		 释放
（毫米）
J2Z2H220-35 ZJ-220 ZJ-75 2H-15DVA 220 .01 .3 8.4 100 四十
J2Z2H300-42.5 ZJ-300 ZJ-75 2H-30DV 三百 .01 。三 十.2 一百五十 20
J2Z2H600-43.5 ZJ-600 ZJ-一百五十 2H-45DVA 600 .01 .3 十.2 二百 二十
J2Z2H600-43 ZJ-600 ZJ-150 2H-50DV 600 .01 。三 14.5 200 20
J2Z2H1200-53 ZJ-1200 ZJ-220 2H-70DV 1200 .01 .3 14.5 250 六十三
J2Z2H1200-44 ZJ-1200 ZJ-300 2H-80DV 1200 .01 。三 22.5 250 六十三
J2Z2H1200-43 ZJ-1200 ZJ-300 2H-100DV 1200 .01 。三 22.5 250 80
J2Z2H1200-42.5 ZJ-1200 ZJ-300 2H-120DV 1200 .01 .3 26 250 八十
J2Z2H1800-34 ZJ-1800 ZJ-600 2H-150DV 1800 .01 .3 37.5 250 一百
J2Z2H1800-33.5 ZJ-1800 ZJ-600 2H-160DV 1800 .01 .3 37.5 250 一百
J2Z2H1800-33 ZJ-1800 ZJ-600 2H-220DV 1800 .01 .3 44.5 250 一百
J2Z2H1800-43.5 ZJ-2500 ZJ-600 2H-160DV 2500 .01 。三 44.5 三百 一百
J2Z2H2500-43 ZJ-2500 ZJ-600 2H-220DV 2500 .01 .3 51.5 300 一百
J2Z2H5000-43 ZJ-5000 ZJ-1200 2H-450DV 5000 .01 .3 93 四百 150

注意：1、如果罗茨真空泵以 60Hz 运行，则排量应增加到 1.2 倍。
          2、对于带旁通阀的 ZJP 罗茨真空泵，机组型号必须改为 J2ZPH，其他参数不变。
 
软件
广泛应用于真空镀膜、真空冶金、真空热处理、真空干燥、真空浸渍、真空过滤、多晶硅生产、航空航天模拟等领域。

 

海港：中国杭州/浙江
通用：CE标志，实质性备件
发货和交付：通常按照我们工厂的生产流程进行，但我们也可以根据您的首次购买时间安排发货和交付。 
保修：如果水泵出现质量问题，将在1年内免费更换备件。
 
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