多結晶シリコン真空システム

Poly Crystalline Silicon Vacuum Systems

 

説明
ルーツ式ロータリーピストンポンプシステムは、ルーツ式真空ポンプとロータリーピストン式真空ポンプを直列に接続して構成されています。ロータリーピストン式真空ポンプは、ルーツ式真空ポンプの予備真空ポンプおよび補助真空ポンプとして使用され、ルーツ式真空ポンプは主真空ポンプです。ルーツ式真空ポンプとロータリーピストン式真空ポンプの排気量比の選択は、主に長期管理における真空システムの真空値に関係します。低真空で作業する場合は、小さな排気量比（2:1～4:1）を選択することをお勧めします。中真空または高真空で作業する場合は、より大きな排気量比（4:1～10:1）を選択する必要があります。
 
得
1. より高い真空度、中真空または高真空における高い排気性能、幅広い作業範囲、明らかな省エネ効果。
２．内蔵ラック、コンパクトな構造、必要スペースは控えめ。
3. 大規模な自動化、簡単な操作、容易なメンテナンス、安全で信頼性が高く耐久性のある動作。
4. 最終使用者の個々の要件に合わせて、特定のポンプ技術をカスタマイズする。
 
パラメータ
単段ロータリーピストンポンプ真空システムを備えたルーツポンプ1台の主な仕様

デザイン ミドルポンプ 
50Hz		 バッキング 
ポンプ		 変位
（リットル/秒）		 究極の部分 
ひずみ（Pa）		 最終合計 
ストレス(Pa)		 モーター出力
（キロワット）		 吸引
（ミリメートル）		 退院
（ミリメートル）
JZH75-3 ZJ-75 H-25DVA 75 .05 。八 4.4、3.7 100 40
JZH110-4 ZJ-110 H-25DVA 110 .05 。八 4.4、3.7 100 40
JZH150-6 ZJ-150 H-25DVA 150 .05 。八 5.2、4.5 100 50
JZH220-4 ZJ-220 H-50DV 220 .05 .8 8,6 100 50
JZH220-3 ZJ-220 H-60DVA 220 .05 。八 8、7 100 50
JZH300-4 ZJ-300 H-70DV 300 .05 .8 9.5 150 63
JZH300-3 ZJ-300 H-100DV 300 .05 。八 11.5 150 63
JZH600-6 ZJ-600 H-100DV 600 .05 。八 15、13 200 63
JZH600-5 ZJ-600 H-120DV 600 .05 .8 15、13 200 63
JZH600-4 ZJ-600 H-150DV 600 .05 .8 18.5、16.5 200 80
JZH600-3.5 ZJ-600 H-160DV 600 .05 。八 18.5、16.5 200 80
JZH600-3 ZJ-600 H-220DV 600 .05 。八 22.5,20.5 200 100
JZH1200-8 ZJ-1200 H-150DV 1200 .05 。八 22 250 80
JZH1200-7.5 ZJ-1200 H-160DV 1200 .05 。八 22 250 80
JZH1200-5 ZJ-1200 H-220DV 1200 .05 .8 26 250 100
 
JZH1200-4 ZJ-1200 H-300DV 1200 .05 。八 33 250 100
JZH1800-8 ZJ-1800 H-220DV 1800 .05 。八 30 250 100
JZH1800-6 ZJ-1800 H-300DV 1800 .05 .8 37 250 100
JZH1800-3 ZJ-1800 H-600DV 1800 .05 .8 60 250 150
JZH2500-11 ZJ-2500 H-220DV 2500 .05 .8 37 300 100
JZH2500-8 ZJ-2500 H-300DV 2500 .05 .8 44 300 100
JZH2500-4 ZJ-2500 H-600DV 2500 .05 。八 67 300 150
JZH5000-8 ZJ-5000 H-600DV 5000 .05 。八 82 400 150

 
二段式ロータリーピストンポンプ真空システムを備えたルーツポンプ1台の主な仕様

モデル メインポンプ 
50Hz		 バッキング 
ポンプ		 変位
（リットル/秒）		 究極の部分 
力（Pa）		 最終合計 
圧力（Pa）		 モーター出力
（キロワット）		 吸引
（ミリメートル）		 退院
（ミリメートル）
ZJ2H75-5 ZJ-75 2H-15DVA 75 .02 。五 4.4、3.7 100 40
ZJ2H110-7 ZJ-110 2H-15DVA 110 .02 .5 4.4、3.7 100 40
ZJ2H150-5 ZJ-150 2時間30分 150 .02 .5 7、6 100 50
ZJ2H220-7 ZJ-220 2時間30分 220 .02 。五 8,6 100 50
ZJ2H220-5 ZJ-220 2H-45DVA 220 .02 。五 8、7 100 50
ZJ2H220-4 ZJ-220 2H-50DV 220 .02 .5 9.5、8.5 100 63
ZJ2H300-6 ZJ-300 2H-50DV 300 .02 。五 9.5 150 63
ZJ2H300-4 ZJ-300 2H-70DV 300 .02 。五 11.5 150 63
ZJ2H600-8.5 ZJ-600 2H-70DV 600 .02 。五 15 200 63
ZJ2H600-7.5 ZJ-600 2H-80DV 600 .02 。五 15 200 63
ZJ2H600-6 ZJ-600 2H-120DV 600 .02 .5 18.5、16.5 200 80
ZJ2H600-5 ZJ-600 2H-120DV 600 .02 。五 18.5、16.5 200 80
ZJ2H1200-8 ZJ-1200 2H-150DV 1200 .02 。五 26 250 100
ZJ2H1200-5 ZJ-1200 2H-220DV 1200 .02 .5 33 250 100
ZJ2H1800-8 ZJ-1800 2H-220DV 1800 .02 。五 37 250 100
ZJ2H1800-4 ZJ-1800 2H-450DV 1800 .02 。五 60 250 150
ZJ2H2500-11 ZJ-2500 2H-220DV 2500 .02 。五 44、45 300 100
ZJ2H2500-5.5 ZJ-2500 2H-450DV 2500 .02 。五 67、63.5 300 150
ZJ2H5000-11 ZJ-5000 2H-450DV 5000 .02 .5 82 400 150

 
単段ロータリーピストンポンプ真空システム用ルーツポンプ2台の主な仕様

デザイン メインポンプ 
50Hz		 ミドルポンプ 
50Hz		 バッキング 
ポンプ		 変位
（リットル/秒）		 究極の部分 
ひずみ（Pa）		 最終合計 
圧力（Pa）		 モーター出力
（キロワット）		 吸引
（ミリメートル）		 退院
（ミリメートル）
J2ZH220-33 ZJ-220 ZJ-75 H-25DVA 220 .02 。五 7.4 100 40
J2ZH300-43 ZJ-300 ZJ-75 H-25DVA 300 .02 。五 8.4 150 40
J2ZH600-43 ZJ-600 ZJ-150 H-50DV 600 .02 。五 14.5 200 50
J2ZH1200-53.5 ZJ-1200 ZJ-220 H-60DVA 1200 .02 。五 18 250 50
J2ZH1200-53 ZJ-1200 ZJ-220 H-70DV 1200 .02 。五 19.5 250 63
J2ZH1200-43 ZJ-1200 ZJ-300 H-100DV 1200 .02 。五 22.5 250 63
J2ZH1200-42.5 ZJ-1200 ZJ-300 H-120DV 1200 .02 。五 22.5 250 63
J2ZH1800-62.5 ZJ-1800 ZJ-300 H-150DV 1800 .02 。五 26.5 250 63
J2ZH1800-34 ZJ-1800 ZJ-600 H-160DV 1800 .02 .5 33.5 250 80
J2ZH1800-33.5 ZJ-1800 ZJ-600 H-150DV 1800 .02 。五 33.5 250 80
J2ZH2500-44 ZJ-2500 ZJ-600 H-160DV 2500 .02 .5 40.5 300 80
J2ZH2500-43.5 ZJ-2500 ZJ-600 2H-220DV 2500 .02 。五 40.5 300 80
J2ZH2500-43 ZJ-2500 ZJ-600 H-220DV 2500 .02 .5 44.5 300 100
J2ZH5000-44 ZJ-5000 ZJ-1200 H-300DV 5000 .02 。五 70 400 100
J2ZH5000-33 ZJ-5000 ZJ-1800 H-600DV 5000 .02 。五 97 400 150

 
2段式ロータリーピストンポンプ真空システム用2ルーツポンプの主な仕様

モデル メインポンプ 
50Hz		 ミドルポンプ 
50Hz		 バッキング 
ポンプ		 変位
（リットル/秒）		 究極の部分 
圧力（Pa）		 最終合計 
ストレス(Pa)		 モーター出力
（キロワット）		 吸引
（ミリメートル）		 退院
（ミリメートル）
J2Z2H220-35 ZJ-220 ZJ-75 2H-15DVA 220 .01 .3 8.4 100 40
J2Z2H300-42.5 ZJ-300 ZJ-75 2時間30分 300 .01 。三つ 10.2 150 20
J2Z2H600-43.5 ZJ-600 ZJ-150 2H-45DVA 600 .01 .3 10.2 200 20
J2Z2H600-43 ZJ-600 ZJ-150 2H-50DV 600 .01 。三つ 14.5 200 20
J2Z2H1200-53 ZJ-1200 ZJ-220 2H-70DV 1200 .01 .3 14.5 250 63
J2Z2H1200-44 ZJ-1200 ZJ-300 2H-80DV 1200 .01 。三つ 22.5 250 63
J2Z2H1200-43 ZJ-1200 ZJ-300 2H-100DV 1200 .01 。三つ 22.5 250 80
J2Z2H1200-42.5 ZJ-1200 ZJ-300 2H-120DV 1200 .01 .3 26 250 80
J2Z2H1800-34 ZJ-1800 ZJ-600 2H-150DV 1800 .01 .3 37.5 250 100
J2Z2H1800-33.5 ZJ-1800 ZJ-600 2H-160DV 1800 .01 .3 37.5 250 100
J2Z2H1800-33 ZJ-1800 ZJ-600 2H-220DV 1800 .01 .3 44.5 250 100
J2Z2H1800-43.5 ZJ-2500 ZJ-600 2H-160DV 2500 .01 。三つ 44.5 300 100
J2Z2H2500-43 ZJ-2500 ZJ-600 2H-220DV 2500 .01 .3 51.5 300 100
J2Z2H5000-43 ZJ-5000 ZJ-1200 2H-450DV 5000 .01 .3 93 400 150

注意:1、ルーツ真空ポンプを60Hzで運転する場合、排気量を1.2倍に増やす必要があります。
          2.バイパスバルブ付きのZJPルーツ真空ポンプの場合、ユニットモデルをJ2ZPHに変更する必要があります。その他のパラメータは変更されません。
 
ソフトウェア
真空コーティング、真空冶金、真空熱処理、真空乾燥、真空含浸、真空ストレーナー、ポリシリコン製造、航空宇宙シミュレーションなど、幅広い分野で使用されています。

 

港: 杭州/浙江省、中国
共通：CEマーク、相当程度の予備部品
配送と配達：通常は当社の製造施設の生産ルーチンに従いますが、初回購入時に対応することも可能です。 
保証：ポンプの品質に問題がある場合は、1年以内に無償で交換部品を提供いたします。
 
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含まれるもの：杭州工業区、杭州、中国 パーソナルコンピュータ：317106
TEL:-576-83598308 FAX:-576-83598309 

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