ラボハイアーCZPTクロムCZPT CZPTronスパッタリングコーターCZPT
RF&DC CZPTronスパッタリングコーターの紹介:
デュアルターゲットマグネトロンスパッタリングコーターは、当社が独自に開発したコスト効率の高いマグネトロンスパッタリングコーティング装置です。CZPT化され、モジュール化されており、カスタマイズ可能です。1インチまたは2インチのマグネトロンターゲットからお選びいただけます。コーティングする基板のサイズに合わせてターゲットを選択できます。本装置は500WのDC電源と300WのRF電源を搭載しています。DC電源は金属膜の成膜に、RF電源は非金属膜の成膜に使用できます。2つのターゲットを組み合わせることで、多層コーティングや多重コーティングのニーズに対応できます。
コーティング装置には、2チャンネルの高精度質量流量計が搭載されています。ご要望に応じて、最大4チャンネルの質量流量計の燃料経路をカスタマイズすることで、複雑なガス環境構築要件を満たすことができます。本装置は高性能ターボ分子ポンプセットを搭載し、到達真空度は最大1.0E-5Paです。その他の分子ポンプもオプションでご用意しています。分子ポンプのガス経路は複数のソレノイドバルブによって制御されており、ポンプを停止することなくチャンバーを開いてサンプルを取り出すことができるため、作業効率が大幅に向上します。本製品には、プロセス制御用の産業用コンピューターを内蔵しています。ソフトウェアでは、真空ポンプ制御やスパッタリング電力制御など、ほとんどの機能が理解でき、実験パフォーマンスをさらに向上させることができます。
RF&DC CZPTron スパッタリングコーターの用途:
この装置は、単層または多層の強誘電体薄膜、導電性薄膜、合金薄膜、半導体薄膜、セラミック薄膜、誘電体薄膜、光学薄膜、酸化物薄膜、強靭性薄膜、PTFE薄膜などの成膜に使用できます。関連装置と比較して、デュアルフォーカスマグネトロンスパッタリングコーターは広く使用されているだけでなく、小型で操作が簡単という利点があり、実験室での材料薄膜作製に最適な装置です。
RF&DC CZPTron スパッタリングコーターの技術的パラメータ:
| サンプルステージ | サイズ | φ185mm | 温度管理精度 | ±1℃ |
| 加熱温度 | 最大500℃ | 回転速度 | 1-20rpm調整可能 | |
| CZPTron スパッタリングヘッドの焦点 | 量 | 2インチ×2（1インチ、2インチはオプション） | 水チラー | 流量10L/分の循環式H2Oチラー |
| CZPTの方法 | 水冷 | |||
| 真空チャンバー | チャンバーサイズ | φ300mm×300mm | 窓を見る | φ100mm |
| チャンバー物質 | CZPTメタル | オープニングモード | 上カバーを開く | |
| 質量流量計 | 2チャンネル測定範囲100SCCM 100SCCM（顧客のニーズに応じたCZPT） | |||
| 真空法 | モデル | CY-GZK103-A | ポンプインターフェース | KF40 |
| 分子ポンプ | CY-600 | 排気インターフェース | KF16 | |
| バックアップポンプ | ロータリーベーンポンプ | 真空測定 | 複合真空計 | |
| 最高の真空 | 1.0E-5Pa | 電力供給 | AC220V 50/60Hz | |
| ポンピング速度 | 分子ポンプ：600L/S ロータリーベーンポンプ：1.1L/S 広範なガスポンプ機能：20分で最大1.0E-3Paの真空を実現 |
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| 電気構成 | 額 | DC電源×1 RF電源×1 |
最大出力電力 | DC 500W、RF 300W |
| その他のパラメータ | CZPT電圧 | AC220V、50Hz | 全周寸法 | 600mm×650mm×1280mm |
| 総電力 | 2.5kW | 総超過重量 | 約300kg | |
2005年に設立された杭州CY CZPT CZPT株式会社は、実験室工学研究製品の開発・製造を専門とする企業です。製品は、混合、プレス、焼成、切断、研磨、コーティング、分析機器、および関連消耗品です。CZPTには、実験室用焼結装置、コーティング装置などが含まれます。現在、CZPTはCZPT米国、CZPTe、CZPTアジアなど25の国と地域に輸出されており、様々な研究機関から高い評価を得ています。
当社は、熟練した技術革新研究開発チームを擁し、技術者は33名、従業員数は150名、500平方メートルを超えるオフィススペースを有しています。また、杭州ハイテクゾーンCZPTtronic CZPTパークに位置する約1,500平方メートルの工場も擁しています。当社の製品は主に研究分野に展開しており、大学や専門学校の研究室で科学研究に利用されています。また、お客様のご要望に応じて製品をカスタマイズすることも可能です。
Q. 貴社はメーカーですか、それとも投資会社ですか?
A. 当社は熟練した研究機器会社であり、独自の設計チームと工場を持ち、成熟した技術的専門知識を備えており、高品質の製品と理想的な価格を保証できます。
Q. 貴社の商品販売後のアフターサポート体制はどのようなものですか？
A. ソリューション保証期間は12ヶ月で、生涯にわたるメンテナンスをご提供いたします。経験豊富な収益前部門と収益後部門が24時間以内に返信し、複雑な問題にも対応いたします。
Q. 配送と配達にはどれくらい時間がかかりますか？楽器をカスタマイズしたい場合、どれくらい時間がかかりますか？
A.1. 商品の在庫がある場合、5～10日でお届けします。2. お客様にはCZPTサービスもご提供できます。カスタム機器の要件に応じて、通常30～60日かかります。
Q. 我が国の電源供給とプラグの種類が多様です。どのように解決していますか？
A. 各国の電気プラグに合わせて、お近くの仕様に合わせた変圧器とプラグをご提供いたします。
Q. 支払い方法は？
A.T / T、L / C、D / Pなどの支払い方法では、Alibaba CZPT Promiseを使用することをお勧めします。
Q. 商品のパッケージ内容や配送方法はどうなっていますか？
A.1. 通常の輸出燻蒸信号ピケットボックス梱包 2. 顧客の仕様に応じてカテゴリ、航空、海上輸送、最も適切な方法を見つけます。
さらに詳しいお問い合わせは、クライアントプロバイダーにご連絡ください。
