
Lab Higher CZPT 铬 CZPT CZPTron 溅射镀膜机 CZPT
RF&DC CZPTron溅射镀膜机简介:
双靶磁控溅射镀膜机是我公司自主研发的高性价比磁控溅射镀膜设备。该设备采用CZPT技术,模块化设计,可定制化。可选配1英寸或2英寸磁控靶。客户可根据待镀基材的尺寸选择合适的靶材。该设备配备500W直流电源和300W射频电源。直流电源可用于金属薄膜的制备,射频电源可用于非金属薄膜的制备。两个靶材即可满足多层或多层镀膜的需求。
该涂层设备配备了双通道高精度质量流量计。如有其他需求,可定制最多四通道质量流量计的燃料路径,以满足复杂的气体环境构建要求。该仪器配备了先进的涡轮分子泵组,最终真空度可达1.0E-5Pa,并可选配其他类型的分子泵。分子泵气体路径由多个电磁阀控制,您无需关闭泵即可打开腔室取出样品,从而显著提高操作效率。该产品可配备内置工业计算机来管理流程。在计算机软件中,您可以控制真空泵和溅射功率等大部分功能,这将进一步提升您的实验效率。
RF&DC CZPTron溅射镀膜机应用:
该设备可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介电薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、韧性薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。与同类设备相比,双焦点磁控溅射镀膜机不仅应用广泛,而且体积小巧、操作简便,是实验室制备材料薄膜的理想设备。
RF&DC CZPTron溅射镀膜机技术参数:
| 样品阶段 | 尺寸 | φ185毫米 | 温度管理精度 | ±1ºC |
| 加热温度 | 最高温度500ºC | 旋转速度 | 1-20rpm可调 | |
| CZPTron溅射聚焦于头部 | 数量 | 2英寸×2(1英寸、2英寸可选) | 水冷水机 | 循环水冷却器,流量为10升/分钟 |
| CZPT方式 | 水冷 | |||
| 真空室 | 腔室尺寸 | φ300mm×300mm | 看看窗户 | φ100毫米 |
| 腔室物质 | CZPT金属 | 打开模式 | 顶盖打开 | |
| 质量流量计 | 2 个通道测量种类 100SCCM 100SCCM(根据客户需求 CZPT) | |||
| 真空法 | 模型 | CY-GZK103-A | 泵送接口 | KF40 |
| 分子泵 | CY-600 | 排气接口 | KF16 | |
| 备用泵 | 旋转叶片泵 | 真空测量 | 复合真空计 | |
| 至尊真空 | 1.0E-5帕 | 电力供应 | 交流220伏 50/60赫兹 | |
| 泵送速率 | 分子泵:600升/秒;旋片泵:1.1升/秒 强大的气体抽气功能:20 分钟内真空度可达 1.0E-3Pa |
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| 电力配置 | 数量 | 直流电源×1 射频电源×1 |
最大输出功率 | 直流500瓦,射频300瓦 |
| 其他参数 | CZPT电压 | 交流220伏,50赫兹 | 整体尺寸 | 600毫米×650毫米×1280毫米 |
| 总功率 | 2.5千瓦 | 总超重 | 约300公斤 | |
杭州中芯国际化学技术有限公司(简称“中芯国际化学技术有限公司”)成立于2005年,是一家专业从事实验室工程研究产品研发和生产的企业。产品涵盖混合、压制、烧结、研磨、抛光、涂层等分析工具及相关耗材。中芯国际化学技术有限公司的产品包括实验室烧结设备、涂层设备等。目前,产品已出口到包括中芯国际美国、中芯国际中国、中芯国际亚洲等在内的25个国家和地区,并受到众多科研单位的认可。
我们拥有一支成熟的技术创新研发团队,技术人员33人,公司员工150人,办公面积超过500平方米,生产基地位于杭州高新技术产业开发区CZPTtronic CZPT园区,占地面积约1500平方米。产品主要面向科研市场,服务于高校实验室等科研机构,也可根据您的需求定制产品。
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