Қытай өндірушісі 2 дюймдік 3 дюймдік айналмалы қалақшалы вакуумдық сорғының бағасы маған жақын жердегі вакуумдық сорғы майы

Жартылай өткізгіштер өндірісінде вакуумдық сорғылардың рөлі қандай?

Вакуумдық сорғылар жартылай өткізгіштерді өндіру процестерінде маңызды рөл атқарады. Міне, егжей-тегжейлі түсініктеме:

Жартылай өткізгіштер өндірісі әртүрлі электрондық қолданбаларда қолданылатын интегралдық микросхемалар (МС) және басқа да жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруді қамтиды. Вакуумдық сорғылар жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде нақты өндіріс кезеңдеріне қажетті вакуумдық жағдайларды жасау және ұстап тұру үшін кеңінен қолданылады.

Жартылай жартылай өткізгіштер өндірісінде вакуумдық сорғылардың кейбір негізгі рөлдері:

1. Тұндыру процестері: Вакуумдық сорғылар физикалық бу тұндыру (PVD) және химиялық бу тұндыру (CVD) сияқты тұндыру процестерінде қолданылады. Бұл процестер әртүрлі қабаттар мен үлгілерді жасау үшін жартылай өткізгіш пластиналарға материалдардың жұқа қабықшаларын тұндырудан тұрады. Вакуумдық сорғылар тұндыру процесін дәл басқару үшін қажетті төмен қысымды ортаны жасауға көмектеседі, біркелкі және жоғары сапалы қабықша түзілуін қамтамасыз етеді.

2. Ою және тазалау: Вакуумдық сорғылар жартылай өткізгіш пластиналардан белгілі бір қабаттарды немесе ластаушы заттарды кетіруді қамтитын ою және тазалау процестерінде қолданылады. Плазмалық ою және реактивті иондық ою сияқты құрғақ ою әдістері материалдың иондалуын және жойылуын жеңілдету үшін вакуумдық ортаны қажет етеді. Вакуумдық сорғылар тиімді ою және тазалау процестері үшін қажетті төмен қысымды жағдайларды жасауға көмектеседі.

3. Иондық имплантация: Иондық имплантация - жартылай өткізгіш пластинаның электрлік қасиеттерін өзгерту үшін оның белгілі бір аймақтарына қоспаларды енгізу үшін қолданылатын процесс. Вакуумдық сорғылар иондық имплантация камерасын босату үшін қолданылады, бұл иондық сәуленің дәл және бақыланатын үдеуін және имплантациясын қамтамасыз ету үшін қажетті вакуумдық ортаны жасайды.

4. Пластинаны өңдеу және тасымалдау: Вакуумдық сорғылар пластинаны өңдеу және тасымалдау жүйелерінде қолданылады. Бұл жүйелер вакуумдық соруды пайдаланып, жартылай өткізгіш пластиналарды әртүрлі өндіріс кезеңдерінде, мысалы, технологиялық камералардан тиеу және түсіру, құралдар арасында роботтық тасымалдау және пластиналарды туралау кезінде сенімді ұстап тұрады.

5. Жүктемені бекіту жүйелері: Жүктемені бекіту жүйелері жартылай өткізгіш пластиналарды атмосфералық жағдайлар мен технологиялық камералардың вакуумдық ортасы арасында тасымалдау үшін қолданылады. Вакуумдық сорғылар жүктемені бекіту жүйелерінің ажырамас компоненттері болып табылады, ластану қаупін азайта отырып, пластиналарды тасымалдау үшін қажетті вакуумдық жағдайларды жасайды және сақтайды.

6. Метрология және тексеру: Вакуумдық сорғылар жартылай өткізгіш құрылғыларды сипаттау үшін қолданылатын метрология және тексеру құралдарында қолданылады. Сканерлеуші ​​электронды микроскоптар (СЭМ) және фокусталған иондық сәуле (ФСШ) жүйелері сияқты бұл құралдар көбінесе вакуумдық ортада жұмыс істейді, бұл жартылай өткізгіш құрылымдар мен ақауларды жоғары ажыратымдылықтағы бейнелеуге және дәл талдауға мүмкіндік береді.

7. Ағып кетуді анықтау: Вакуумдық сорғылар ағып кетуді анықтау жүйелерінде вакуумдық камералардағы, технологиялық желілердегі және басқа да компоненттердегі ағып кетулерді анықтау және табу үшін қолданылады. Бұл жүйелер жүйені босату және содан кейін ағып кетулердің бар-жоғын көрсететін қысымның көтерілуін бақылау үшін вакуумдық сорғыларға сүйенеді.

8. Таза бөлме ортасын бақылау: Жартылай өткізгіш өндіріс орындары өндіріс процесінде ластанудың алдын алу үшін таза бөлме ортасын сақтайды. Вакуумдық сорғылар таза бөлме желдету және сүзу жүйелерін жобалау мен пайдалану кезінде қолданылады, бұл бөлшектерді кетіру және ауа қысымының басқарылатын айырмашылықтарын сақтау арқылы қажетті ауа тазалығы деңгейін сақтауға көмектеседі.

Жартылай өткізгіштерді өндіру процестерінде қолданылатын вакуумдық сорғылар көбінесе саланың қатаң талаптарын қанағаттандыру үшін мамандандырылған. Олар жоғары вакуум деңгейін, дәл бақылауды, төмен ластану деңгейін және үздіксіз жұмыс істеу сенімділігін қамтамасыз етуі керек.

Жалпы алғанда, вакуумдық сорғылар жартылай өткізгіштер өндірісінде өте маңызды, бұл әртүрлі процестер үшін қажетті вакуумдық жағдайларды жасауға мүмкіндік береді, жоғары сапалы жартылай өткізгіш құрылғылардың өндірісін қамтамасыз етеді.

Құрғақ және дымқыл вакуумдық сорғылардың айырмашылығы неде?

Құрғақ және дымқыл вакуумдық сорғылар - жұмыс принциптері мен қолданылуы бойынша ерекшеленетін екі түрлі сорғы түрі. Олардың арасындағы айырмашылықтардың егжей-тегжейлі түсіндірмесі:

Құрғақ вакуумдық сорғылар:

Құрғақ вакуумдық сорғылар сорғы камерасында майлау сұйықтығын немесе тығыздағыш суды пайдаланбай жұмыс істейді. Олар вакуум жасау үшін жанаспайтын механизмдерге сүйенеді. Құрғақ вакуумдық сорғылардың кейбір кең таралған түрлеріне мыналар жатады:

1. Айналмалы қалақты сорғылар: Айналмалы қалақты сорғылар ротордағы ұяшықтарға кіріп-шығатын қалақтары бар ротордан тұрады. Ротордың айналуы газдың айдалуына мүмкіндік беретін кеңейетін және жиырылатын камераларды жасайды. Қалақшалар мен корпус тығыздағыш жасауға, газдың сорғыға қайта ағып кетуіне жол бермеуге арналған. Айналмалы қалақты сорғылар әдетте зертханаларда, медициналық қолданбаларда және орташа вакуум деңгейі қажет болатын өнеркәсіптік процестерде қолданылады.

2. Құрғақ бұрандалы сорғылар: Құрғақ бұрандалы сорғылар газды сығу және тасымалдау үшін екі немесе одан да көп өзара байланысқан бұрандаларды пайдаланады. Бұрандалар айналған кезде, газ бұрандалардың арасында тұрып қалады және сору жағынан шығару жағына тасымалданады. Құрғақ бұрандалы сорғылар жоғары айдау жылдамдығымен, төмен шу деңгейімен және әртүрлі газдарды өңдеу қабілетімен танымал. Олар жартылай өткізгіштер өндірісі, химиялық өңдеу және вакуумдық айдау сияқты қолданбаларда қолданылады.

3. Тырнақты сорғылар: Тырнақты сорғылар қарама-қарсы бағытта айналатын тырнақ тәрізді бөліктері бар екі роторды пайдаланады. Айналу газды ұстап, айдауға мүмкіндік беретін бірқатар кеңейетін және жиырылатын камераларды жасайды. Тырнақты сорғылар майсыз жұмысымен, жоғары айдау жылдамдығымен және құрғақ және таза газдарды өңдеуге жарамдылығымен танымал. Олар автомобиль өндірісі, тамақ өнімдерін қаптау және қоршаған ортаны қорғау технологиясы сияқты қолданбаларда кеңінен қолданылады.

Ылғал вакуумдық сорғылар:

Ылғал вакуумдық сорғылар, сондай-ақ сұйық сақиналы сорғылар деп те аталады, тығыздағыш жасау және вакуум жасау үшін сұйықтықты, әдетте суды пайдалану арқылы жұмыс істейді. Сұйық сақина тығыздағыш орта және жұмыс сұйықтығы ретінде қызмет етеді. Ылғал вакуумдық сорғылар көбінесе жоғары деңгейдегі вакуум қажет болатын жерлерде немесе коррозиялық газдармен жұмыс істегенде қолданылады. Ылғал вакуумдық сорғылардың кейбір негізгі ерекшеліктеріне мыналар жатады:

1. Сұйық сақиналы сорғылар: Сұйық сақиналы сорғыларда цилиндрлік корпус ішінде эксцентрикалық айналатын қалақшалары бар дөңгелек бар. Дөңгелек айналған кезде, сұйықтық орталықтан тепкіш күш әсерінен корпусқа қарсы сақина түзеді. Сұйық сақина тығыздағыш жасайды, ал дөңгелек айналған кезде газ камерасының көлемі азаяды, бұл газдың сығылуына және ағуына әкеледі. Сұйық сақиналы сорғылар ылғалды және коррозиялық газдарды өңдеу қабілетімен танымал, бұл оларды химиялық өңдеу, мұнайды өңдеу және ағынды суларды тазарту сияқты қолданбаларға жарамды етеді.

2. Су ағынды сорғылар: Су ағынды сорғылар вакуум жасау үшін жоғары жылдамдықты су ағынын пайдаланады. Су ағыны газдарды сіңіреді, содан кейін қоспа вентури бөлімінде бөлінеді, онда су қайта айналымға түседі және газдар шығарылады. Су ағынды сорғылар әдетте орташа вакуум деңгейі қажет болатын зертханалар мен қолданбаларда қолданылады.

Құрғақ және дымқыл вакуумдық сорғылардың негізгі айырмашылықтарын келесідей қорытындылауға болады:

1. Жұмыс принципі: Құрғақ вакуумдық сорғылар тығыздағыш сұйықтықсыз жұмыс істейді, ал дымқыл вакуумдық сорғылар тығыздағыш және жұмыс ортасы ретінде сұйық сақинаны немесе суды пайдаланады.

2. Майлау: Құрғақ вакуумдық сорғылар майлауды қажет етпейді, себебі қозғалатын бөліктер арасында жанасу болмайды, ал дымқыл вакуумдық сорғылар тығыздау және майлау үшін сұйықтықтың болуын талап етеді.

3. Қолданылуы: Құрғақ вакуумдық сорғылар орташа вакуум деңгейі қажет болатын және майсыз жұмыс істеу қажет болатын қолданбаларға жарамды. Олар көбінесе зертханаларда, медициналық мекемелерде және әртүрлі өнеркәсіптік процестерде қолданылады. Екінші жағынан, дымқыл вакуумдық сорғылар жоғары вакуум деңгейі қажет болған кезде немесе коррозиялық газдармен жұмыс істегенде қолданылады. Олар химиялық өңдеуде, мұнай өңдеуде және ағынды суларды тазартуда және басқа да салаларда қолданылады.

Вакуумдық сорғыны таңдау қажетті вакуум деңгейі, газ үйлесімділігі, жұмыс жағдайлары және қолдану сипаты сияқты нақты талаптарға байланысты екенін ескеру маңызды.

Қысқаша айтқанда, құрғақ және дымқыл вакуумдық сорғылардың арасындағы негізгі айырмашылық олардың жұмыс принциптерінде, майлау талаптарында және қолданылуында жатыр. Құрғақ вакуумдық сорғылар майлау сұйықтығысыз жұмыс істейді, ал дымқыл вакуумдық сорғылар тығыздау және майлау үшін сұйық сақинаны немесе суды пайдаланады. Құрғақ және дымқыл вакуумдық сорғылар арасындағы таңдау қолданыстың нақты қажеттіліктеріне және қажетті вакуум деңгейіне байланысты.

Вакуумдық сорғылар ауа компрессорларынан қалай ерекшеленеді?

Вакуумдық сорғылар мен ауа компрессорлары ауа мен газды басқару үшін қолданылатын механикалық құрылғылар болып табылады, бірақ олар қарама-қарсы мақсаттарға қызмет етеді. Олардың айырмашылықтарының егжей-тегжейлі түсіндірмесі:

1. Функциясы:

– Вакуумдық сорғылар: Вакуумдық сорғылар жабық жүйедегі қысымды алып тастауға немесе төмендетуге, вакуумдық немесе төмен қысымды ортаны жасауға арналған. Олар камерадан ауа немесе газды сорып, сору немесе теріс қысым жасайды.

– Ауа компрессорлары: Екінші жағынан, ауа компрессорлары ауаның немесе газдың қысымын арттыру үшін қолданылады. Олар қоршаған ауаны немесе газды сіңіріп, оны сығып, қысымның жоғарылауына және ауаның немесе газдың тығыздалған көлеміне әкеледі.

2. Қысым диапазоны:

– Вакуумдық сорғылар: Вакуумдық сорғылар атмосфералық қысымнан немесе абсолютті нөлдік қысымнан төмен қысым жасай алады. Қысым диапазоны әдетте теріс диапазонға дейін созылады, ол торр немесе паскаль сияқты бірліктермен өрнектеледі.

– Ауа компрессорлары: Ауа компрессорлары, керісінше, оң қысым диапазонында жұмыс істейді. Олар атмосфералық қысымнан жоғары қысымды арттырады, әдетте шаршы дюймге фунт (psi) немесе бар сияқты бірліктермен өлшенеді.

3. Қолдану салалары:

– Вакуумдық сорғылар: Вакуумдық сорғылар вакуумдық немесе төмен қысымды ортаны жасауды қажет ететін әртүрлі қолданыстарға ие. Олар вакуумдық айдау, вакуумдық кептіру, вакуумдық қаптама және вакуумдық сүзгілеу сияқты процестерде қолданылады. Олар сондай-ақ ғылыми зерттеулерде, жартылай өткізгіштер өндірісінде, медициналық сорғыш құрылғыларда және басқа да көптеген салаларда маңызды.

– Ауа компрессорлары: Ауа компрессорлары жоғары қысымдағы сығылған ауа немесе газ қажет болған жерлерде қолданылады. Олар пневматикалық құралдарда, өндірістік процестерде, ауа баптау жүйелерінде, электр қуатын өндіруде және шиналарды үрлеуде қолданылады. Сығылған ауа әмбебап болып табылады және көптеген өнеркәсіптік және коммерциялық қолданбаларда қолданылуы мүмкін.

4. Дизайн және механизм:

– Вакуумдық сорғылар: Вакуумдық сорғылар тұйық жүйеден ауаны немесе газды шығару арқылы вакуум жасауға арналған. Олар қажетті вакуум деңгейіне жету үшін оң ығысу, қысылу немесе импульсті беру сияқты механизмдерді пайдалануы мүмкін. Вакуумдық сорғы түрлерінің мысалдарына айналмалы қалақшалы сорғылар, диафрагмалық сорғылар және диффузиялық сорғылар жатады.

– Ауа компрессорлары: Ауа компрессорлары ауаны немесе газды қысу, оның қысымын арттыру және көлемін азайту үшін жасалған. Олар ауаны немесе газды қысу үшін поршеньді поршеньдер, айналмалы бұрандалар немесе центрифуга күші сияқты механизмдерді пайдаланады. Ауа компрессорларының кең таралған түрлеріне поршеньді компрессорлар, айналмалы бұрандалы компрессорлар және центрифугалық компрессорлар жатады.

5. Ауа/газ ағынының бағыты:

– Вакуумдық сорғылар: Вакуумдық сорғылар сорғыға ауа немесе газды тартып, оны жүйеден шығарады, бұл эвакуацияланатын камерада немесе жүйеде вакуум жасайды.

– Ауа компрессорлары: Ауа компрессорлары қоршаған ауаны немесе газды алып, оны қысады, қысымын арттырады және оны бакқа сақтайды немесе тікелей қажетті қолданысқа жеткізеді.

Вакуумдық сорғылар мен ауа компрессорлары әртүрлі функцияларға ие және әртүрлі қысым диапазондарында жұмыс істегенімен, екеуі де әртүрлі салалар мен қолданбаларда өте маңызды. Вакуумдық сорғылар вакуумдық немесе төмен қысымды ортаны жасайды және ұстайды, ал ауа компрессорлары әртүрлі мақсаттар мен процестер үшін ауаны немесе газды жоғары қысымға дейін сығады.

CX редакторы 2023-10-31