وصف المنتج
وصف المنتج
EM4/EM8
Ultimate pressure:≤ 2 and ≤ 20 mbar
Pumping speed:4÷10 m3/ح
The EM 4 and EM 8 are single-stage rotary vane lubricated pumps with oil recirculation. The rotor is keyed directly CHINAMFG the motor shaft.
The EM 4 and EM 8 are single-stage rotary vane lubricated pumps with oil recirculation.
The rotor is keyed directly CHINAMFG the motor shaft.
The oil tank is provided with a system for separating the oil mists from the exhaust air.
The gas ballast, except for EM4, prevents condensation inside the pump when small quantities of steam are sucked.
The EM 4 and EM 8 pumps are suitable for the evacuation of closed systems or to operate at a constant vacuum included in the following range:
EM 4 – EM 8 from 2 to 300 mbar (absolute)
EM 4 B – EM 8 B from 20 to 850 mbar (absolute)
مُكَمِّلات
تُعد الملحقات التالية مفيدة لتركيب المضخة وللتحكم في معايير تشغيلها:
-
فلتر شفط خارجي
-
Vacuum gauges
المواصفات الرئيسية
|
EM4 |
EM8 |
||||
|
الضخ |
م³/ساعة |
50 هرتز |
4 |
8,5 |
|
|
60 هرتز |
4,8 |
10 |
|||
|
أقصى ضغط مع صابورة الغاز (مطلق) |
مليبار |
≤ 2 (≤ 20 /B) |
≤ 2 (≤ 20 /B) |
||
|
قوة المحرك |
كيلوواط |
50 هرتز |
0,12 |
0,25 |
|
|
60 هرتز |
0,15 |
0,30 |
|||
|
محركات |
دورة في الدقيقة |
50 هرتز |
3000 |
3000 |
|
|
60 هرتز |
3600 |
3600 |
|||
|
مقاومة بخار الماء |
مليبار |
/ |
20 |
||
|
قدرة ضخ بخار الماء |
كجم/ساعة |
/ |
0,125 |
||
|
شحنة مواد التشحيم |
ل |
0,1 |
0,15 |
||
|
مستوى ضغط الصوت |
ديسيبل (A) |
50 هرتز |
57 |
58 |
|
|
60 هرتز |
59 |
60 |
|||
|
أبعاد |
الطول × العرض × الارتفاع |
مم |
236x129x139 |
300x166x139 |
|
|
وزن |
كيلوغرام |
5,4 |
11,7 |
||
|
الاتصالات* |
مدخل |
1/8″ Gas |
3/8″ Gas |
||
* تتوفر أنواع أخرى من الاتصالات بناءً على طلب شركة CHINAMFG
| خدمة ما بعد البيع: | 12 شهرًا من تاريخ بدء التشغيل أو 15 شهرًا من |
|---|---|
| ضمان: | 12 شهرًا من تاريخ بدء التشغيل أو 15 شهرًا من |
| زيت أم لا: | زيت |
| بناء: | مضخة تفريغ دوارة |
| طريقة الإرهاق: | مضخة تفريغ الاحتجاز |
| درجة الفراغ: | مكنسة |
| التخصيص: |
متاح
|
|
|---|
ما هو دور مضخات التفريغ في صناعة أشباه الموصلات؟
تلعب مضخات التفريغ دورًا بالغ الأهمية في عمليات تصنيع أشباه الموصلات. إليكم شرحًا مفصلًا:
تتضمن صناعة أشباه الموصلات إنتاج الدوائر المتكاملة وغيرها من أجهزة أشباه الموصلات المستخدمة في تطبيقات إلكترونية متنوعة. وتُستخدم مضخات التفريغ على نطاق واسع في جميع مراحل عملية تصنيع أشباه الموصلات لإنشاء ظروف التفريغ المطلوبة والحفاظ عليها في خطوات التصنيع المختلفة.
فيما يلي بعض الأدوار الرئيسية لمضخات التفريغ في صناعة أشباه الموصلات:
١. عمليات الترسيب: تُستخدم مضخات التفريغ في عمليات الترسيب مثل الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) والترسيب الكيميائي للبخار (CVD). تتضمن هذه العمليات ترسيب طبقات رقيقة من المواد على رقائق أشباه الموصلات لإنشاء طبقات وأنماط متنوعة. تساعد مضخات التفريغ في توفير بيئة منخفضة الضغط ضرورية للتحكم الدقيق في عملية الترسيب، مما يضمن تكوين طبقة متجانسة وعالية الجودة.
٢. الحفر والتنظيف: تُستخدم مضخات التفريغ في عمليات الحفر والتنظيف، والتي تتضمن إزالة طبقات أو ملوثات محددة من رقائق أشباه الموصلات. تتطلب تقنيات الحفر الجاف، مثل حفر البلازما وحفر الأيونات التفاعلية، بيئة مفرغة لتسهيل تأيين المادة وإزالتها. وتساعد مضخات التفريغ في تهيئة ظروف الضغط المنخفض اللازمة لعمليات الحفر والتنظيف بكفاءة.
3. زرع الأيونات: زرع الأيونات عملية تُستخدم لإدخال شوائب في مناطق محددة من رقاقة أشباه الموصلات لتعديل خصائصها الكهربائية. تُستخدم مضخات التفريغ لإخلاء حجرة زرع الأيونات، مما يُهيئ بيئة التفريغ اللازمة لتسريع حزمة الأيونات وزرعها بدقة وتحكم.
4. مناولة ونقل الرقاقات: تُستخدم مضخات التفريغ في أنظمة مناولة ونقل الرقاقات. تستخدم هذه الأنظمة شفط التفريغ لتثبيت رقاقات أشباه الموصلات ومعالجتها بشكل آمن خلال مراحل التصنيع المختلفة، مثل التحميل والتفريغ من حجرات المعالجة، والنقل الآلي بين الأدوات، ومحاذاة الرقاقات.
5. أنظمة أقفال التحميل: تُستخدم أنظمة أقفال التحميل لنقل رقائق أشباه الموصلات بين الظروف الجوية العادية وبيئة الفراغ في حجرات المعالجة. تُعد مضخات الفراغ مكونات أساسية في أنظمة أقفال التحميل، حيث تعمل على تهيئة ظروف الفراغ اللازمة لنقل الرقائق والحفاظ عليها، مع تقليل مخاطر التلوث إلى أدنى حد.
٦. القياس والفحص: تُستخدم مضخات التفريغ في أدوات القياس والفحص المستخدمة لتوصيف أجهزة أشباه الموصلات. تعمل هذه الأدوات، مثل مجاهر المسح الإلكتروني (SEM) وأنظمة حزمة الأيونات المركزة (FIB)، غالبًا في بيئة مفرغة من الهواء لتمكين التصوير عالي الدقة والتحليل الدقيق لهياكل أشباه الموصلات وعيوبها.
7. كشف التسرب: تُستخدم مضخات التفريغ في أنظمة كشف التسرب لتحديد مواقع التسربات في غرف التفريغ وخطوط المعالجة والمكونات الأخرى. تعتمد هذه الأنظمة على مضخات التفريغ لتفريغ النظام ثم مراقبة أي ارتفاع في الضغط، مما يشير إلى وجود تسربات.
8. التحكم في بيئة الغرف النظيفة: تحافظ منشآت تصنيع أشباه الموصلات على بيئات غرف نظيفة لمنع التلوث أثناء عملية التصنيع. تُستخدم مضخات التفريغ في تصميم وتشغيل أنظمة التهوية والترشيح في الغرف النظيفة، مما يساعد على الحفاظ على مستويات نظافة الهواء المطلوبة عن طريق إزالة الجسيمات والحفاظ على فروق ضغط هواء مضبوطة.
تُصمم مضخات التفريغ المستخدمة في عمليات تصنيع أشباه الموصلات عادةً خصيصاً لتلبية المتطلبات الصارمة لهذه الصناعة. فهي تحتاج إلى توفير مستويات تفريغ عالية، وتحكم دقيق، ومستويات تلوث منخفضة، وموثوقية عالية للتشغيل المستمر.
بشكل عام، تعتبر مضخات التفريغ ضرورية في تصنيع أشباه الموصلات، حيث تتيح تهيئة ظروف التفريغ اللازمة لمختلف العمليات، مما يضمن إنتاج أجهزة أشباه موصلات عالية الجودة.
اعتبارات اختيار مضخة تفريغ لتطبيقات الغرف النظيفة
عند اختيار مضخة تفريغ لتطبيقات غرف الأبحاث النظيفة، يجب مراعاة عدة أمور. إليكم شرحًا مفصلاً:
غرف التنظيف هي بيئات مُحكمة التحكم تُستخدم في صناعات مثل تصنيع أشباه الموصلات، والأدوية، والتكنولوجيا الحيوية، والإلكترونيات الدقيقة. تتطلب هذه البيئات التزامًا صارمًا بمعايير النظافة والتحكم في الجسيمات لمنع تلوث العمليات أو المنتجات الحساسة. يُعد اختيار مضخة التفريغ المناسبة لتطبيقات غرف التنظيف أمرًا بالغ الأهمية للحفاظ على مستوى النظافة المطلوب وتقليل دخول الملوثات. فيما يلي بعض الاعتبارات الرئيسية:
١. النظافة: تُعدّ نظافة مضخة التفريغ بالغة الأهمية في تطبيقات الغرف النظيفة. يجب تصميم المضخة وبناؤها لتقليل توليد وانبعاث الجزيئات أو أبخرة الزيت أو غيرها من الملوثات في بيئة الغرفة النظيفة. يُفضّل استخدام مضخات التفريغ الخالية من الزيت أو الجافة في تطبيقات الغرف النظيفة لأنها تُزيل خطر التلوث بالزيت. إضافةً إلى ذلك، فإن المضخات ذات الأسطح الملساء والشقوق القليلة أسهل في التنظيف والصيانة، مما يقلل من احتمالية تراكم الجزيئات.
٢. انبعاث الغازات: يشير انبعاث الغازات إلى انطلاق الغازات أو الأبخرة من أسطح المواد، بما في ذلك مضخة التفريغ نفسها. في تطبيقات الغرف النظيفة، من الضروري اختيار مضخة تفريغ ذات خصائص انبعاث غازات منخفضة لمنع دخول الملوثات إلى البيئة. غالبًا ما تخضع مضخات التفريغ المصممة خصيصًا للاستخدام في الغرف النظيفة لمعالجات خاصة أو تستخدم مواد ذات خصائص انبعاث غازات منخفضة لتقليل هذا التأثير.
3. توليد الجسيمات: قد تُولّد مضخات التفريغ جسيمات نتيجة احتكاك وتآكل الأجزاء المتحركة، مثل الدوارات أو الريش. تُشكّل هذه الجسيمات مصدرًا للتلوث في غرف التنظيف. عند اختيار مضخة تفريغ لتطبيقات غرف التنظيف، من الضروري مراعاة مستوى توليد الجسيمات واختيار المضخات المصممة والمختبرة لتقليل انبعاثات الجسيمات إلى أدنى حد. تُساعد المضخات المزودة بميزات مثل المواد ذاتية التشحيم أو آليات منع التسرب المتقدمة على تقليل توليد الجسيمات.
٤. أنظمة الترشيح والعادم: تُعدّ أنظمة الترشيح والعادم المرتبطة بمضخة التفريغ بالغة الأهمية للحفاظ على معايير غرف التنظيف. يجب أن تكون مضخة التفريغ مزودة بمرشحات فعّالة قادرة على التقاط وإزالة أي جزيئات أو ملوثات تتولد أثناء التشغيل. تتميز المرشحات عالية الجودة، مثل مرشحات HEPA (مرشحات الهواء الجزيئية عالية الكفاءة)، بقدرتها على احتجاز حتى أصغر الجزيئات بكفاءة. يجب تصميم نظام العادم بشكل مناسب لضمان إطلاق الهواء المُرشّح خارج غرفة التنظيف أو مروره عبر ترشيح إضافي قبل إعادته إلى البيئة.
٥. الضوضاء والاهتزازات: قد تؤثر الضوضاء والاهتزازات الناتجة عن مضخات التفريغ على عمليات غرف التنظيف. فالضوضاء المفرطة قد تؤثر على بيئة العمل وتُعيق التواصل، بينما قد تُعطّل الاهتزازات العمليات أو المعدات الحساسة. لذا، يُنصح باختيار مضخات تفريغ مصممة خصيصًا للتشغيل الهادئ، وتتضمن وسائل للحد من الاهتزازات. كما تُساعد المضخات المزودة بميزات تخميد الضوضاء وأنظمة عزل الاهتزازات في الحفاظ على بيئة هادئة ومستقرة في غرف التنظيف.
٦. الالتزام بالمعايير: غالبًا ما تخضع تطبيقات غرف التنظيف لمعايير أو لوائح صناعية محددة يجب اتباعها. عند اختيار مضخة تفريغ، من المهم التأكد من توافقها مع معايير ومتطلبات غرف التنظيف ذات الصلة. قد تشمل الاعتبارات معايير النظافة ISO، ومستويات تصنيف غرف التنظيف، والإرشادات الخاصة بالصناعة فيما يتعلق بعدد الجسيمات، ومستويات انبعاث الغازات، أو مستويات الضوضاء المسموح بها. يمكن للمصنعين الذين يقدمون الوثائق والشهادات المتعلقة بملاءمة غرف التنظيف أن يساعدوا في إثبات الالتزام.
٧. الصيانة وسهولة الخدمة: تُعدّ الصيانة الدورية والمناسبة لمضخات التفريغ ضرورية لضمان تشغيلها بكفاءة وموثوقية. عند اختيار مضخة تفريغ لتطبيقات غرف التنظيف، يجب مراعاة عوامل مثل سهولة الصيانة، وتوافر قطع الغيار، وإمكانية الوصول إلى خدمات الدعم الفني من الشركة المصنعة. فالمضخات التي تتميز بسهولة الصيانة، ووضوح تعليمات الخدمة، وشبكة دعم عملاء سريعة الاستجابة، تُسهم في تقليل وقت التوقف عن العمل وضمان استمرار أداء غرف التنظيف بكفاءة.
باختصار، يتطلب اختيار مضخة تفريغ لتطبيقات الغرف النظيفة دراسة متأنية لعوامل مثل النظافة، وخصائص انبعاث الغازات، وتوليد الجسيمات، وأنظمة الترشيح والعادم، والضوضاء والاهتزازات، والامتثال للمعايير، ومتطلبات الصيانة. باختيار مضخات تفريغ مصممة خصيصًا للاستخدام في الغرف النظيفة، ومراعاة هذه العوامل الرئيسية، يستطيع مشغلو الغرف النظيفة الحفاظ على مستوى النظافة المطلوب وتقليل مخاطر التلوث في عملياتهم ومنتجاتهم الحيوية.
هل تتوفر أنواع مختلفة من مضخات التفريغ؟
نعم، تتوفر أنواع مختلفة من مضخات التفريغ، كل منها مصمم ليناسب تطبيقات ومبادئ تشغيل محددة. إليك شرح مفصل:
تُصنّف مضخات التفريغ بناءً على مبادئ تشغيلها وآلياتها ونوع التفريغ الذي يمكنها توليده. ومن أنواع مضخات التفريغ الشائعة ما يلي:
1. مضخات التفريغ ذات الريش الدوارة:
– الوصف: مضخات الريش الدوارة هي مضخات إزاحة موجبة تستخدم ريشًا دوارًا لإنشاء فراغ. تنزلق الريش داخل وخارج فتحات في دوار المضخة، وتحبس الغاز وتضغطه لإنشاء سحب وتوليد فراغ.
– التطبيقات: تُستخدم مضخات التفريغ ذات الريش الدوارة على نطاق واسع في التطبيقات التي تتطلب مستويات تفريغ معتدلة، مثل أنظمة التفريغ المختبرية والتعبئة والتغليف والتبريد وتكييف الهواء.
2. مضخات التفريغ ذات الغشاء:
– الوصف: تستخدم مضخات الحجاب الحاجز غشاءً مرنًا يتحرك لأعلى ولأسفل لتكوين فراغ. يفصل الغشاء حجرة الفراغ عن آلية التشغيل، مما يمنع التلوث ويضمن التشغيل بدون زيت.
- التطبيقات: تُستخدم مضخات التفريغ ذات الغشاء بشكل شائع في المختبرات والمعدات الطبية وأجهزة التحليل والتطبيقات التي تتطلب فراغًا خاليًا من الزيت أو مقاومًا للمواد الكيميائية.
3. مضخات التفريغ الحلزونية:
– الوصف: تحتوي المضخات الحلزونية على حلزونين - أحدهما ثابت والآخر يدور - يُنشئان سلسلة من جيوب الغاز المتحركة على شكل هلال. ومع حركة الحلزونين، يُحبس الغاز ويُضغط باستمرار، مما يؤدي إلى فراغ.
- التطبيقات: تعتبر مضخات التفريغ الحلزونية مناسبة للتطبيقات التي تتطلب فراغًا نظيفًا وجافًا، مثل الأدوات التحليلية والتجفيف بالتفريغ والطلاء بالتفريغ.
4. مضخات التفريغ المكبسية:
– الوصف: تستخدم المضخات المكبسية مكابس مترددة لخلق فراغ عن طريق ضغط الغاز ثم إطلاقه عبر الصمامات. يمكنها الوصول إلى مستويات فراغ عالية ولكنها قد تتطلب التشحيم.
- التطبيقات: تُستخدم مضخات التفريغ المكبسية في التطبيقات التي تتطلب مستويات عالية من الفراغ، مثل أفران التفريغ، والتجفيف بالتجميد، وتصنيع أشباه الموصلات.
5. مضخات التفريغ الجزيئية التوربينية:
– الوصف: تستخدم المضخات التوربينية شفرات أو مراوح دوارة عالية السرعة لإنشاء تدفق جزيئي، حيث تضخ جزيئات الغاز باستمرار خارج النظام. وهي تتطلب عادةً مضخة مساعدة للتشغيل.
– التطبيقات: تُستخدم المضخات الجزيئية التوربينية في تطبيقات الفراغ العالي، مثل تصنيع أشباه الموصلات، ومختبرات الأبحاث، وقياس الطيف الكتلي.
6. مضخات التفريغ الانتشارية:
– الوصف: تعتمد مضخات الانتشار على انتشار جزيئات الغاز وإزالتها اللاحقة بواسطة تيار بخار عالي السرعة. وهي تعمل في مستويات فراغ عالية وتتطلب مضخة مساعدة.
– التطبيقات: تُستخدم مضخات الانتشار بشكل شائع في التطبيقات التي تتطلب مستويات فراغ عالية، مثل علم المعادن الفراغي، وغرف محاكاة الفضاء، ومسرعات الجسيمات.
7. مضخات التفريغ المبردة:
– الوصف: تستخدم المضخات المبردة درجات حرارة منخفضة للغاية لتكثيف جزيئات الغاز واحتجازها، مما يخلق فراغًا. وتعتمد في تشغيلها على سوائل مبردة، مثل النيتروجين السائل أو الهيليوم.
– التطبيقات: تُستخدم مضخات التفريغ المبردة في تطبيقات الفراغ العالي للغاية، مثل أبحاث فيزياء الجسيمات، وعلوم المواد، ومفاعلات الاندماج.
هذه مجرد أمثلة قليلة على أنواع مضخات التفريغ المتوفرة. لكل نوع مزاياه وعيوبه ومدى ملاءمته لتطبيقات محددة. يعتمد اختيار مضخة التفريغ على عوامل مثل مستوى التفريغ المطلوب، وتوافق الغاز، والموثوقية، والتكلفة، والاحتياجات الخاصة بالتطبيق.
قام بالتحرير CX بتاريخ 2023-11-08
