Описание продукта
Описание продукта
EM4/EM8
Ultimate pressure:≤ 2 and ≤ 20 mbar
Pumping speed:4÷10 m3/час
The EM 4 and EM 8 are single-stage rotary vane lubricated pumps with oil recirculation. The rotor is keyed directly CHINAMFG the motor shaft.
The EM 4 and EM 8 are single-stage rotary vane lubricated pumps with oil recirculation.
The rotor is keyed directly CHINAMFG the motor shaft.
The oil tank is provided with a system for separating the oil mists from the exhaust air.
The gas ballast, except for EM4, prevents condensation inside the pump when small quantities of steam are sucked.
The EM 4 and EM 8 pumps are suitable for the evacuation of closed systems or to operate at a constant vacuum included in the following range:
EM 4 – EM 8 from 2 to 300 mbar (absolute)
EM 4 B – EM 8 B from 20 to 850 mbar (absolute)
АКСЕССУАРЫ
Для установки и контроля параметров работы насоса полезны следующие принадлежности:
-
Внешний всасывающий фильтр
-
Vacuum gauges
Основные характеристики
|
EM4 |
EM8 |
||||
|
Скорость перекачки |
м³/ч |
50 Гц |
4 |
8,5 |
|
|
60 Гц |
4,8 |
10 |
|||
|
Максимальное давление с газовым балластом (абс.) |
мбар |
≤ 2 (≤ 20 /B) |
≤ 2 (≤ 20 /B) |
||
|
Мощность двигателя |
кВт |
50 Гц |
0,12 |
0,25 |
|
|
60 Гц |
0,15 |
0,30 |
|||
|
Скорость двигателя |
об/мин |
50 Гц |
3000 |
3000 |
|
|
60 Гц |
3600 |
3600 |
|||
|
Устойчивость к воздействию водяного пара |
мбар |
/ |
20 |
||
|
Производительность насоса для перекачки водяного пара |
кг/ч |
/ |
0,125 |
||
|
Заправка смазочным материалом |
л |
0,1 |
0,15 |
||
|
Уровень звукового давления |
дБ(А) |
50 Гц |
57 |
58 |
|
|
60 Гц |
59 |
60 |
|||
|
Размеры |
Д x Ш x В |
мм |
236x129x139 |
300x166x139 |
|
|
Масса |
кг |
5,4 |
11,7 |
||
|
Связи* |
Вход |
1/8″ Gas |
3/8″ Gas |
||
* Доступны другие типы подключения. Запрос CHINAMFG.
| Послепродажное обслуживание: | 12 месяцев с даты начала деятельности или 15 месяцев с |
|---|---|
| Гарантия: | 12 месяцев с даты начала деятельности или 15 месяцев с |
| Нефть или нет: | Масло |
| Структура: | Роторный вакуумный насос |
| Метод с использованием вытяжного вентилятора: | Вакуумный насос для улавливания |
| Степень вакуума: | Вакуум |
| Настройка: |
Доступный
|
|
|---|
Какова роль вакуумных насосов в производстве полупроводников?
Вакуумные насосы играют важнейшую роль в процессах производства полупроводников. Вот подробное объяснение:
Производство полупроводников включает в себя изготовление интегральных схем (ИС) и других полупроводниковых устройств, используемых в различных электронных приложениях. Вакуумные насосы широко используются на протяжении всего процесса производства полупроводников для создания и поддержания необходимых вакуумных условий на конкретных этапах производства.
Вот некоторые ключевые функции вакуумных насосов в производстве полупроводников:
1. Процессы осаждения: Вакуумные насосы используются в процессах осаждения, таких как физическое осаждение из паровой фазы (PVD) и химическое осаждение из паровой фазы (CVD). Эти процессы включают осаждение тонких пленок материалов на полупроводниковые подложки для создания различных слоев и рисунков. Вакуумные насосы помогают создать среду низкого давления, необходимую для точного контроля процесса осаждения, обеспечивая равномерное и высококачественное формирование пленки.
2. Травление и очистка: Вакуумные насосы используются в процессах травления и очистки, которые включают удаление определенных слоев или загрязнений с полупроводниковых пластин. Методы сухого травления, такие как плазменное травление и реактивное ионное травление, требуют вакуумной среды для обеспечения ионизации и удаления материала. Вакуумные насосы помогают создать необходимые условия низкого давления для эффективных процессов травления и очистки.
3. Ионная имплантация: Ионная имплантация — это процесс, используемый для введения примесей в определенные области полупроводниковой пластины с целью изменения ее электрических свойств. Для откачки воздуха из камеры ионной имплантации используются вакуумные насосы, создающие необходимую вакуумную среду для точного и контролируемого ускорения и имплантации ионного пучка.
4. Обработка и перемещение пластин: В системах обработки и перемещения пластин используются вакуумные насосы. Эти системы используют вакуумное всасывание для надежного удержания и манипулирования полупроводниковыми пластинами на различных этапах производства, таких как загрузка и выгрузка из технологических камер, роботизированная передача между инструментами и выравнивание пластин.
5. Шлюзовые системы: Шлюзовые системы используются для перемещения полупроводниковых пластин между атмосферными условиями и вакуумной средой технологических камер. Вакуумные насосы являются неотъемлемыми компонентами шлюзовых систем, создавая и поддерживая вакуумные условия, необходимые для перемещения пластин, минимизируя при этом риски загрязнения.
6. Метрология и контроль: Вакуумные насосы используются в метрологических и контрольных приборах, применяемых для характеризации полупроводниковых устройств. Эти приборы, такие как сканирующие электронные микроскопы (СЭМ) и системы сфокусированного ионного пучка (СИП), часто работают в вакуумной среде, что позволяет получать изображения высокого разрешения и проводить точный анализ полупроводниковых структур и дефектов.
7. Обнаружение утечек: Вакуумные насосы используются в системах обнаружения утечек для выявления и локализации утечек в вакуумных камерах, технологических линиях и других компонентах. Эти системы полагаются на вакуумные насосы для откачки воздуха из системы и последующего контроля повышения давления, что указывает на наличие утечек.
8. Контроль чистоты воздуха в чистых помещениях: На предприятиях по производству полупроводников поддерживаются условия чистых помещений для предотвращения загрязнения в процессе изготовления. В проектировании и эксплуатации систем вентиляции и фильтрации чистых помещений используются вакуумные насосы, которые помогают поддерживать требуемый уровень чистоты воздуха за счет удаления твердых частиц и поддержания контролируемого перепада давления воздуха.
Вакуумные насосы, используемые в процессах производства полупроводников, часто являются специализированными и соответствуют жестким требованиям отрасли. Они должны обеспечивать высокий уровень вакуума, точное управление, низкий уровень загрязнения и надежность для непрерывной работы.
В целом, вакуумные насосы незаменимы в производстве полупроводников, позволяя создавать необходимые вакуумные условия для различных процессов и обеспечивая выпуск высококачественных полупроводниковых устройств.
Рекомендации по выбору вакуумного насоса для чистых помещений
При выборе вакуумного насоса для чистых помещений следует учитывать несколько факторов. Вот подробное объяснение:
Чистые помещения — это контролируемые среды, используемые в таких отраслях, как производство полупроводников, фармацевтика, биотехнология и микроэлектроника. В таких средах требуется строгое соблюдение стандартов чистоты и контроля частиц для предотвращения загрязнения чувствительных процессов или продукции. Выбор подходящего вакуумного насоса для применения в чистых помещениях имеет решающее значение для поддержания необходимого уровня чистоты и минимизации попадания загрязняющих веществ. Вот несколько ключевых моментов, которые следует учитывать:
1. Чистота: Чистота вакуумного насоса имеет первостепенное значение в чистых помещениях. Насос должен быть спроектирован и изготовлен таким образом, чтобы минимизировать образование и выброс частиц, паров масла или других загрязняющих веществ в чистое помещение. В чистых помещениях обычно предпочтение отдается безмасляным или сухим вакуумным насосам, поскольку они исключают риск загрязнения маслом. Кроме того, насосы с гладкими поверхностями и минимальным количеством щелей легче чистить и обслуживать, что снижает вероятность накопления частиц.
2. Выделение газов: Выделение газов — это выделение газов или паров с поверхностей материалов, включая сам вакуумный насос. В чистых помещениях крайне важно выбрать вакуумный насос с низкими характеристиками выделения газов, чтобы предотвратить попадание загрязняющих веществ в окружающую среду. Вакуумные насосы, специально разработанные для использования в чистых помещениях, часто проходят специальную обработку или используют материалы с низкими свойствами выделения газов, чтобы минимизировать этот эффект.
3. Образование частиц: Вакуумные насосы могут образовывать частицы из-за трения и износа движущихся частей, таких как роторы или лопатки. Эти частицы могут стать источником загрязнения в чистых помещениях. При выборе вакуумного насоса для применения в чистых помещениях важно учитывать уровень образования частиц насосом и выбирать насосы, которые были разработаны и протестированы для минимизации выбросов частиц. Насосы с такими характеристиками, как самосмазывающиеся материалы или усовершенствованные механизмы уплотнения, могут помочь снизить образование частиц.
4. Системы фильтрации и вытяжки: Системы фильтрации и вытяжки, связанные с вакуумным насосом, имеют решающее значение для поддержания стандартов чистого помещения. Вакуумный насос должен быть оснащен эффективными фильтрами, способными улавливать и удалять любые частицы или загрязнения, образующиеся во время работы. Высококачественные фильтры, такие как HEPA-фильтры (высокоэффективные фильтры для очистки воздуха от частиц), могут эффективно задерживать даже самые мелкие частицы. Система вытяжки должна быть правильно спроектирована, чтобы обеспечить выпуск отфильтрованного воздуха за пределы чистого помещения или его прохождение через дополнительную фильтрацию перед повторным поступлением в окружающую среду.
5. Шум и вибрации: Шум и вибрации, создаваемые вакуумными насосами, могут влиять на работу чистых помещений. Чрезмерный шум может ухудшить рабочую обстановку и затруднить коммуникацию, а вибрации могут нарушить работу чувствительных процессов или оборудования. Рекомендуется выбирать вакуумные насосы, специально разработанные для бесшумной работы и включающие меры по минимизации вибраций. Насосы с шумопоглощающими функциями и системами виброизоляции могут помочь поддерживать тихую и стабильную обстановку в чистом помещении.
6. Соответствие стандартам: В чистых помещениях часто действуют специфические отраслевые стандарты или правила, которые необходимо соблюдать. При выборе вакуумного насоса важно убедиться, что он соответствует соответствующим стандартам и требованиям для чистых помещений. Следует учитывать стандарты чистоты ISO, уровни классификации чистых помещений и отраслевые рекомендации по количеству частиц, уровню газовыделения или допустимому уровню шума. Производители, предоставляющие документацию и сертификаты, подтверждающие пригодность помещения для работы в чистых условиях, могут помочь продемонстрировать соответствие стандартам.
7. Техническое обслуживание и ремонтопригодность: Надлежащее техническое обслуживание и регулярный ремонт вакуумных насосов имеют важное значение для их надежной и эффективной работы. При выборе вакуумного насоса для чистых помещений следует учитывать такие факторы, как простота обслуживания, доступность запасных частей, а также доступ к сервисному обслуживанию и поддержке со стороны производителя. Насосы с удобными функциями обслуживания, четкими инструкциями по эксплуатации и оперативной службой поддержки клиентов помогут минимизировать время простоя и обеспечить бесперебойную работу в чистых помещениях.
В заключение, выбор вакуумного насоса для применения в чистых помещениях требует тщательного учета таких факторов, как чистота, характеристики выделения газов, образование частиц, системы фильтрации и вытяжки, шум и вибрация, соответствие стандартам и требования к техническому обслуживанию. Выбирая вакуумные насосы, специально разработанные для использования в чистых помещениях, и учитывая эти ключевые факторы, операторы чистых помещений могут поддерживать необходимый уровень чистоты и минимизировать риск загрязнения в своих критически важных процессах и продуктах.
Существуют ли разные типы вакуумных насосов?
Да, существует множество различных типов вакуумных насосов, каждый из которых разработан для конкретных задач и принципов работы. Вот подробное объяснение:
Вакуумные насосы классифицируются по принципам работы, механизмам и типу создаваемого ими вакуума. К распространенным типам вакуумных насосов относятся:
1. Роторно-лопастные вакуумные насосы:
– Описание: Роторно-лопастные насосы — это объемные насосы, использующие вращающиеся лопатки для создания вакуума. Лопатки скользят внутрь и наружу пазов в роторе насоса, захватывая и сжимая газ для создания всасывания и генерации вакуума.
– Области применения: Роторно-лопастные вакуумные насосы широко используются в областях, требующих умеренного уровня вакуума, таких как лабораторные вакуумные системы, упаковочное оборудование, холодильные установки и системы кондиционирования воздуха.
2. Диафрагменные вакуумные насосы:
– Описание: В диафрагменных насосах используется гибкая диафрагма, которая перемещается вверх и вниз, создавая вакуум. Диафрагма отделяет вакуумную камеру от приводного механизма, предотвращая загрязнение и обеспечивая работу без масла.
– Области применения: Мембранные вакуумные насосы широко используются в лабораториях, медицинском оборудовании, аналитических приборах и в тех областях, где требуется безмасляный или химически стойкий вакуум.
3. Спиральные вакуумные насосы:
– Описание: Спиральные насосы имеют два спиральных змеевика — один неподвижный, а другой вращающийся — которые создают ряд движущихся газовых карманов в форме полумесяца. По мере движения змеевиков газ непрерывно захватывается и сжимается, в результате чего образуется вакуум.
– Области применения: Спиральные вакуумные насосы подходят для применений, требующих чистого и сухого вакуума, таких как аналитические приборы, вакуумная сушка и вакуумное напыление.
4. Поршневые вакуумные насосы:
– Описание: Поршневые насосы используют возвратно-поступательное движение поршней для создания вакуума путем сжатия газа и последующего его выпуска через клапаны. Они могут достигать высоких уровней вакуума, но могут потребовать смазки.
– Области применения: Поршневые вакуумные насосы используются в областях, требующих высокого уровня вакуума, таких как вакуумные печи, сушка замораживанием и производство полупроводников.
5. Турбомолекулярные вакуумные насосы:
– Описание: Турбонасосы используют высокоскоростные вращающиеся лопасти или рабочие колеса для создания молекулярного потока, непрерывно откачивая молекулы газа из системы. Для их работы обычно требуется вспомогательный насос.
– Области применения: Турбомолекулярные насосы используются в условиях высокого вакуума, например, в производстве полупроводников, исследовательских лабораториях и масс-спектрометрии.
6. Диффузионные вакуумные насосы:
– Описание: Диффузионные насосы основаны на диффузии молекул газа и их последующем удалении высокоскоростной струей пара. Они работают при высоком уровне вакуума и требуют наличия вспомогательного насоса.
– Области применения: Диффузионные насосы широко используются в областях, требующих высокого уровня вакуума, таких как вакуумная металлургия, камеры для моделирования космических условий и ускорители частиц.
7. Криогенные вакуумные насосы:
– Описание: Криогенные насосы используют чрезвычайно низкие температуры для конденсации и улавливания молекул газа, создавая вакуум. Для их работы используются криогенные жидкости, такие как жидкий азот или гелий.
– Области применения: Криогенные вакуумные насосы используются в условиях сверхвысокого вакуума, например, в исследованиях в области физики элементарных частиц, материаловедении и термоядерных реакторах.
Это лишь несколько примеров различных типов вакуумных насосов. Каждый тип имеет свои преимущества, ограничения и пригодность для конкретных применений. Выбор вакуумного насоса зависит от таких факторов, как требуемый уровень вакуума, совместимость с газом, надежность, стоимость и конкретные потребности применения.
Редактор: CX, 08.11.2023
