চায়না প্রস্তুতকারকের Em8 সিঙ্গেল-স্টেজের রোটারি ভেইন পাম্প, ইতালি থেকে আমদানিকৃত রোটারি ভেইন ভ্যাকুয়াম পাম্প, এসি ভ্যাকুয়াম পাম্প

সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে ভ্যাকুয়াম পাম্পের ভূমিকা কী?

সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন প্রক্রিয়ায় ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। এখানে একটি বিস্তারিত ব্যাখ্যা দেওয়া হল:

সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের মধ্যে রয়েছে ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট (IC) এবং বিভিন্ন ইলেকট্রনিক অ্যাপ্লিকেশনে ব্যবহৃত অন্যান্য সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসের উৎপাদন। নির্দিষ্ট উৎপাদন ধাপের জন্য প্রয়োজনীয় ভ্যাকুয়াম পরিস্থিতি তৈরি এবং বজায় রাখার জন্য সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন প্রক্রিয়া জুড়ে ভ্যাকুয়াম পাম্প ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।

সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে ভ্যাকুয়াম পাম্পের কিছু গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা এখানে দেওয়া হল:

১. জমাকরণ প্রক্রিয়া: ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি ভৌত ​​বাষ্প জমাকরণ (PVD) এবং রাসায়নিক বাষ্প জমাকরণ (CVD) এর মতো জমাকরণ প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত হয়। এই প্রক্রিয়াগুলিতে বিভিন্ন স্তর এবং প্যাটার্ন তৈরি করার জন্য অর্ধপরিবাহী ওয়েফারগুলিতে পদার্থের পাতলা ফিল্ম জমা করা হয়। ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি জমাকরণ প্রক্রিয়ার সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণের জন্য প্রয়োজনীয় একটি নিম্ন-চাপের পরিবেশ তৈরি করতে সহায়তা করে, যা অভিন্ন এবং উচ্চ-মানের ফিল্ম গঠন নিশ্চিত করে।

২. খোদাই এবং পরিষ্কারকরণ: ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি খোদাই এবং পরিষ্কারকরণ প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত হয়, যার মধ্যে সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার থেকে নির্দিষ্ট স্তর বা দূষক অপসারণ জড়িত। প্লাজমা খোদাই এবং প্রতিক্রিয়াশীল আয়ন খোদাইয়ের মতো শুকনো খোদাই কৌশলগুলির জন্য আয়নীকরণ এবং উপাদান অপসারণের সুবিধার্থে একটি ভ্যাকুয়াম পরিবেশ প্রয়োজন। ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি দক্ষ খোদাই এবং পরিষ্কারকরণ প্রক্রিয়ার জন্য প্রয়োজনীয় নিম্ন-চাপের পরিস্থিতি তৈরিতে সহায়তা করে।

৩. আয়ন ইমপ্লান্টেশন: আয়ন ইমপ্লান্টেশন হল একটি প্রক্রিয়া যা একটি সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারের নির্দিষ্ট অঞ্চলে অমেধ্য প্রবেশ করানোর জন্য এর বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্য পরিবর্তন করতে ব্যবহৃত হয়। ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি আয়ন ইমপ্লান্টেশন চেম্বারটি খালি করার জন্য ব্যবহৃত হয়, যা সঠিক এবং নিয়ন্ত্রিত আয়ন রশ্মি ত্বরণ এবং ইমপ্লান্টেশনের জন্য প্রয়োজনীয় ভ্যাকুয়াম পরিবেশ তৈরি করে।

৪. ওয়েফার হ্যান্ডলিং এবং ট্রান্সফার: ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি ওয়েফার হ্যান্ডলিং এবং ট্রান্সফার সিস্টেমে ব্যবহৃত হয়। এই সিস্টেমগুলি বিভিন্ন উৎপাদন ধাপের সময়, যেমন প্রক্রিয়া চেম্বার থেকে লোডিং এবং আনলোডিং, সরঞ্জামগুলির মধ্যে রোবোটিক ট্রান্সফার এবং ওয়েফার অ্যালাইনমেন্টের সময় সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারগুলিকে নিরাপদে ধরে রাখতে এবং পরিচালনা করতে ভ্যাকুয়াম সাকশন ব্যবহার করে।

৫. লোড লক সিস্টেম: লোড লক সিস্টেমগুলি বায়ুমণ্ডলীয় পরিস্থিতি এবং প্রক্রিয়া চেম্বারের ভ্যাকুয়াম পরিবেশের মধ্যে সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার স্থানান্তর করতে ব্যবহৃত হয়। ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি লোড লক সিস্টেমের অবিচ্ছেদ্য উপাদান, দূষণের ঝুঁকি হ্রাস করার সাথে সাথে ওয়েফার স্থানান্তরের জন্য প্রয়োজনীয় ভ্যাকুয়াম পরিস্থিতি তৈরি এবং বজায় রাখে।

৬. পরিমাপবিদ্যা এবং পরিদর্শন: ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি পরিমাপবিদ্যা এবং পরিদর্শন সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত হয় যা সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসগুলিকে চিহ্নিত করার জন্য ব্যবহৃত হয়। স্ক্যানিং ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপ (SEM) এবং ফোকাসড আয়ন বিম (FIB) সিস্টেমের মতো এই সরঞ্জামগুলি প্রায়শই ভ্যাকুয়াম পরিবেশে কাজ করে যা উচ্চ-রেজোলিউশন ইমেজিং এবং সেমিকন্ডাক্টর কাঠামো এবং ত্রুটিগুলির সঠিক বিশ্লেষণ সক্ষম করে।

৭. লিক ডিটেকশন: ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি লিক ডিটেকশন সিস্টেমে ভ্যাকুয়াম চেম্বার, প্রসেস লাইন এবং অন্যান্য উপাদানগুলিতে লিক সনাক্ত করতে এবং সনাক্ত করতে ব্যবহৃত হয়। এই সিস্টেমগুলি সিস্টেমটি খালি করার জন্য ভ্যাকুয়াম পাম্পের উপর নির্ভর করে এবং তারপরে কোনও চাপ বৃদ্ধির জন্য পর্যবেক্ষণ করে, যা লিক উপস্থিতি নির্দেশ করে।

৮. ক্লিনরুম পরিবেশ নিয়ন্ত্রণ: সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন সুবিধাগুলি ফ্যাব্রিকেশন প্রক্রিয়ার সময় দূষণ রোধ করার জন্য ক্লিনরুম পরিবেশ বজায় রাখে। ক্লিনরুম বায়ুচলাচল এবং পরিস্রাবণ ব্যবস্থার নকশা এবং পরিচালনায় ভ্যাকুয়াম পাম্প ব্যবহার করা হয়, যা কণা অপসারণ করে এবং নিয়ন্ত্রিত বায়ুচাপের পার্থক্য বজায় রেখে প্রয়োজনীয় বায়ু পরিষ্কারের মাত্রা বজায় রাখতে সহায়তা করে।

সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি প্রায়শই শিল্পের কঠোর প্রয়োজনীয়তা পূরণের জন্য বিশেষায়িত হয়। তাদের উচ্চ ভ্যাকুয়াম স্তর, সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ, কম দূষণের স্তর এবং ক্রমাগত পরিচালনার জন্য নির্ভরযোগ্যতা প্রদান করতে হবে।

সামগ্রিকভাবে, ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে অপরিহার্য, যা বিভিন্ন প্রক্রিয়ার জন্য প্রয়োজনীয় ভ্যাকুয়াম পরিস্থিতি তৈরি করতে সক্ষম করে, উচ্চমানের সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসের উৎপাদন নিশ্চিত করে।

ক্লিনরুম অ্যাপ্লিকেশনের জন্য ভ্যাকুয়াম পাম্প নির্বাচনের বিবেচ্য বিষয়গুলি

ক্লিনরুম ব্যবহারের জন্য ভ্যাকুয়াম পাম্প নির্বাচন করার সময়, বেশ কয়েকটি বিবেচ্য বিষয় বিবেচনা করা উচিত। এখানে একটি বিস্তারিত ব্যাখ্যা দেওয়া হল:

ক্লিনরুম হল নিয়ন্ত্রিত পরিবেশ যা সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন, ওষুধ, জৈবপ্রযুক্তি এবং মাইক্রোইলেকট্রনিক্সের মতো শিল্পে ব্যবহৃত হয়। সংবেদনশীল প্রক্রিয়া বা পণ্যের দূষণ রোধ করার জন্য এই পরিবেশগুলিতে পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতা এবং কণা নিয়ন্ত্রণের মান কঠোরভাবে মেনে চলা প্রয়োজন। পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয় স্তর বজায় রাখতে এবং দূষণকারী পদার্থের প্রবেশ কমাতে ক্লিনরুম অ্যাপ্লিকেশনের জন্য সঠিক ভ্যাকুয়াম পাম্প নির্বাচন করা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। এখানে কিছু মূল বিবেচ্য বিষয় রয়েছে:

১. পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতা: পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতা ব্যবহারে ভ্যাকুয়াম পাম্পের পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতার পরিবেশে কণা, তেল বাষ্প বা অন্যান্য দূষণকারী পদার্থের উৎপত্তি এবং নির্গমন কমিয়ে আনার জন্য পাম্পটি ডিজাইন এবং তৈরি করা উচিত। পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতার ক্ষেত্রে তেল-মুক্ত বা শুষ্ক ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি সাধারণত পছন্দ করা হয় কারণ এগুলি তেল দূষণের ঝুঁকি দূর করে। উপরন্তু, মসৃণ পৃষ্ঠ এবং ন্যূনতম ফাটলযুক্ত পাম্পগুলি পরিষ্কার এবং রক্ষণাবেক্ষণ করা সহজ, কণা জমা হওয়ার সম্ভাবনা হ্রাস করে।

২. গ্যাস নির্গমন: গ্যাস নির্গমন বলতে ভ্যাকুয়াম পাম্প সহ বিভিন্ন পদার্থের পৃষ্ঠ থেকে গ্যাস বা বাষ্পের নির্গমনকে বোঝায়। ক্লিনরুম অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে, পরিবেশে দূষণকারী পদার্থের প্রবেশ রোধ করার জন্য কম গ্যাস নির্গমন বৈশিষ্ট্য সহ একটি ভ্যাকুয়াম পাম্প নির্বাচন করা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। ক্লিনরুম ব্যবহারের জন্য বিশেষভাবে ডিজাইন করা ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি প্রায়শই বিশেষ প্রক্রিয়াকরণের মধ্য দিয়ে যায় বা এই প্রভাব কমাতে কম গ্যাস নির্গমন বৈশিষ্ট্যযুক্ত উপকরণ ব্যবহার করে।

৩. কণা উৎপন্নকরণ: ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি চলমান অংশগুলির ঘর্ষণ এবং ক্ষয়ের কারণে কণা উৎপন্ন করতে পারে, যেমন রোটর বা ভ্যান। এই কণাগুলি পরিষ্কার কক্ষগুলিতে দূষণের উৎস হয়ে উঠতে পারে। পরিষ্কার কক্ষ ব্যবহারের জন্য ভ্যাকুয়াম পাম্প নির্বাচন করার সময়, পাম্পের কণা উৎপন্নকরণের স্তর বিবেচনা করা এবং কণা নির্গমন কমানোর জন্য ডিজাইন এবং পরীক্ষিত পাম্পগুলি নির্বাচন করা অপরিহার্য। স্ব-তৈলাক্তকরণ উপকরণ বা উন্নত সিলিং প্রক্রিয়ার মতো বৈশিষ্ট্যযুক্ত পাম্পগুলি কণা উৎপন্নকরণ কমাতে সাহায্য করতে পারে।

৪. পরিস্রাবণ এবং নিষ্কাশন ব্যবস্থা: ভ্যাকুয়াম পাম্পের সাথে যুক্ত পরিস্রাবণ এবং নিষ্কাশন ব্যবস্থা পরিষ্কার ঘরের মান বজায় রাখার জন্য অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। ভ্যাকুয়াম পাম্পে এমন দক্ষ ফিল্টার থাকা উচিত যা অপারেশনের সময় উৎপন্ন যেকোনো কণা বা দূষণকারী পদার্থকে ধরে রাখতে এবং অপসারণ করতে পারে। উচ্চমানের ফিল্টার, যেমন HEPA (উচ্চ-দক্ষতা পার্টিকুলেট এয়ার) ফিল্টার, কার্যকরভাবে ক্ষুদ্রতম কণাকেও আটকে রাখতে পারে। নিষ্কাশন ব্যবস্থাটি সঠিকভাবে ডিজাইন করা উচিত যাতে ফিল্টার করা বাতাস পরিষ্কার ঘরের বাইরে বেরিয়ে আসে বা পরিবেশে পুনরায় প্রবর্তনের আগে অতিরিক্ত পরিস্রাবণের মধ্য দিয়ে যায়।

৫. শব্দ এবং কম্পন: ভ্যাকুয়াম পাম্প দ্বারা সৃষ্ট শব্দ এবং কম্পন ক্লিনরুমের কার্যক্রমের উপর প্রভাব ফেলতে পারে। অতিরিক্ত শব্দ কাজের পরিবেশকে প্রভাবিত করতে পারে এবং যোগাযোগের ক্ষেত্রে ক্ষতি করতে পারে, অন্যদিকে কম্পন সংবেদনশীল প্রক্রিয়া বা সরঞ্জামগুলিকে ব্যাহত করতে পারে। নীরব অপারেশনের জন্য বিশেষভাবে ডিজাইন করা ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি বেছে নেওয়ার পরামর্শ দেওয়া হয় এবং কম্পন কমানোর জন্য ব্যবস্থা অন্তর্ভুক্ত করে। শব্দ-সঙ্কোচনকারী বৈশিষ্ট্য এবং কম্পন বিচ্ছিন্নতা ব্যবস্থা সহ পাম্পগুলি একটি শান্ত এবং স্থিতিশীল ক্লিনরুম পরিবেশ বজায় রাখতে সাহায্য করতে পারে।

৬. মানদণ্ড মেনে চলা: ক্লিনরুম অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে প্রায়শই নির্দিষ্ট শিল্প মান বা নিয়মকানুন থাকে যা অনুসরণ করা আবশ্যক। ভ্যাকুয়াম পাম্প নির্বাচন করার সময়, এটি নিশ্চিত করা গুরুত্বপূর্ণ যে এটি প্রাসঙ্গিক ক্লিনরুম মান এবং প্রয়োজনীয়তাগুলি মেনে চলে। বিবেচনার মধ্যে ISO পরিচ্ছন্নতার মান, ক্লিনরুম শ্রেণীবিভাগের স্তর এবং কণা গণনা, বহির্গাসিং স্তর বা অনুমোদিত শব্দের স্তরের জন্য শিল্প-নির্দিষ্ট নির্দেশিকা অন্তর্ভুক্ত থাকতে পারে। ক্লিনরুমের উপযুক্ততার সাথে সম্পর্কিত ডকুমেন্টেশন এবং সার্টিফিকেশন সরবরাহকারী নির্মাতারা সম্মতি প্রদর্শনে সহায়তা করতে পারেন।

৭. রক্ষণাবেক্ষণ এবং পরিষেবাযোগ্যতা: ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলির নির্ভরযোগ্য এবং দক্ষ পরিচালনার জন্য যথাযথ রক্ষণাবেক্ষণ এবং নিয়মিত পরিষেবা প্রদান অপরিহার্য। ক্লিনরুম অ্যাপ্লিকেশনের জন্য ভ্যাকুয়াম পাম্প নির্বাচন করার সময়, রক্ষণাবেক্ষণের সহজলভ্যতা, খুচরা যন্ত্রাংশের প্রাপ্যতা এবং প্রস্তুতকারকের কাছ থেকে পরিষেবা এবং সহায়তা পাওয়ার মতো বিষয়গুলি বিবেচনা করুন। ব্যবহারকারী-বান্ধব রক্ষণাবেক্ষণ বৈশিষ্ট্য, স্পষ্ট পরিষেবা নির্দেশাবলী এবং একটি প্রতিক্রিয়াশীল গ্রাহক সহায়তা নেটওয়ার্ক সহ পাম্পগুলি ডাউনটাইম কমাতে এবং ক্লিনরুমের কর্মক্ষমতা অব্যাহত রাখতে সহায়তা করতে পারে।

সংক্ষেপে, ক্লিনরুম ব্যবহারের জন্য ভ্যাকুয়াম পাম্প নির্বাচন করার জন্য পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতা, গ্যাস নির্গমনের বৈশিষ্ট্য, কণা উৎপাদন, পরিস্রাবণ এবং নিষ্কাশন ব্যবস্থা, শব্দ এবং কম্পন, মান মেনে চলা এবং রক্ষণাবেক্ষণের প্রয়োজনীয়তার মতো বিষয়গুলি সাবধানতার সাথে বিবেচনা করা প্রয়োজন। ক্লিনরুম ব্যবহারের জন্য বিশেষভাবে ডিজাইন করা ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি বেছে নেওয়ার মাধ্যমে এবং এই মূল বিষয়গুলি বিবেচনা করে, ক্লিনরুম অপারেটররা প্রয়োজনীয় স্তরের পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতা বজায় রাখতে পারে এবং তাদের গুরুত্বপূর্ণ প্রক্রিয়া এবং পণ্যগুলিতে দূষণের ঝুঁকি কমাতে পারে।

বিভিন্ন ধরণের ভ্যাকুয়াম পাম্প কি পাওয়া যায়?

হ্যাঁ, বিভিন্ন ধরণের ভ্যাকুয়াম পাম্প পাওয়া যায়, প্রতিটি নির্দিষ্ট প্রয়োগ এবং পরিচালনার নীতি অনুসারে ডিজাইন করা হয়েছে। এখানে একটি বিস্তারিত ব্যাখ্যা দেওয়া হল:

ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলিকে তাদের পরিচালনার নীতি, প্রক্রিয়া এবং তারা যে ধরণের ভ্যাকুয়াম তৈরি করতে পারে তার উপর ভিত্তি করে শ্রেণীবদ্ধ করা হয়। কিছু সাধারণ ধরণের ভ্যাকুয়াম পাম্পের মধ্যে রয়েছে:

১. রোটারি ভ্যান ভ্যাকুয়াম পাম্প:

– বর্ণনা: রোটারি ভেন পাম্প হল পজিটিভ ডিসপ্লেসমেন্ট পাম্প যা ঘূর্ণায়মান ভেন ব্যবহার করে ভ্যাকুয়াম তৈরি করে। ভ্যানগুলি পাম্প রটারের স্লট থেকে ভেতরে এবং বাইরে স্লাইড করে, গ্যাস আটকে রাখে এবং সংকুচিত করে সাকশন তৈরি করে এবং ভ্যাকুয়াম তৈরি করে।

– অ্যাপ্লিকেশন: রোটারি ভ্যান ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয় যেখানে মাঝারি ভ্যাকুয়াম স্তরের প্রয়োজন হয়, যেমন ল্যাবরেটরি ভ্যাকুয়াম সিস্টেম, প্যাকেজিং, রেফ্রিজারেশন এবং এয়ার কন্ডিশনিং।

2. ডায়াফ্রাম ভ্যাকুয়াম পাম্প:

– বর্ণনা: ডায়াফ্রাম পাম্পগুলি একটি নমনীয় ডায়াফ্রাম ব্যবহার করে যা উপরে এবং নীচে নমন করে একটি ভ্যাকুয়াম তৈরি করে। ডায়াফ্রামটি ভ্যাকুয়াম চেম্বারকে ড্রাইভিং মেকানিজম থেকে আলাদা করে, দূষণ এবং তেল-মুক্ত অপারেশন প্রতিরোধ করে।

– প্রয়োগ: ডায়াফ্রাম ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি সাধারণত ল্যাবরেটরি, চিকিৎসা সরঞ্জাম, বিশ্লেষণ যন্ত্র এবং অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে ব্যবহৃত হয় যেখানে তেল-মুক্ত বা রাসায়নিক-প্রতিরোধী ভ্যাকুয়াম প্রয়োজন।

৩. স্ক্রোল ভ্যাকুয়াম পাম্প:

– বর্ণনা: স্ক্রোল পাম্পগুলিতে দুটি সর্পিল আকৃতির স্ক্রোল থাকে—একটি স্থির এবং একটি কক্ষপথে ঘুরছে—যা চলমান অর্ধচন্দ্রাকার গ্যাস পকেটের একটি সিরিজ তৈরি করে। স্ক্রোলগুলি চলার সাথে সাথে, গ্যাস ক্রমাগত আটকে থাকে এবং সংকুচিত হয়, যার ফলে একটি শূন্যস্থান তৈরি হয়।

– অ্যাপ্লিকেশন: স্ক্রোল ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি এমন অ্যাপ্লিকেশনের জন্য উপযুক্ত যেখানে পরিষ্কার এবং শুষ্ক ভ্যাকুয়াম প্রয়োজন, যেমন বিশ্লেষণাত্মক যন্ত্র, ভ্যাকুয়াম শুকানো এবং ভ্যাকুয়াম আবরণ।

৪. পিস্টন ভ্যাকুয়াম পাম্প:

– বর্ণনা: পিস্টন পাম্পগুলি গ্যাস সংকুচিত করে এবং তারপর ভালভের মাধ্যমে ছেড়ে দিয়ে ভ্যাকুয়াম তৈরি করতে পারস্পরিক পিস্টন ব্যবহার করে। এগুলি উচ্চ ভ্যাকুয়াম স্তর অর্জন করতে পারে তবে তৈলাক্তকরণের প্রয়োজন হতে পারে।

– অ্যাপ্লিকেশন: পিস্টন ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি উচ্চ ভ্যাকুয়াম স্তরের প্রয়োজন এমন অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে ব্যবহৃত হয়, যেমন ভ্যাকুয়াম ফার্নেস, ফ্রিজ ড্রাইং এবং সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন।

৫. টার্বো মলিকুলার ভ্যাকুয়াম পাম্প:

– বর্ণনা: টার্বো পাম্পগুলি উচ্চ-গতির ঘূর্ণায়মান ব্লেড বা ইম্পেলার ব্যবহার করে একটি আণবিক প্রবাহ তৈরি করে, যা ক্রমাগত গ্যাস অণুগুলিকে সিস্টেম থেকে বের করে দেয়। এগুলি পরিচালনা করার জন্য সাধারণত একটি ব্যাকিং পাম্পের প্রয়োজন হয়।

– প্রয়োগ: টার্বো মলিকুলার পাম্পগুলি উচ্চ ভ্যাকুয়াম অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে ব্যবহৃত হয়, যেমন সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন, গবেষণাগার এবং ভর স্পেকট্রোমেট্রি।

৬. ডিফিউশন ভ্যাকুয়াম পাম্প:

– বর্ণনা: ডিফিউশন পাম্পগুলি গ্যাসের অণুগুলির ডিফিউশন এবং পরবর্তীতে উচ্চ-গতির বাষ্পের জেট দ্বারা অপসারণের উপর নির্ভর করে। এগুলি উচ্চ ভ্যাকুয়াম স্তরে কাজ করে এবং একটি ব্যাকিং পাম্পের প্রয়োজন হয়।

– অ্যাপ্লিকেশন: ডিফিউশন পাম্পগুলি সাধারণত উচ্চ ভ্যাকুয়াম স্তরের প্রয়োজন হয় এমন অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে ব্যবহৃত হয়, যেমন ভ্যাকুয়াম ধাতুবিদ্যা, স্পেস সিমুলেশন চেম্বার এবং পার্টিকেল অ্যাক্সিলারেটর।

৭. ক্রায়োজেনিক ভ্যাকুয়াম পাম্প:

– বর্ণনা: ক্রায়োজেনিক পাম্পগুলি গ্যাসের অণুগুলিকে ঘনীভূত এবং ধারণ করার জন্য অত্যন্ত কম তাপমাত্রা ব্যবহার করে, যা একটি শূন্যস্থান তৈরি করে। তারা অপারেশনের জন্য ক্রায়োজেনিক তরল, যেমন তরল নাইট্রোজেন বা হিলিয়ামের উপর নির্ভর করে।

– প্রয়োগ: ক্রায়োজেনিক ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি অতি-উচ্চ ভ্যাকুয়াম অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে ব্যবহৃত হয়, যেমন কণা পদার্থবিদ্যা গবেষণা, পদার্থ বিজ্ঞান এবং ফিউশন চুল্লি।

এগুলি বিভিন্ন ধরণের ভ্যাকুয়াম পাম্পের কয়েকটি উদাহরণ মাত্র। প্রতিটি ধরণের নিজস্ব সুবিধা, সীমাবদ্ধতা এবং নির্দিষ্ট অ্যাপ্লিকেশনের জন্য উপযুক্ততা রয়েছে। ভ্যাকুয়াম পাম্পের পছন্দ প্রয়োজনীয় ভ্যাকুয়াম স্তর, গ্যাসের সামঞ্জস্যতা, নির্ভরযোগ্যতা, খরচ এবং অ্যাপ্লিকেশনের নির্দিষ্ট প্রয়োজনীয়তার মতো বিষয়গুলির উপর নির্ভর করে।

সম্পাদক: সিএক্স ২০২৩-১১-০৮