保証期間: 1年
カスタマイズサポート：OEM、ODM
型番：GWSP1000
用途: 食品および飲料業界、製薬業界、超高真空装置、真空スパッタリング装置、ICプラズマ洗浄装置、ICプラズマ研磨装置、ICパッケージング装置、IC輸送チャンバー、LED真空アニーリング炉、ロードロック/トランスファーチャンバー、グローブボックス、LEDパッケージング装置、液晶射出成形およびパッケージング、真空アニーリング炉、真空拡散オーブン、3D金属印刷、単結晶成長炉、マイクロ波洗浄およびマイクロ波乾燥装置、電子ビーム/レーザー溶融、真空脱ガス、真空ガス置換、凍結乾燥機、真空保管、低温プラズマ滅菌器、歯科機器、リチウム電池乾燥およびパッケージング装置、分光法/電子顕微鏡、宇宙環境シミュレーション装置、ヘリウムリーク検出器、質量分析計、クライオポンプ再生、高品質自動車部品エンジンベルトテンショナープーリー（Honda Civic 2006-2011用）テンショナーアセンブリ 31170-RWK-005 31170-RNA-A03 真空装置、オイルフリー超高真空ユニット、オイルフリークリーン真空
電源: 電気
圧力: 低圧
構造：スクロールポンプ
認証：CE、EAC、ISO9001認証
特徴: オイル不要、低騒音、メンテナンスフリー、クリーンな真空を実現
メカニカルシール：クリアランスシール
モーター：3相、50-60Hz、1425/1725rpm、200-416V、1.5kW。プラグは米国、EU、英国、インド向け。
標準または非標準: 標準
材質：アルミニウム合金
色: グレー
梱包の詳細：標準ハニカムカートン梱包、外部巻き取りプラスチックストレッチフィルム保護
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GWSP オイルフリースクロール真空ポンプ
GWSP シリーズ オイルフリー スクロール真空ポンプは、渦流ポンプ、ドライ スクロール ポンプ、オイルフリー スクロール ポンプ、オイルレス スクロール ポンプ、ドライ スクロール真空ポンプ、オイルフリー 渦流真空ポンプとも呼ばれ、半導体産業、光電、材料、医療、エネルギー、航空宇宙、分析機器、真空システムで完璧に使用されています。コンパクトな構造、小型、軽量、低振動、低騒音、カスタマイズされた高性能 ISO 5294 H 18 歯 C45 鋼黒色コーティング表面処理伝動タイミング ベルト プーリー、低エネルギー消費、グローバル電源に適しており、1 ボタンで起動し、大気圧と真空の間で頻繁に起動および停止できます。GEOWELL は、20 年を超える現場経験、中国で最長の稼働時間と最大の販売実績を持つスクロール真空ポンプの専門メーカーです。GEOWELL の GWSP シリーズ スクロール真空ポンプは、クリーン ポンピング技術のプレミアム チョイスです。
技術仕様
| モデル | GWSP1000 | ||
| 変位 | 50Hz | cfm | 35.8 |
| メートル3/時 | 59.8 | ||
| l/s | 16.6 | ||
| l/分 | 996.0 | ||
| 60Hz | cfm | 42.8 | |
| メートル3/時 | 71.6 | ||
| l/s | 20.0 | ||
| l/分 | 1195.0 | ||
| 極限圧力 | トル | ≤7.5*10-3 | |
| サイ | ≤1.5*10-4 | ||
| ミリバール | ≤1.0*10-2 | ||
| パ | ≤1 | ||
| 騒音レベル | dB(A) | ≤63 | |
| 漏れ | mbar·l/s | 1*10-7 | |
| 最大吸排気圧力 | MPa | 0.1 / 0.13 | |
| 周囲動作温度 | ℉ | 41~104 | |
| 冷却タイプ | 空冷式 | ||
| 吸気/排気フランジ | KF40/KF16*2 | ||
| モーター3相 | 力 | キロワット | 1.50 |
| 電圧 | V | 200~230または380~415（50Hz）、200~230または460（60Hz） | |
| スピード | 回転数 | 1425（50Hz）、1725（60Hz） | |
| 寸法 | 3相 | んん | 565*445*405 |
| 正味重量 | 3相 | kg | 54 |
| その他 | エアフラッシュ付き | ||
安全上の注意
GWSP シリーズのオイルフリー スクロール真空ポンプは、クリーン プロセスにのみ適しています。
有毒、爆発性、可燃性、腐食性の物質、または化学物質、溶剤、粒子を含む物質をポンプで送液しないでください。GEOWELLは、特殊ガスやその他の危険物質を使用したポンプのメンテナンス作業は行いません。入口ガスの温度が122℉未満であることを確認してください。
建設の詳細
パフォーマンス曲線
機能と利点
オイルフリークリーン掃除機
オイルの逆拡散やオイルミストの排出がなく、
クリーンな真空環境を提供する
幅広い製品ラインナップ
排気速度は1.8～35.4cfm、制限真空レベルは7.5×10-3～6.0×10-2Torrです。
世界中のあらゆるタイプの電源に適しています
110/220/380/460V、50/60Hzから選択可能
低振動、低騒音
57～63 dB(A)、スムーズな動作
高効率、メンテナンスの容易さ
水冷式、オイル潤滑式、日常メンテナンス不要
アプリケーション
半導体産業
真空スパッタリング装置。
ICプラズマ洗浄機。
ICプラズマ研磨機。
IC包装機。
IC伝送チャンバー。
光電産業
LED真空アニール炉。
ロードロック/トランスファーチャンバー。
グローブボックス。
LED包装機。
液晶の注入とパッケージング。
素材産業
真空焼鈍炉。
真空拡散オーブン。
3D金属プリント。
単結晶成長炉。
電子レンジ乾燥機。
電子ビーム/レーザー溶融。
真空脱ガス。
真空ガス置換。
食品・医薬品業界
凍結乾燥機。
真空保存。
医療機器
低温プラズマ滅菌装置。
真空保存。
歯科用機器。
エネルギー産業
SF6ガス回収装置。
リチウム電池乾燥・包装機。
分析機器および装置
分光法/sc杭州電子顕微鏡
宇宙環境シミュレーション機
ヘリウムリーク検出器
質量分析計
クライオポンプの再生
加速器/シンクロトロン
真空装置
オイルフリー超高真空ユニット
オイルフリー真空ユニット
証明書
GEOWELLは、オイルフリースクロール真空ポンプ技術の独自の研究開発の道を切り開きました。基礎理論研究から応用開発、量産に至るまで、GEOWELLは60件を超える技術特許と独自技術を蓄積し、欧州CE、ロシアEAC、ISO9001の認証を取得しています。
品質管理
GEOWELLは、製品製造のあらゆる側面に品質コンセプトを統合しています。品質管理は原材料の入荷から始まり、原材料の入荷、製造、組み立て、出荷に至るまで、標準作業手順を構築し、実施し、すべてにおいて品質検査を実施します。試験基準を厳格に実施し、データを品質検査の唯一の基準としています。
梱包と配送
会社情報
GEOWELL VACUUM CO.,LTD.は、2002年以来、オイルフリースクロール真空ポンプと真空コンプレッサーの製造、研究開発、マーケティングに専念している中国のハイテク企業です。GEOWELLは、ユーザーとパートナーに効率的で信頼性の高い高品質の製品を提供してきました。GEOWELLは、高性能で信頼性の高い製品とサービスの統合が、お客様と当社の両方に最高の価値をもたらすと信じています。
展示会
質問と回答
Q: お問い合わせを送信してからどれくらいでフィードバックを受け取ることができますか?
A: 営業日であれば12時間以内に返信いたします。
Q: 貴社は直接製造業者ですか?
A: はい、当社は工場と国際部門を備えた直接製造業者であり、すべての製品を自社で製造、販売しています。
Q: いつ商品を配送してもらえますか？
A: 当社は大きな倉庫を持つ工場ですので、豊富な商品を在庫しており、ご入金後 7 日以内に配送が可能です。
Q: 製品にロゴを追加できますか?
A: もちろんです。ただし、通常は数量制限がございます。詳しくはお問い合わせください。
Q: 製品の品質とアフターサービスはどのように保証されますか?
A: 原材料の入荷から製品の出荷に至るまで、製造工程において厳格な検査を実施しています。すべての製品は、出荷前に工場内で鋳造、機械加工、組立、性能試験の4段階の検査を受け、さらに梱包の完全性検査も実施しています。
Q: 保証期間は何ですか?
A: 輸出製品には出荷日から12ヶ月の保証が付いています。保証期間が切れた場合は、交換部品の費用をお客様にご負担いただきます。
Q: サンプルはありますか?
A: はい、通常、サンプルはFedex、DHL、TNT、UPS、EMS、SF、Deponで発送いたします。お客様のお手元に届くまで3～4日ほどかかりますが、サンプル代金や航空運賃など、サンプルにかかる費用はすべてお客様にご負担いただきます。ご注文を受領後、サンプル代金を返金いたします。
真空ポンプの基礎知識
真空ポンプは、密閉された空間から気体分子を吸引し、部分的な真空状態を維持する装置です。主な役割は、所定の空間（複数可）内に相対的な真空を作り出すことです。真空ポンプには多くの種類があります。この記事では、それらの仕組み、種類、そして用途について説明します。 
仕組み
真空ポンプは、周囲の大気圧よりも高い圧力をかけることで、システムからガスを除去する機械装置です。真空ポンプの動作原理は、ガスの移動と捕捉の原理に基づいています。真空ポンプは、真空度と1立方センチメートルあたりに除去できる分子数によって分類されます。中真空から高真空では、ガス分子が互いに衝突することで粘性流が発生します。真空度が上昇すると、分子流または遷移流が発生します。
真空ポンプは、多用途のツールとして複数の部品で構成されています。主要部品の一つはモーターで、ローターとステーターで構成されています。ローターとステーターにはコイルが内蔵されており、励磁されると磁場が発生します。どちらの部品も、ポンプの重量を支えるベースに取り付ける必要があります。また、潤滑と冷却のためにシステム全体にオイルを循環させるオイルドレンも備えています。
もう一つの真空ポンプは液封式真空ポンプです。このポンプは、インペラをブレードの上または下に配置することで動作します。液封式ポンプはインペラの速度を調整することもできます。ただし、このタイプのポンプを使用する場合は、専門家に相談することをお勧めします。
真空ポンプは、気体分子を圧力の高い領域または低い領域に移動させることで機能します。圧力が低下すると、分子の除去は困難になります。産業用真空システムでは、1～10-6 Torrの範囲で動作可能なポンプが必要です。
タイプ
真空ポンプには様々な種類があり、実験室など、様々な用途で使用されています。これらのポンプの主な目的は、真空チャンバーから空気または気体分子を除去することです。ポンプの種類によって、この目的を達成する技術は異なります。容積式ポンプ、液封式ポンプ、分子移動式ポンプ、エントラップメント式ポンプなどがあります。
これらのポンプの一部は、真空管、ブラウン管、電灯、半導体製造などの産業プロセスで使用されています。また、自動車の油圧部品や航空機の動力源としても使用されています。ジャイロスコープは通常、これらのポンプによって制御されています。場合によっては、医療現場でも使用されています。
真空ポンプの仕組みは、ポンプで汲み出すガスの種類によって異なります。主に容積型、負圧型、そして運動量移動型の3つのタイプがあります。潤滑の種類に応じて、これらの原理はさらに異なるタイプのポンプに分類されます。例えば、ドライ真空ポンプはガスや蒸気の影響を受けにくいです。
真空ポンプのもう1つのタイプは、ロータリーベーンポンプと呼ばれます。このタイプのポンプは、ローターと真空チャンバーという2つの主要部品で構成されています。これらのポンプは、可動部品をポンプケーシングに対して回転させることによって作動します。ロータリーポンプの接合面は、低圧側への流体の漏れを防ぐため、非常に小さなクリアランスで設計されています。低脈動と高い連続流量が求められる真空用途に適しています。ただし、研削媒体には適していません。
真空ポンプには様々な種類があり、用途に適したものを選ぶことが重要です。ポンプの種類は、システムのニーズと目的によって異なります。大型のものは連続運転が可能で、小型のものは断続運転に適しています。 
適用する
真空ポンプは、様々な産業プロセスや科学プロセスで使用されています。例えば、真空管、ブラウン管、電球の製造に使用されています。また、半導体プロセスにも使用されています。真空ポンプは、他の機器の機械的支持としても使用されます。例えば、自動車のエンジンには、航空機の油圧部品に動力を供給するために複数の真空ポンプが搭載されている場合があります。さらに、核融合研究でもよく使用されます。
実験室で最も一般的に使用される真空ポンプは、ロータリーベーンポンプです。このポンプは、円形のハウジング内の一連の回転ブレードに空気流を導くことで動作します。ブレードがハウジングを通過する際に、キャビティ内のガスを除去し、真空状態を作り出します。ロータリーポンプは通常、単段式または二段式で、10～6barの圧力に対応できます。また、排気速度も高速です。
真空ポンプは、ウェハ上に太陽電池を製造する際にも使用されます。これには、ドーピング、拡散、ドライエッチング、プラズマ化学蒸着法（PCVD）、バルク粉末生成など、幅広いプロセスが含まれます。これらの用途は、プロセスで使用される真空ポンプの種類に依存しており、選定する真空ポンプは環境に合わせて設計されている必要があります。
真空ポンプにはいくつかの種類がありますが、基本的な動作原理は同じです。真空の種類に応じて、それぞれ機能と容量が異なります。一般的には、容積式ポンプ、ロータリーベーンポンプ、液封式ポンプ、分子送出ポンプに分類されます。
メンテナンス
一般的なメンテナンスおよび修理の責任者は、研究責任者（PI）です。Agknxsは、PIおよびその他の関連する研究室スタッフによって遵守され、承認される必要があります。Agknxsは、真空ポンプ機器の日常メンテナンスに関するガイドラインを提供します。Agknxsは、真空ポンプ機器の詳細な定期点検に代わるものではありません。定期的な点検は、認定/資格を有するサービス担当者によって実施される必要があります。機器が故障した場合は、PIまたはRPに連絡して支援を受ける必要があります。
まず、真空ポンプに緩んだ部品がないか確認してください。入口圧力計と出口圧力計が開いていることを確認してください。適切な圧力が表示されたら、ゲートバルブを開いてください。また、真空ポンプのヘッドと流量も確認してください。流量とヘッドはラベルに記載されている範囲内である必要があります。ベアリング温度は35°F（約17℃）以内、最高温度は80°F（約27℃）を超えてはなりません。真空ポンプのブッシングがひどく摩耗している場合は交換してください。
真空ポンプが複数回の異常な動作状態を経験した場合は、性能試験を実施する必要があります。結果を基準値と比較し、異常を特定する必要があります。ポンプの早期故障を回避するには、予知保全への体系的なアプローチが不可欠です。これは半導体業界において比較的新しい分野ですが、大手半導体企業や主要な真空ポンプサプライヤーは、まだ一貫したアプローチを開発していません。
真空ポンプの性能評価のため、簡略化されたポンプダウン試験法を提案する。この方法には、模擬曝気現場試験と4つのポンプ性能指標が含まれる。性能指標は、ガス負荷時、アイドル時、およびガス負荷依存試験条件下で評価される。 
料金
真空ポンプの総コストは、初期投資と継続的なメンテナンス費用という2つの主要な要素で構成されます。後者は初期投資の約4～5倍の費用がかかるため、最も高額な要素です。したがって、よりエネルギー効率の高いモデルを選択することは、システム全体のコストと投資回収期間を削減する良い方法です。
真空ポンプの初期費用は約$786です。オイル潤滑式ロータリーベーンポンプが最も安価で、オイルフリー式ロータリーベーンポンプは若干高価です。非接触式ポンプも若干高価です。真空ポンプのコストはそれほど高くありませんが、慎重に検討する必要がある要素です。
真空ポンプを選ぶ際には、排気するガスの種類を考慮することが重要です。空気のみの排気に適したポンプもあれば、ヘリウムの排気用に設計されたポンプもあります。オイルフリーエアは、空気とは異なる排気速度特性を持っています。そのため、ポンプがお客様の要件を満たすことを確認するには、媒体の特性を考慮する必要があります。真空ポンプのコストは、日々の運転コストとメンテナンスコストがはるかに高額になる可能性があるため、購入価格よりもはるかに高くなる可能性があります。
潤滑式真空ポンプは耐久性が高く、価格も手頃ですが、メンテナンスの頻度が高くなる場合があります。メンテナンス費用は、ポンプで送り出すガスの種類によって異なります。軽いガスはゆっくりとポンプで送り出す必要があり、重いガスはより速くポンプで送り出す必要があります。真空ポンプのメンテナンスレベルは、潤滑の頻度によっても異なります。
ダイヤフラム真空ポンプは定期的なメンテナンスとオイル交換が必要です。ダイヤフラムポンプのオイルは、使用時間3000時間ごとに交換する必要があります。また、このポンプは耐薬品性と耐腐食性を備えているため、酸性や粘性物質にも使用できます。
編集者：czh2023-02-07
