รับประกัน: 1 ปี
การสนับสนุนที่ปรับแต่งได้: OEM, ODM
รหัสการออกแบบ: GWSPS500
ซอฟต์แวร์: อุตสาหกรรมอาหารและเครื่องดื่ม, ภาคเภสัชกรรม, เครื่องดูดสุญญากาศระดับสูงพิเศษ, เครื่องสปัตเตอร์สุญญากาศ, เครื่องทำความสะอาดพลาสมา IC, เครื่องขัดพลาสมา IC, เครื่องบรรจุภัณฑ์ IC, ห้องขนส่ง IC, เตาอบสุญญากาศสำหรับ LED, ห้องล็อค/ถ่ายโอนโหลด, กล่องถุงมือ, เครื่องบรรจุภัณฑ์ LED, การฉีดและบรรจุภัณฑ์คริสตัลเหลว, เตาอบสุญญากาศ, เตาอบกระจายสุญญากาศ, การพิมพ์เหล็ก 3 มิติ, เตาอบผลึกเดี่ยว, เครื่องทำความสะอาดและอบแห้งด้วยไมโครเวฟ, การหลอมด้วยลำแสงอิเล็กตรอน/เลเซอร์, การไล่แก๊สสุญญากาศ, การทดแทนเชื้อเพลิงสุญญากาศ, เครื่องอบแห้งแบบแช่แข็ง, การจัดเก็บสุญญากาศ, เครื่องฆ่าเชื้อพลาสมาอุณหภูมิต่ำ, อุปกรณ์ทันตกรรม, เครื่องอบแห้งและบรรจุภัณฑ์แบตเตอรี่ลิเธียม, สเปกโทรสโกปี/กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน, เครื่องจำลองสภาพแวดล้อม, เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของฮีเลียม, เครื่องสเปกโทรเมตรมวล, การฟื้นฟูปั๊มไครโอ, เครื่องดูดสุญญากาศระดับสูงพิเศษแบบไร้น้ำมัน, ผลิตภัณฑ์สุญญากาศ, สุญญากาศสะอาดแบบไร้น้ำมัน
แหล่งจ่ายไฟฟ้า: ไฟฟ้า
ความเครียด: ความดันต่ำ
โครงสร้าง: ปั๊มแบบสกรอลล์
การรับรอง: CE, EAC, ใบรับรอง ISO9001 จากห้องปฏิบัติการปั๊มสุญญากาศไดอะแฟรมแบบไร้น้ำมันขนาดเล็ก
คุณสมบัติ: ไม่ใช้น้ำมัน เสียงรบกวนน้อย ไม่ต้องบำรุงรักษา ให้การดูดฝุ่นที่สะอาดหมดจด
ซีลเชิงกล: ซีลแบบมีช่องว่าง
มอเตอร์: 3 จังหวะ, 50-60 เฮิรตซ์, 1425/1725 รอบต่อนาที, 110-416 โวลต์, 750 วัตต์ ปลั๊กสำหรับสหรัฐอเมริกา, สหภาพยุโรป, สหราชอาณาจักร, อินเดีย
ทั่วไปหรือไม่มาตรฐาน: มาตรฐาน
วัสดุ: โลหะผสมอลูมิเนียม
สี: เทา
รายละเอียดบรรจุภัณฑ์: บรรจุภัณฑ์กล่องกระดาษลูกฟูกแบบรังผึ้งมาตรฐาน หุ้มด้วยฟิล์มพลาสติกยืดเพื่อความปลอดภัยภายนอก
ส
ปั๊มสุญญากาศแบบสกรอลล์ GWSPS แบบไม่เสียค่าใช้จ่ายด้านน้ำมัน
ปั๊มสุญญากาศแบบเกลียว GWSPS ที่ไม่ต้องใช้น้ำมันหล่อลื่น ประกอบด้วยชุดหัวปั๊ม ชุดข้อเหวี่ยง ชุดยึด ชุดไล่ลม และชุดวาล์วไอเสีย มีกระบอกสูบเกลียวสองอัน อันหนึ่งเยื้องศูนย์และหมุนรอบอีกอันโดยมีมุมเยื้องศูนย์ 180° เพื่อสร้างช่องรูปพระจันทร์เสี้ยวหลายช่องที่มีขนาดแตกต่างกัน ด้วยแรงผลักแบบเยื้องศูนย์ กระบอกสูบเกลียวที่หมุนจะหมุนรอบกระบอกสูบเกลียวที่ตั้งฉาก ลดปริมาตรของช่องและอัดก๊าซจากภายนอกเข้าสู่ภายใน จึงสูบก๊าซออกจากห้องสุญญากาศ
ข้อกำหนดเฉพาะ
| แบบอย่าง | จีดับบลิวเอสพี500 | ||
| การเคลื่อนย้าย | 50Hz | ซีเอฟเอ็ม | สิบสี่.7 |
| ม3/ชม | 24. | ||
| ล/ส | หก.7 | ||
| ลิตร/นาที | 402. | ||
| 60Hz | ซีเอฟเอ็ม | สิบเจ็ด.6 | |
| มสาม/ชม | 28.8 | ||
| ล/ส | 8.1 | ||
| ลิตร/นาที | 482. | ||
| แรงกดดันสูงสุด | ทอร์ | ≤3.7*สิบ-สอง | |
| psi | ≤7.5*10-4 | ||
| เอ็มบาร์ | ≤5.*10-2 | ||
| ปา | ≤5 | ||
| ระดับเสียง | เดซิเบล(เอ) | ≤61 | |
| การรั่วไหล | มบาร์·ล/วินาที | 1*สิบ-7 | |
| แรงดันขาเข้า/ขาออกสูงสุด | เมกะปาสคาล | .1 / .13 | |
| อุณหภูมิแวดล้อมในการทำหัตถการ | ℉ | สี่สิบเอ็ด~104 | |
| มอเตอร์ 3 ช่วงเวลา | พลังงานไฟฟ้า | กิโลวัตต์ | .75 |
| แรงดันไฟฟ้า | วี | สองร้อย~230 หรือ 380~415 (50Hz), 200~230 หรือ 460 (60Hz) | |
| ความเร็ว | รอบต่อนาที | 1425 (50Hz), 1725 (60Hz) | |
| หน้าแปลนทางเข้า/ทางออก | เคเอฟ40/เคเอฟ16 | ||
| สัดส่วน | สามส่วน | มม. | 590*320*345 |
| น้ำหนักเกินทางเว็บ | สามเฟส | กก. | 38 |
| ประเภทการระบายความร้อน | ระบายความร้อนด้วยอากาศ | ||
มาตรการป้องกันความปลอดภัย
ตรวจสอบให้แน่ใจว่าอุณหภูมิของน้ำมันเบนซินที่ไหลเข้าต้องต่ำกว่า 122 องศาฟาเรนไฮต์
การสร้างรายละเอียดเฉพาะ
เส้นโค้งประสิทธิภาพ
คุณสมบัติและข้อดี
เครื่องดูดฝุ่นทำความสะอาดแบบไร้น้ำมัน
ไม่มีน้ำมันไหลย้อนกลับ ไม่มีละอองน้ำมันในท่อไอเสีย
จัดให้มีสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่ชัดเจน
สินค้าหลากหลายรายการ
อัตราการสูบจ่ายครอบคลุมช่วง 1.8~35.4 cfm และระดับสุญญากาศขั้นต่ำ 7.5*10⁻³ ถึง 6*10⁻² Torr
เหมาะสำหรับแหล่งพลังงานทุกประเภททั่วโลก
เลือกได้ว่าจะใช้ไฟ 110/220/380/460 โวลต์ หรือ 50/60 เฮิรตซ์
ลดแรงสั่นสะเทือน ลดเสียงรบกวน
57~63 dB(A) ขั้นตอนง่าย
ประสิทธิภาพสูง ลดภาระการบำรุงรักษา
ไม่ต้องใช้น้ำดื่มหล่อเย็น ไม่ต้องใช้น้ำมันหล่อลื่น ตัวกรองสุญญากาศแบบอินไลน์สีดำแรงดันสูง F006 G2-G3 นิ้ว สำหรับปั๊มสุญญากาศแบบเป่าลมวงแหวน บำรุงรักษาตามปกติทุกวันโดยไม่เสียค่าใช้จ่าย
แอป
อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
อุปกรณ์สปัตเตอร์แบบสุญญากาศ
เครื่องทำความสะอาดพลาสมา IC
อุปกรณ์ขัดผิวพลาสมา IC
อุปกรณ์บรรจุภัณฑ์ IC
ห้องส่งผ่านสัญญาณ IC
ตลาดโฟโตอิเล็กทริก
เตาอบสุญญากาศแบบใช้ไฟ LED
ห้องล็อก/ถ่ายโอนกระสุน
ช่องเก็บของในรถ
เครื่องบรรจุภัณฑ์ LED
การฉีดและบรรจุภัณฑ์ผลึกเหลว
ภาคส่วนสาร
เตาอบอ่อนตัวแบบสุญญากาศ
เตาอบกระจายความร้อนแบบสุญญากาศ
การพิมพ์โลหะ 3 มิติ
เตาเผาสำหรับเพาะผลึกหนึ่งเตา
เครื่องอบแห้งด้วยไมโครเวฟ
การหลอมด้วยลำแสงอิเล็กตรอน/เลเซอร์
การไล่แก๊สด้วยระบบสุญญากาศ
การทดแทนเชื้อเพลิงสุญญากาศ
ภาคอาหารและยา
เครื่องอบแห้งแบบแช่แข็ง
การเก็บรักษาในสุญญากาศ
เครื่องมือทางการแพทย์
เครื่องฆ่าเชื้อด้วยพลาสมาอุณหภูมิต่ำ
การเก็บรักษาในสุญญากาศ
อุปกรณ์ทันตกรรม
ภาคพลังงาน
อุปกรณ์ฟื้นฟูสภาพก๊าซ SF6
อุปกรณ์อบแห้งและบรรจุภัณฑ์แบตเตอรี่ลิเธียม
การวิเคราะห์เครื่องมือและหน่วย
สเปกโทรสโกปี/กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน scHangZhou
อุปกรณ์จำลองสภาพแวดล้อมพื้นที่
เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของฮีเลียม
เครื่องสเปกโทรเมตรมวล
การฟื้นฟูปั๊มความเย็น
เครื่องเร่งอนุภาค/ซินโครตรอน
อุปกรณ์สุญญากาศ
เครื่องดูดสุญญากาศระดับสูงพิเศษแบบไม่ต้องใช้น้ำมัน
เครื่องดูดฝุ่นแบบไม่ต้องใช้น้ำมัน
ใบรับรอง
GEOWELL ได้สร้างรากฐานการวิจัยและพัฒนาอย่างเป็นกลางในด้านเทคโนโลยีปั๊มสุญญากาศแบบสกรอลล์ไร้น้ำมัน ตั้งแต่การศึกษาเชิงทฤษฎีมาตรฐาน การพัฒนาซอฟต์แวร์ ไปจนถึงการผลิตจำนวนมาก GEOWELL ได้สะสมสิทธิบัตรเฉพาะทางและเทคโนโลยีที่เป็นกรรมสิทธิ์มากกว่าหกสิบรายการ และได้รับการรับรองมาตรฐาน CE ของยุโรป EAC ของรัสเซีย และ ISO9001
ด้ามจับคุณภาพสูงสุด
GEOWELL ได้ผนวกหลักการคุณภาพสูงสุดเข้าไว้ในทุกแง่มุมของการผลิตสินค้า การจัดการคุณภาพสูงสุดเริ่มต้นตั้งแต่การรับวัตถุดิบ การผลิต และการใช้มาตรฐานการปฏิบัติงาน ตั้งแต่การรับวัตถุดิบ การผลิต การประกอบ ไปจนถึงการจัดส่ง โดยทุกขั้นตอนจะมีการตรวจสอบคุณภาพอย่างเคร่งครัด มีการบังคับใช้ข้อกำหนดการคัดกรองอย่างเข้มงวด และใช้ข้อมูลเป็นเกณฑ์เดียวในการตรวจสอบคุณภาพ
บรรจุภัณฑ์และการจัดส่ง
ข้อมูลบริษัท
บริษัท GEOWELL VACUUM จำกัด เป็นบริษัทไฮเทคในประเทศจีนที่ทุ่มเทให้กับการผลิต การวิเคราะห์ การปรับปรุง และการตลาดของปั๊มสุญญากาศแบบสกรอลล์และเครื่องอัดอากาศสุญญากาศแบบไร้น้ำมันมาตั้งแต่ปี 2545 GEOWELL มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงที่มีประสิทธิภาพและน่าเชื่อถือแก่ผู้ใช้งานและพันธมิตร GEOWELL เชื่อว่าการผสานรวมประสิทธิภาพที่สูงขึ้นและความน่าเชื่อถือที่แข็งแกร่งจะนำมาซึ่งผลประโยชน์สูงสุดแก่ลูกค้าและตัวเราเอง
นิทรรศการ
ข้อกังวลและคำตอบ
ถาม: ฉันจะได้รับคำตอบหลังจากที่เราส่งคำถามไปแล้วนานแค่ไหน?
A: เราจะตอบกลับคุณภายในสิบสองชั่วโมงในวันทำการ
ถาม: คุณเป็นผู้ผลิตโดยตรงหรือไม่?
A: แน่นอนครับ เราเป็นผู้ผลิตโดยตรงที่มีโรงงานผลิตและตัวแทนจำหน่ายทั่วโลก เราผลิตและจำหน่ายผลิตภัณฑ์ทั้งหมดของเราเอง
ถาม: คุณจะสามารถจัดส่งสินค้าให้เราได้เมื่อใด?
A: เนื่องจากเราเป็นโรงงานผลิตที่มีคลังสินค้าขนาดใหญ่ เราจึงมีสินค้าพร้อมส่งจำนวนมาก ดังนั้นเราจึงสามารถจัดส่งและส่งมอบสินค้าได้ภายใน 7 วันหลังจากได้รับเงินมัดจำของคุณ
ถาม: ฉันสามารถเพิ่มตราสัญลักษณ์ลงบนสินค้าได้หรือไม่?
A: แน่นอนว่าเรามีหลักสูตรฝึกอบรม แต่โดยปกติแล้วเรามีความต้องการในปริมาณมาก คุณสามารถติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติมได้
ถาม: จะมั่นใจได้อย่างไรว่าสินค้าของคุณมีคุณภาพดีและได้รับการสนับสนุนหลังการขายที่ดี?
A: เราดำเนินการตรวจสอบอย่างเข้มงวดตลอดกระบวนการผลิต ตั้งแต่วัตถุดิบที่ยังไม่ผ่านการแปรรูป ไปจนถึงสินค้าที่จัดส่ง ทุกผลิตภัณฑ์จะต้องผ่านการตรวจสอบ 4 ขั้นตอน ได้แก่ การหล่อ การกลึง การประกอบ และการทดสอบประสิทธิภาพภายในโรงงานของเราก่อนการจัดส่ง และเรายังรับประกันการตรวจสอบบรรจุภัณฑ์ที่สมบูรณ์อีกด้วย
ถาม: เงื่อนไขการรับประกันของคุณคืออะไร?
A: สินค้าส่งออกของเรามีการรับประกัน 12 เดือนนับจากวันที่จัดส่ง หากหมดระยะเวลารับประกันแล้ว ผู้บริโภคจะต้องชำระค่าสินค้าทดแทน
ถาม: สามารถขอรับตัวอย่างได้หรือไม่?
A: แน่นอนค่ะ โดยปกติเราจะส่งตัวอย่างสินค้าผ่าน Fedex, DHL, TNT, UPS, EMS, SF, Depon ซึ่งจะใช้เวลาประมาณ 3-4 วันกว่าผู้ซื้อจะได้รับสินค้า ปั๊มดูดแรงดันต่ำ 12V DC คุณภาพสูงสำหรับห้องปฏิบัติการ แต่ลูกค้าจะต้องชำระค่าใช้จ่ายทั้งหมดที่เกี่ยวข้องกับตัวอย่างสินค้า เช่น ราคาตัวอย่างและค่าขนส่งทางอากาศ เราจะคืนเงินค่าตัวอย่างให้ลูกค้าหลังจากได้รับคำสั่งซื้อแล้ว
ความรู้พื้นฐานเกี่ยวกับปั๊มสุญญากาศ
ปั๊มสุญญากาศเป็นอุปกรณ์ที่ดูดโมเลกุลของก๊าซออกจากปริมาตรที่ปิดสนิทและรักษาสภาพสุญญากาศบางส่วน หน้าที่หลักคือการสร้างสุญญากาศสัมพัทธ์ภายในปริมาตรที่กำหนด มีปั๊มสุญญากาศหลายประเภท บทความนี้จะอธิบายวิธีการทำงาน ประเภท และการใช้งานของปั๊มสุญญากาศแต่ละประเภท 
วิธีการทำงาน
ปั๊มสุญญากาศเป็นอุปกรณ์เชิงกลที่กำจัดแก๊สออกจากระบบโดยการเพิ่มความดันให้สูงกว่าความดันบรรยากาศโดยรอบ หลักการทำงานของปั๊มสุญญากาศนั้นอยู่บนพื้นฐานของหลักการถ่ายเทและการกักเก็บแก๊ส ปั๊มสุญญากาศสามารถจำแนกได้ตามระดับสุญญากาศและจำนวนโมเลกุลที่สามารถกำจัดได้ต่อลูกบาศก์เซนติเมตรของพื้นที่ ในระดับสุญญากาศปานกลางถึงสูง จะเกิดการไหลแบบหนืดเมื่อโมเลกุลของแก๊สชนกัน การเพิ่มระดับสุญญากาศจะทำให้เกิดการไหลแบบโมเลกุลหรือการไหลแบบเปลี่ยนผ่าน
ปั๊มสุญญากาศมีส่วนประกอบหลายอย่างที่ทำให้เป็นเครื่องมืออเนกประสงค์ ส่วนประกอบหลักอย่างหนึ่งคือมอเตอร์ ซึ่งประกอบด้วยโรเตอร์และสเตเตอร์ โรเตอร์และสเตเตอร์มีขดลวดที่สร้างสนามแม่เหล็กเมื่อได้รับพลังงาน ทั้งสองส่วนต้องติดตั้งบนฐานที่รองรับน้ำหนักของปั๊ม นอกจากนี้ยังมีท่อระบายน้ำมันที่หมุนเวียนน้ำมันไปทั่วระบบเพื่อหล่อลื่นและระบายความร้อน
ปั๊มสุญญากาศอีกประเภทหนึ่งคือปั๊มสุญญากาศแบบวงแหวนของเหลว หลักการทำงานคือการวางใบพัดไว้เหนือหรือใต้ใบมีด ปั๊มแบบวงแหวนของเหลวยังสามารถปรับความเร็วของใบพัดได้ด้วย อย่างไรก็ตาม หากคุณวางแผนที่จะใช้ปั๊มประเภทนี้ ควรปรึกษาผู้เชี่ยวชาญก่อน
ปั๊มสุญญากาศทำงานโดยการเคลื่อนย้ายโมเลกุลของก๊าซไปยังบริเวณที่มีความดันสูงหรือต่ำกว่า เมื่อความดันลดลง การกำจัดโมเลกุลก็จะยากขึ้น ระบบสุญญากาศในอุตสาหกรรมต้องการปั๊มที่สามารถทำงานได้ในช่วงความดัน 1 ถึง 10⁻⁶ Torr
พิมพ์
ปั๊มสุญญากาศมีหลายประเภท มีการใช้งานหลากหลาย เช่น ในห้องปฏิบัติการ จุดประสงค์หลักของปั๊มเหล่านี้คือการกำจัดโมเลกุลของอากาศหรือก๊าซออกจากห้องสุญญากาศ ปั๊มแต่ละประเภทใช้เทคนิคที่แตกต่างกันเพื่อให้บรรลุเป้าหมายนี้ บางชนิดใช้หลักการแทนที่เชิงบวก ในขณะที่บางชนิดใช้เทคนิควงแหวนของเหลว การถ่ายโอนโมเลกุล และการดักจับ
ปั๊มเหล่านี้บางส่วนใช้ในกระบวนการทางอุตสาหกรรม รวมถึงการผลิตหลอดสุญญากาศ จอ CRT หลอดไฟ และกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ นอกจากนี้ยังใช้ในยานยนต์เพื่อขับเคลื่อนชิ้นส่วนไฮดรอลิกและเครื่องบิน โดยปกติแล้วไจโรสโคปจะถูกควบคุมโดยปั๊มเหล่านี้ ในบางกรณี ปั๊มเหล่านี้ยังใช้ในทางการแพทย์อีกด้วย
หลักการทำงานของปั๊มสุญญากาศขึ้นอยู่กับชนิดของก๊าซที่ถูกสูบ โดยมีอยู่ 3 ประเภทหลัก ได้แก่ ปั๊มแบบปริมาตรคงที่ ปั๊มแบบปริมาตรลบ และปั๊มแบบถ่ายโอนโมเมนตัม นอกจากนี้ ยังสามารถแบ่งหลักการเหล่านี้ออกเป็นประเภทของปั๊มต่างๆ ได้อีก ขึ้นอยู่กับชนิดของสารหล่อลื่น เช่น ปั๊มสุญญากาศแบบแห้งจะมีความไวต่อก๊าซและไอระเหยน้อยกว่า
ปั๊มสุญญากาศอีกประเภทหนึ่งเรียกว่า ปั๊มใบพัดหมุน (Rotary Vane Pump) ปั๊มประเภทนี้มีส่วนประกอบหลักสองส่วน คือ โรเตอร์และห้องสุญญากาศ ปั๊มเหล่านี้ทำงานโดยการหมุนชิ้นส่วนที่เคลื่อนที่ได้ไปกระทบกับตัวเรือนปั๊ม พื้นผิวสัมผัสของปั๊มใบพัดหมุนได้รับการออกแบบให้มีช่องว่างเล็กน้อยมากเพื่อป้องกันการรั่วไหลของของเหลวไปยังด้านที่มีแรงดันต่ำ ปั๊มประเภทนี้เหมาะสำหรับงานสุญญากาศที่ต้องการการสั่นสะเทือนต่ำและอัตราการไหลต่อเนื่องสูง อย่างไรก็ตาม ไม่เหมาะสำหรับใช้กับวัสดุบดละเอียด
ปั๊มสุญญากาศมีหลายประเภท และสิ่งสำคัญคือต้องเลือกปั๊มที่เหมาะสมกับการใช้งาน ประเภทของปั๊มขึ้นอยู่กับความต้องการและวัตถุประสงค์ของระบบ ปั๊มขนาดใหญ่สามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่อง ในขณะที่ปั๊มขนาดเล็กเหมาะสำหรับการใช้งานเป็นช่วงๆ 
นำมาใช้
ปั๊มสุญญากาศถูกนำไปใช้ในกระบวนการทางอุตสาหกรรมและวิทยาศาสตร์หลากหลายประเภท ตัวอย่างเช่น ใช้ในการผลิตหลอดสุญญากาศ จอ CRT และหลอดไฟ นอกจากนี้ยังใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ปั๊มสุญญากาศยังใช้เป็นอุปกรณ์ช่วยพยุงทางกลสำหรับอุปกรณ์อื่นๆ ตัวอย่างเช่น อาจมีปั๊มสุญญากาศหลายตัวในเครื่องยนต์ของยานยนต์ที่ใช้ขับเคลื่อนส่วนประกอบไฮดรอลิกของเครื่องบิน นอกจากนี้ยังมักใช้ในการวิจัยฟิวชั่นด้วย
ปั๊มสุญญากาศชนิดที่ใช้กันทั่วไปในห้องปฏิบัติการคือปั๊มแบบใบพัดหมุน (Rotary Vane Pump) หลักการทำงานคือการส่งกระแสลมผ่านใบพัดหมุนหลายใบในตัวเรือนทรงกลม เมื่อใบพัดเคลื่อนที่ผ่านตัวเรือน จะดูดก๊าซออกจากช่องว่างและสร้างสุญญากาศ ปั๊มแบบใบพัดหมุนมักมีขั้นตอนเดียวหรือสองขั้นตอน และสามารถรับแรงดันได้ระหว่าง 10 ถึง 6 บาร์ นอกจากนี้ยังมีอัตราการสูบจ่ายสูงอีกด้วย
ปั๊มสุญญากาศยังใช้ในการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์บนแผ่นเวเฟอร์ ซึ่งเกี่ยวข้องกับกระบวนการต่างๆ เช่น การเจือสาร การแพร่ การกัดแบบแห้ง การตกตะกอนไอสารเคมีแบบเสริมด้วยพลาสมา และการสร้างผงจำนวนมาก การใช้งานเหล่านี้ขึ้นอยู่กับประเภทของปั๊มสุญญากาศที่ใช้ในกระบวนการ และปั๊มสุญญากาศที่เลือกควรได้รับการออกแบบให้เหมาะสมกับสภาพแวดล้อม
แม้ว่าจะมีปั๊มสุญญากาศหลายประเภทให้เลือกใช้ แต่หลักการทำงานพื้นฐานยังคงเหมือนเดิม แต่ละประเภทมีฟังก์ชันและกำลังการผลิตที่แตกต่างกัน ขึ้นอยู่กับประเภทของสุญญากาศ โดยทั่วไปแบ่งออกเป็น ปั๊มแบบปริมาตรคงที่ ปั๊มแบบใบพัดหมุน ปั๊มแบบวงแหวนของเหลว และปั๊มแบบส่งโมเลกุล
การซ่อมบำรุง
ผู้รับผิดชอบการบำรุงรักษาและการซ่อมแซมทั่วไปคือหัวหน้าโครงการวิจัย (Principal Investigator: PI) ต้องปฏิบัติตามและได้รับการอนุมัติจาก PI และบุคลากรห้องปฏิบัติการที่เกี่ยวข้อง Agknx ให้แนวทางสำหรับการบำรุงรักษาอุปกรณ์ปั๊มสุญญากาศเป็นประจำ Agknx ไม่ได้มีวัตถุประสงค์เพื่อทดแทนการตรวจสอบอุปกรณ์ปั๊มสุญญากาศอย่างละเอียดเป็นประจำ ซึ่งควรดำเนินการโดยช่างผู้ชำนาญการที่ได้รับการรับรอง/มีคุณสมบัติ หากอุปกรณ์ทำงานผิดปกติ ผู้ใช้ควรติดต่อ PI หรือ RP เพื่อขอความช่วยเหลือ
ขั้นแรก ตรวจสอบปั๊มสุญญากาศว่ามีชิ้นส่วนใดหลวมหรือไม่ ตรวจสอบให้แน่ใจว่าเกจวัดแรงดันขาเข้าและขาออกเปิดอยู่ เมื่อแสดงแรงดันที่ถูกต้องแล้ว ให้เปิดวาล์วประตู นอกจากนี้ ตรวจสอบแรงดันและอัตราการไหลของปั๊มสุญญากาศ อัตราการไหลและแรงดันควรอยู่ในช่วงที่ระบุไว้บนฉลาก อุณหภูมิของแบริ่งควรอยู่ภายใน 35°F และอุณหภูมิสูงสุดไม่ควรเกิน 80°F ควรเปลี่ยนบูชของปั๊มสุญญากาศเมื่อสึกหรออย่างรุนแรง
หากปั๊มสุญญากาศมีสภาวะการทำงานผิดปกติหลายครั้ง ควรทำการทดสอบประสิทธิภาพ และเปรียบเทียบผลลัพธ์กับค่าอ้างอิงเพื่อระบุความผิดปกติ การบำรุงรักษาเชิงป้องกันอย่างเป็นระบบจึงมีความสำคัญอย่างยิ่งเพื่อหลีกเลี่ยงการชำรุดของปั๊มก่อนกำหนด นี่เป็นเรื่องใหม่ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ แต่บริษัทเซมิคอนดักเตอร์ชั้นนำและผู้ผลิตปั๊มสุญญากาศรายใหญ่ยังคงต้องพัฒนาระบบที่สอดคล้องกันต่อไป
มีการเสนอวิธีการทดสอบการลดแรงดันแบบง่ายเพื่อประเมินประสิทธิภาพของปั๊มสุญญากาศ วิธีการนี้ประกอบด้วยการทดสอบภาคสนามจำลองการเติมอากาศและตัวชี้วัดประสิทธิภาพของปั๊มสี่ตัว ตัวชี้วัดประสิทธิภาพจะได้รับการประเมินภายใต้สภาวะการทดสอบที่มีก๊าซบรรจุ สภาวะขณะไม่ได้ใช้งาน และสภาวะการทดสอบที่ขึ้นอยู่กับปริมาณก๊าซบรรจุ 
ค่าใช้จ่าย
ต้นทุนรวมของปั๊มสุญญากาศประกอบด้วยสองส่วนหลัก ได้แก่ การลงทุนเริ่มต้นและค่าบำรุงรักษาอย่างต่อเนื่อง โดยส่วนหลังเป็นส่วนประกอบที่แพงที่สุด เนื่องจากมีค่าใช้จ่ายประมาณสี่ถึงห้าเท่าของการลงทุนเริ่มต้น ดังนั้น การเลือกใช้รุ่นที่ประหยัดพลังงานมากกว่าจึงเป็นวิธีที่ดีในการลดต้นทุนรวมของระบบและระยะเวลาคืนทุน
ต้นทุนเริ่มต้นของปั๊มสุญญากาศอยู่ที่ประมาณ $786 ปั๊มแบบโรตารี่ใบพัดที่ใช้น้ำมันหล่อลื่นมีราคาถูกที่สุด ในขณะที่ปั๊มแบบโรตารี่ใบพัดที่ไม่ใช้น้ำมันหล่อลื่นมีราคาแพงกว่าเล็กน้อย ปั๊มแบบไม่สัมผัสก็มีราคาสูงกว่าเล็กน้อยเช่นกัน ต้นทุนของปั๊มสุญญากาศนั้นไม่สูง แต่เป็นปัจจัยที่ต้องพิจารณาอย่างรอบคอบ
ในการเลือกปั๊มสุญญากาศ สิ่งสำคัญคือต้องพิจารณาประเภทของก๊าซที่ต้องการสูบ ปั๊มบางชนิดเหมาะสำหรับการสูบอากาศเท่านั้น ในขณะที่บางชนิดออกแบบมาเพื่อสูบฮีเลียม อากาศที่ปราศจากน้ำมันมีอัตราการสูบที่แตกต่างจากอากาศ ดังนั้น คุณต้องพิจารณาคุณลักษณะของตัวกลางเพื่อให้แน่ใจว่าปั๊มตรงตามความต้องการของคุณ ต้นทุนของปั๊มสุญญากาศอาจสูงกว่าราคาซื้อมาก เนื่องจากค่าใช้จ่ายในการใช้งานและการบำรุงรักษาในแต่ละวันอาจสูงกว่ามาก
ปั๊มสุญญากาศแบบหล่อลื่นมักทนทานกว่าและราคาถูกกว่า แต่ก็อาจต้องการการบำรุงรักษามากกว่า ค่าใช้จ่ายในการบำรุงรักษาจะขึ้นอยู่กับชนิดของก๊าซที่ต้องสูบ ก๊าซที่เบากว่าต้องสูบช้าๆ ในขณะที่ก๊าซที่หนักกว่าต้องสูบเร็วขึ้น ระดับการบำรุงรักษาของปั๊มสุญญากาศยังขึ้นอยู่กับความถี่ในการหล่อลื่นด้วย
ปั๊มสุญญากาศแบบไดอะแฟรมจำเป็นต้องได้รับการบำรุงรักษาและเปลี่ยนถ่ายน้ำมันอย่างสม่ำเสมอ ควรเปลี่ยนถ่ายน้ำมันในปั๊มไดอะแฟรมทุกๆ 3000 ชั่วโมงการใช้งาน ปั๊มชนิดนี้ทนต่อสารเคมีและการกัดกร่อนได้ดี ดังนั้นจึงสามารถใช้กับผลิตภัณฑ์ที่เป็นกรดและมีความหนืดสูงได้
แก้ไขโดย czh 2023-02-15
