保証期間: 1年
カスタマイズされたサポート：OEM、ODM
設計金額：GWSPS500
ソフトウェア: 食品・飲料業界、製薬業界、超高真空装置、真空スパッタリング装置、ICプラズマ洗浄装置、ICプラズマスパッタリング装置、ICパッケージング装置、IC輸送チャンバー、LED真空アニーリング炉、ロードロック/トランスファーチャンバー、グローブボックス、LEDパッケージング装置、液晶射出成形およびパッケージング、真空アニーリング炉、真空拡散オーブン、3Dスチールプリント、単結晶プロセス炉、マイクロ波洗浄およびマイクロ波乾燥装置、電子ビーム/レーザー溶融、真空脱ガス、真空燃料置換、凍結乾燥機、真空保管、低温プラズマ滅菌器、歯科用機器、リチウム電池乾燥およびパッケージング装置、分光法/電子顕微鏡、環境シミュレーション装置、ヘリウムリークディテクター、質量分析計、クライオポンプ再生、オイルフリー超高真空装置、真空製品、オイルフリークリーン真空
電源: 電気
ストレス：低圧
フレームワーク: スクロールポンプ
認証：CE、EAC、ミニオイルレスダイヤフラム真空ポンプラボISO9001認証取得済み
特徴：オイル不要、騒音最小限、メンテナンス費用不要、清潔な真空を提供
メカニカルシール：クリアランスシール
モーター：3周期、50～60Hz、1425/1725rpm、110～416V、750W。プラグはアメリカ合衆国、EU、イギリス、インド向け。
標準または非標準: 標準
材質：アルミニウム合金
色：グレー
梱包の詳細：標準的なハニカムカートン包装、外装はプラスチック製ストレッチフィルムで巻かれ、セキュリティ対策が施されています。
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GWSPSオイルフリースクロール真空ポンプ
GWSPSオイルフリースクロール真空ポンプは、ポンプヘッドアセンブリ、クランクピンアセンブリ、ブラケットアセンブリ、エアフラッシュアセンブリ、排気バルブアセンブリで構成されています。2つの螺旋シリンダーは、1つがオフセットされ、もう1つに対して180°オフセットして回転し、さまざまなサイズの三日月形のポケットを多数形成します。偏心プッシュにより、回転するスクロールが固定スクロールの周りを回転し、ポケットの容積を最小化して、外部から内部に向かってガスを圧縮し、真空チャンバーからガスを汲み出します。
特殊仕様
| モデル | GWSPS500 | ||
| 変位 | 50Hz | cfm | 14.7 |
| メートル3/時 | 24. | ||
| l/s | 6.7 | ||
| l/分 | 402. | ||
| 60Hz | cfm | 17.6 | |
| メートル三つ/時 | 28.8 | ||
| l/s | 8.1 | ||
| l/分 | 482. | ||
| 極限圧力 | トル | ≤3.7*10-二 | |
| サイ | ≤7.5*10-4 | ||
| ミリバール | ≤5.*10-2 | ||
| パ | ≤5 | ||
| 音量 | dB(A) | ≤61 | |
| 漏れ | mbar·l/s | 1*10-7 | |
| 最大吸排気圧力 | MPa | .1 / .13 | |
| 周囲手順温度 | ℉ | 41～104 | |
| モーター3周期 | 電力 | キロワット | 75 |
| 電圧 | V | 200～230または380～415（50Hz）、200～230または460（60Hz） | |
| スピード | 回転数 | 1425（50Hz）、1725（60Hz） | |
| 吸気/排気フランジ | KF40/KF16 | ||
| 比率 | 3つのセクション | んん | 590*320*345 |
| ウェブ 過剰体重 | 三相 | kg | 38 |
| 冷却タイプ | 空冷式 | ||
保護安全対策
吸入ガソリンの温度が122℉未満であることを確認してください。
具体的な構築方法
効率曲線
特徴と利点
オイルフリー洗浄掃除機
オイルの逆流なし - 拡散なし、オイルミストの排気なし、
透明な真空環境を提供する
豊富なアイテムラインナップ
排気速度は1.8～35.4cfm、最小真空度は7.5×10⁻³～6×10⁻²Torrです。
世界中のあらゆる種類のエネルギー供給に適しています
110/220/380/460V、50/60Hzから選択可能
振動が軽減され、騒音も最小限に抑えられています。
57～63 dB(A)、簡単な手順
大幅な効率向上、メンテナンスの軽減
飲料水冷却なし、オイル潤滑なし、F006 G2-G3インチ高圧真空インラインブラック真空フィルター、エアリングブロワー真空ポンプ用、日常メンテナンス不要
アプリ
半導体産業
真空スパッタリング装置。
ICプラズマ洗浄機。
ICプラズマ研磨装置。
ICパッケージング装置。
IC伝送チャンバー。
光電市場
LED真空アニール炉。
ロードロック/トランスファーチャンバー。
グローブボックス。
LED包装機。
液晶の注入とパッケージング。
物質セクター
真空焼鈍炉。
真空拡散オーブン。
3D金属プリント。
結晶成長炉1基。
電子レンジ乾燥装置。
電子ビーム/レーザー溶融。
真空脱ガス。
真空燃料置換。
食品・医薬品部門
凍結乾燥機。
真空保存。
医療ツール
低温プラズマ滅菌器。
真空保存。
歯科用器具。
電力部門
SF6ガス復旧設備。
リチウム電池の乾燥および包装装置。
分析機器およびユニット
分光法/sc杭州電子顕微鏡
エリア環境シミュレーション装置
ヘリウムリーク検出器
質量分析計
クライオポンプの再生
加速器/シンクロトロン
真空装置
オイルフリーの超高真空装置
オイルフリーの真空ユニット
証明書
GEOWELLは、オイルフリースクロール真空ポンプ技術の公平な研究開発という道を切り開いてきました。標準的な理論研究からソフトウェア開発、量産に至るまで、GEOWELLは60件を超える専門特許と独自技術を蓄積し、欧州のCEマーク、ロシアのEACマーク、ISO9001の認証を取得しています。
最高品質のハンドル
GEOWELLは、製品製造のあらゆる側面に最高品質原則を組み込んでいます。最高品質管理は原材料の入荷から始まり、原材料の入荷から製造、組み立て、出荷に至るまで、標準作業手順を構築・適用し、すべての工程で品質検査を実施します。検査仕様を厳格に実施し、データのみを品質検査の基準としています。
梱包と配送
会社情報
GEOWELL VACUUM CO.,LTD.は、2002年以来、オイルフリースクロール真空ポンプと真空コンプレッサーの製造、分析、改良、販売に専念している中国のハイテク企業です。GEOWELLは、効率的で信頼性の高い最高品質の製品をエンドユーザーとパートナーに提供してきました。GEOWELLは、高効率で信頼性の高いソリューションとプロバイダーの統合が、お客様と当社双方に最大の価値をもたらすと考えています。
展示会
懸念事項と回答
Q：問い合わせを送信してから、回答を受け取るまでどれくらい時間がかかりますか？
A：営業日であれば、12時間以内にご返信いたします。
Q：あなたは直接のプロデューサーですか？
A：もちろん、当社は製造拠点と世界規模の事業部を持つメーカーであり、すべての製品を自社で製造・販売しています。
Q：いつ頃、商品を納品していただけますか？
A：弊社は大型倉庫を持つ製造工場であり、小売店向けに豊富な在庫を取り揃えておりますので、ご入金確認後7日以内に出荷・配送が可能です。
Q：商品にエンブレムを追加できますか？
A：もちろん研修も承っておりますが、通常は数量に応じて必要となります。詳細についてはお問い合わせください。
Q：貴社製品の品質と販売後のサポートをどのように保証していますか？
A：当社では、原材料の入荷から製品の出荷に至るまで、製造工程全体を通して厳格な検査を実施しています。すべての製品は、出荷前に工場内で鋳造、機械加工、組み立て、性能試験の4段階の検査を受け、さらに梱包状態も保証されています。
Q：保証表現は何ですか？
A：弊社輸出商品には出荷日から12ヶ月間の保証が付いています。保証期間が過ぎた場合は、交換部品の費用はお客様のご負担となります。
質問：サンプルは入手可能ですか？
A: はい、通常、弊社はサンプルをFedex、DHL、TNT、UPS、EMS、SF、Deponで発送します。お客様がサンプルを受け取るまでには3〜4日ほどかかります。12V DC 小型吸引ポンプ、高品質、低損傷圧力ポンプ、実験室用ですが、お客様はサンプルに関連するすべての費用、つまりサンプル価格と航空運賃を請求します。弊社は注文を受け取った後、お客様にサンプル価格を返金します。
真空ポンプの基礎知識
真空ポンプは、密閉された空間から気体分子を吸引し、部分的な真空状態を維持する装置です。主な役割は、所定の空間（複数可）内に相対的な真空を作り出すことです。真空ポンプには多くの種類があります。この記事では、それらの仕組み、種類、そして用途について説明します。 
仕組み
真空ポンプは、周囲の大気圧よりも高い圧力をかけることで、システムからガスを除去する機械装置です。真空ポンプの動作原理は、ガスの移動と捕捉の原理に基づいています。真空ポンプは、真空度と1立方センチメートルあたりに除去できる分子数によって分類されます。中真空から高真空では、ガス分子が互いに衝突することで粘性流が発生します。真空度が上昇すると、分子流または遷移流が発生します。
真空ポンプは、多用途のツールとして複数の部品で構成されています。主要部品の一つはモーターで、ローターとステーターで構成されています。ローターとステーターにはコイルが内蔵されており、励磁されると磁場が発生します。どちらの部品も、ポンプの重量を支えるベースに取り付ける必要があります。また、潤滑と冷却のためにシステム全体にオイルを循環させるオイルドレンも備えています。
もう一つの真空ポンプは液封式真空ポンプです。このポンプは、インペラをブレードの上または下に配置することで動作します。液封式ポンプはインペラの速度を調整することもできます。ただし、このタイプのポンプを使用する場合は、専門家に相談することをお勧めします。
真空ポンプは、気体分子を圧力の高い領域または低い領域に移動させることで機能します。圧力が低下すると、分子の除去は困難になります。産業用真空システムでは、1～10-6 Torrの範囲で動作可能なポンプが必要です。
タイプ
真空ポンプには様々な種類があり、実験室など、様々な用途で使用されています。これらのポンプの主な目的は、真空チャンバーから空気または気体分子を除去することです。ポンプの種類によって、この目的を達成する技術は異なります。容積式ポンプ、液封式ポンプ、分子移動式ポンプ、エントラップメント式ポンプなどがあります。
これらのポンプの一部は、真空管、ブラウン管、電灯、半導体製造などの産業プロセスで使用されています。また、自動車の油圧部品や航空機の動力源としても使用されています。ジャイロスコープは通常、これらのポンプによって制御されています。場合によっては、医療現場でも使用されています。
真空ポンプの仕組みは、ポンプで汲み出すガスの種類によって異なります。主に容積型、負圧型、そして運動量移動型の3つのタイプがあります。潤滑の種類に応じて、これらの原理はさらに異なるタイプのポンプに分類されます。例えば、ドライ真空ポンプはガスや蒸気の影響を受けにくいです。
真空ポンプのもう1つのタイプは、ロータリーベーンポンプと呼ばれます。このタイプのポンプは、ローターと真空チャンバーという2つの主要部品で構成されています。これらのポンプは、可動部品をポンプケーシングに対して回転させることによって作動します。ロータリーポンプの接合面は、低圧側への流体の漏れを防ぐため、非常に小さなクリアランスで設計されています。低脈動と高い連続流量が求められる真空用途に適しています。ただし、研削媒体には適していません。
真空ポンプには様々な種類があり、用途に適したものを選ぶことが重要です。ポンプの種類は、システムのニーズと目的によって異なります。大型のものは連続運転が可能で、小型のものは断続運転に適しています。 
適用する
真空ポンプは、様々な産業プロセスや科学プロセスで使用されています。例えば、真空管、ブラウン管、電球の製造に使用されています。また、半導体プロセスにも使用されています。真空ポンプは、他の機器の機械的支持としても使用されます。例えば、自動車のエンジンには、航空機の油圧部品に動力を供給するために複数の真空ポンプが搭載されている場合があります。さらに、核融合研究でもよく使用されます。
実験室で最も一般的に使用される真空ポンプは、ロータリーベーンポンプです。このポンプは、円形のハウジング内の一連の回転ブレードに空気流を導くことで動作します。ブレードがハウジングを通過する際に、キャビティ内のガスを除去し、真空状態を作り出します。ロータリーポンプは通常、単段式または二段式で、10～6barの圧力に対応できます。また、排気速度も高速です。
真空ポンプは、ウェハ上に太陽電池を製造する際にも使用されます。これには、ドーピング、拡散、ドライエッチング、プラズマ化学蒸着法（PCVD）、バルク粉末生成など、幅広いプロセスが含まれます。これらの用途は、プロセスで使用される真空ポンプの種類に依存しており、選定する真空ポンプは環境に合わせて設計されている必要があります。
真空ポンプにはいくつかの種類がありますが、基本的な動作原理は同じです。真空の種類に応じて、それぞれ機能と容量が異なります。一般的には、容積式ポンプ、ロータリーベーンポンプ、液封式ポンプ、分子送出ポンプに分類されます。
メンテナンス
一般的なメンテナンスおよび修理の責任者は、研究責任者（PI）です。Agknxsは、PIおよびその他の関連する研究室スタッフによって遵守され、承認される必要があります。Agknxsは、真空ポンプ機器の日常メンテナンスに関するガイドラインを提供します。Agknxsは、真空ポンプ機器の詳細な定期点検に代わるものではありません。定期的な点検は、認定/資格を有するサービス担当者によって実施される必要があります。機器が故障した場合は、PIまたはRPに連絡して支援を受ける必要があります。
まず、真空ポンプに緩んだ部品がないか確認してください。入口圧力計と出口圧力計が開いていることを確認してください。適切な圧力が表示されたら、ゲートバルブを開いてください。また、真空ポンプのヘッドと流量も確認してください。流量とヘッドはラベルに記載されている範囲内である必要があります。ベアリング温度は35°F（約17℃）以内、最高温度は80°F（約27℃）を超えてはなりません。真空ポンプのブッシングがひどく摩耗している場合は交換してください。
真空ポンプが複数回の異常な動作状態を経験した場合は、性能試験を実施する必要があります。結果を基準値と比較し、異常を特定する必要があります。ポンプの早期故障を回避するには、予知保全への体系的なアプローチが不可欠です。これは半導体業界において比較的新しい分野ですが、大手半導体企業や主要な真空ポンプサプライヤーは、まだ一貫したアプローチを開発していません。
真空ポンプの性能評価のため、簡略化されたポンプダウン試験法を提案する。この方法には、模擬曝気現場試験と4つのポンプ性能指標が含まれる。性能指標は、ガス負荷時、アイドル時、およびガス負荷依存試験条件下で評価される。 
料金
真空ポンプの総コストは、初期投資と継続的なメンテナンス費用という2つの主要な要素で構成されます。後者は初期投資の約4～5倍の費用がかかるため、最も高額な要素です。したがって、よりエネルギー効率の高いモデルを選択することは、システム全体のコストと投資回収期間を削減する良い方法です。
真空ポンプの初期費用は約$786です。オイル潤滑式ロータリーベーンポンプが最も安価で、オイルフリー式ロータリーベーンポンプは若干高価です。非接触式ポンプも若干高価です。真空ポンプのコストはそれほど高くありませんが、慎重に検討する必要がある要素です。
真空ポンプを選ぶ際には、排気するガスの種類を考慮することが重要です。空気のみの排気に適したポンプもあれば、ヘリウムの排気用に設計されたポンプもあります。オイルフリーエアは、空気とは異なる排気速度特性を持っています。そのため、ポンプがお客様の要件を満たすことを確認するには、媒体の特性を考慮する必要があります。真空ポンプのコストは、日々の運転コストとメンテナンスコストがはるかに高額になる可能性があるため、購入価格よりもはるかに高くなる可能性があります。
潤滑式真空ポンプは耐久性が高く、価格も手頃ですが、メンテナンスの頻度が高くなる場合があります。メンテナンス費用は、ポンプで送り出すガスの種類によって異なります。軽いガスはゆっくりとポンプで送り出す必要があり、重いガスはより速くポンプで送り出す必要があります。真空ポンプのメンテナンスレベルは、潤滑の頻度によっても異なります。
ダイヤフラム真空ポンプは定期的なメンテナンスとオイル交換が必要です。ダイヤフラムポンプのオイルは、使用時間3000時間ごとに交換する必要があります。また、このポンプは耐薬品性と耐腐食性を備えているため、酸性や粘性物質にも使用できます。
編集者：czh 2023-02-15
