Mô tả sản phẩm
Bơm khí nén QYB21-180L
Các dòng sản phẩm của công ty như sau: bơm dầu khí nén QYB40-165L, QYB40-120L, QYB50-60L, bơm khí nén QYB48-90L, QYB40-120L, bơm dầu khí nén QYB35-175L, bơm dầu khí nén QYB21-180L, bơm khí nén QYB40-60L, bơm dầu khí nén QYB70-30L, bơm khí nén QYB140-14L, bơm dầu khí nén QYB50-60L, bơm dầu khí nén QYB40-60L, bơm dầu khí nén QYB40-165L, bơm khí nén QYB200-14L.
| 1:30 Bơm khí nén (QYB21-180L) | ||||
| Trong bộ dụng cụ sửa chữa | (Mục) | (Số hiệu bộ phận) | (Sự miêu tả) | Số lượng |
| 1 | 150QMD-00-01 | Đầu xi lanh | 1 | |
| 2 | 150QMD-00-10 | Tấm thoát khí bộ chuyển đổi | 2 | |
| 3 | 150QMD-00-09 | Tấm xả | 2 | |
| 4 | LJJ-02D-01 | Bộ chuyển đổi Z 1/2-M22×1.5 | 2 | |
| 5 | LJJ-02D-03 | chốt | 2 | |
| 6 | LJJ-02D-02 | Hạt | 2 | |
| 7 | 150QMD-00-05 | ống van | 1 | |
| 8 | 150QMD-00-03 | Bộ phận giữ van trên | 1 | |
| 9 | 150QMD-00-02 | Bu lông đinh tán | 1 | |
| * | 10 | 150QMD-00-04 | Van khí | 1 |
| 11 | 150QMD-00-11 | Bộ phận giữ van dưới | 1 | |
| 12 | 150QMD-00-12 | Ống lót | 1 | |
| 13 | QM19-28 | Đầu xi lanh mẫu | 1 | |
| 14 | 150QMD-00-20 | Bu lông đinh tán bên trong | 1 | |
| 15 | QM19-15 | Đai ốc piston | 1 | |
| 16 | 150QMD-00-16 | Máy giặt | 1 | |
| 17 | QM19-14 | Piston | 1 | |
| 18 | 150QMD-00-21 | Bệ lò xo | 1 | |
| 19 | 150QMD-00-22 | Lò xo chuyển mạch | 1 | |
| 20 | 150QMD-00-24 | Bệ lò xo | 1 | |
| * | 21 | 150QMD-00-23 | Thanh đơn | 1 |
| 22 | 150QMD-00-28 | Vòng đệm kích hoạt van | 1 | |
| 23 | QB3-04 | Thanh pít tông | 1 | |
| 24 | QM19-29B | Đế động cơ | 1 | |
| * | 25 | QM19-34 | Gioăng | 2 |
| 26 | 150QMD-00-36 | Đường dẫn khí φ 16 x 1.5 | 1 | |
| 27 | QB3-02 | Chuông dự phòng | 1 | |
| 28 | QB3-01 | Khối bơm thủy lực | 1 | |
| 29 | QB3-06 | Piston | 1 | |
| 30 | QB3-07 | Vòng đảo chiều | 1 | |
| 31 | QB3-09 | Cửa xả | 1 | |
| 32 | 150QMD-00-08 | Bu lông | 2 | |
| * | 33 | QB3-03 | Vòng đệm kín | 1 |
| 34 | QB3-05 | Thân bơm | 1 | |
| * | 35 | QB3-10 | Chốt bi | 1 |
| 36 | QB3-08 | Bộ van chân | 1 | |
| 37 | QB3-14 | Ghế van hút | 1 | |
| 38 | QM19-30 | Xi lanh | 1 | |
| * | 39 | QM19-35 | Vòng chữ O | 1 |
| 40 | 226QMD-20 | Chốt khóa | 10 | |
| 41 | QB10-10 | Tấm kết nối | 2 | |
| 42 | 150QMD-00-07 | Bộ phận giữ lò xo giảm xóc | 2 | |
| * | 43 | 150QMD-00-06 | Chuyến đi mùa xuân | 2 |
| Trong bộ dụng cụ sửa chữa | (Mục) | (Số hiệu bộ phận) | (Sự miêu tả) | Số lượng |
| B1 | GB/T 93-87 12 | Máy giặt Grower | 4 | |
| B2 | GB/T 70-85 M12 x 70 | Bu lông đầu lục giác | 4 | |
| B3 | GB/T 308-2002φ16mm | quả cầu thép | 3 | |
| * | B4 | GSF0480 | Vòng đệm vuông | 1 |
| B5 | GB/T 308-2002φ11mm | quả cầu thép | 1 | |
| * | B6 | XLH-02-35 | Vòng đệm kín trục YX | 2 |
| B7 | GB/T 6171-2000M10 x 1 | Hạt | 12 | |
| B8 | GB/T 93-87 10 | Máy giặt Grower | 10 | |
| B9 | GB/T 95-2002 10 | Gioăng | 20 | |
| * | B10 | GB/T 3452.1 25×2.65 | Vòng chữ O | 1 |
| * | B11 | GB1235-76 28×3.1 | Vòng chữ O | 1 |
| * | Vitamin B12 | GB1235-76 13×1.9 | Vòng chữ O | 1 |
| B13 | GB/T 119-76 6×18 | Ghim thẳng | 2 | |
| * | B14 | GB1235-76 90×3.1 | Vòng chữ O | 1 |
| B15 | 150QMD-00-38 | Vòng đệm | 2 | |
| B16 | GB/T 6170-2000 M8 | Hạt | 1 | |
| * | B17 | GB1235-76 50×3.1 | Vòng chữ O | 6 |
| B18 | GB/T 93-87 8 | Máy giặt Grower | 4 | |
| B19 | GB/T5780-2000 M8x30 | Bu lông đầu lục giác | 4 | |
| B20 | Mũi bò | 1 | ||
| B21 | GB/T 6170-2000 M6 | Hạt | 2 | |
| * | B22 | GB1235-76 22×2.4 | Vòng chữ O | 2 |
/* Ngày 22 tháng 1 năm 2571 19:08:37 */!function(){function s(e,r){var a,o={};try{e&&e.split(“,”).forEach(function(e,t){e&&(a=e.match(/(.*?):(.*)$/))&&1
| Dịch vụ hậu mãi: | 1 năm |
|---|---|
| Bảo hành: | 1 năm |
| Chứng nhận: | ISO 9001:2000 |
| Nguồn điện: | thủy lực |
| Áp suất hoạt động: | Chân không |
| Môi trường áp dụng: | Dầu thô |
| Tùy chỉnh: |
Có sẵn
|
|
|---|
Vai trò của bơm chân không trong sản xuất chất bán dẫn là gì?
Máy bơm chân không đóng vai trò cực kỳ quan trọng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn. Dưới đây là giải thích chi tiết:
Sản xuất chất bán dẫn bao gồm việc sản xuất các mạch tích hợp (IC) và các thiết bị bán dẫn khác được sử dụng trong nhiều ứng dụng điện tử. Máy bơm chân không được sử dụng rộng rãi trong suốt quá trình sản xuất chất bán dẫn để tạo ra và duy trì điều kiện chân không cần thiết cho các bước sản xuất cụ thể.
Dưới đây là một số vai trò quan trọng của bơm chân không trong sản xuất chất bán dẫn:
1. Các quy trình lắng đọng: Máy bơm chân không được sử dụng trong các quy trình lắng đọng như lắng đọng hơi vật lý (PVD) và lắng đọng hơi hóa học (CVD). Các quy trình này bao gồm việc lắng đọng các lớp màng mỏng vật liệu lên các tấm bán dẫn để tạo ra các lớp và hoa văn khác nhau. Máy bơm chân không giúp tạo ra môi trường áp suất thấp cần thiết để kiểm soát chính xác quá trình lắng đọng, đảm bảo sự hình thành màng đồng nhất và chất lượng cao.
2. Khắc và Làm sạch: Máy bơm chân không được sử dụng trong các quy trình khắc và làm sạch, bao gồm việc loại bỏ các lớp hoặc chất gây ô nhiễm cụ thể khỏi các tấm bán dẫn. Các kỹ thuật khắc khô, chẳng hạn như khắc plasma và khắc ion phản ứng, yêu cầu môi trường chân không để tạo điều kiện thuận lợi cho quá trình ion hóa và loại bỏ vật liệu. Máy bơm chân không giúp tạo ra các điều kiện áp suất thấp cần thiết cho các quy trình khắc và làm sạch hiệu quả.
3. Cấy ion: Cấy ion là một quy trình được sử dụng để đưa các tạp chất vào các vùng cụ thể của tấm bán dẫn nhằm thay đổi các đặc tính điện của nó. Máy bơm chân không được sử dụng để hút chân không buồng cấy ion, tạo ra môi trường chân không cần thiết cho việc gia tốc và cấy chùm ion một cách chính xác và có kiểm soát.
4. Xử lý và vận chuyển wafer: Máy bơm chân không được sử dụng trong hệ thống xử lý và vận chuyển wafer. Các hệ thống này sử dụng lực hút chân không để giữ và thao tác các wafer bán dẫn một cách an toàn trong các bước sản xuất khác nhau, chẳng hạn như nạp và dỡ wafer từ buồng xử lý, vận chuyển bằng robot giữa các thiết bị và căn chỉnh wafer.
5. Hệ thống khóa tải: Hệ thống khóa tải được sử dụng để chuyển các tấm bán dẫn giữa điều kiện khí quyển và môi trường chân không của buồng xử lý. Bơm chân không là thành phần không thể thiếu của hệ thống khóa tải, tạo ra và duy trì điều kiện chân không cần thiết cho việc chuyển tấm bán dẫn đồng thời giảm thiểu rủi ro ô nhiễm.
6. Đo lường và Kiểm tra: Máy bơm chân không được sử dụng trong các công cụ đo lường và kiểm tra dùng để đặc trưng hóa các thiết bị bán dẫn. Các công cụ này, chẳng hạn như kính hiển vi điện tử quét (SEM) và hệ thống chùm ion hội tụ (FIB), thường hoạt động trong môi trường chân không để cho phép chụp ảnh độ phân giải cao và phân tích chính xác cấu trúc và khuyết tật của chất bán dẫn.
7. Phát hiện rò rỉ: Máy bơm chân không được sử dụng trong các hệ thống phát hiện rò rỉ để xác định và định vị các điểm rò rỉ trong buồng chân không, đường ống xử lý và các bộ phận khác. Các hệ thống này dựa vào máy bơm chân không để hút chân không hệ thống và sau đó theo dõi sự tăng áp suất, cho thấy sự hiện diện của rò rỉ.
8. Kiểm soát môi trường phòng sạch: Các nhà máy sản xuất chất bán dẫn duy trì môi trường phòng sạch để ngăn ngừa ô nhiễm trong quá trình chế tạo. Máy bơm chân không được sử dụng trong thiết kế và vận hành hệ thống thông gió và lọc khí của phòng sạch, giúp duy trì mức độ sạch không khí cần thiết bằng cách loại bỏ các hạt bụi và duy trì sự chênh lệch áp suất không khí được kiểm soát.
Máy bơm chân không được sử dụng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn thường được chuyên dụng để đáp ứng các yêu cầu khắt khe của ngành. Chúng cần cung cấp mức độ chân không cao, điều khiển chính xác, mức độ ô nhiễm thấp và độ tin cậy để hoạt động liên tục.
Nhìn chung, máy bơm chân không là thiết bị không thể thiếu trong sản xuất chất bán dẫn, cho phép tạo ra các điều kiện chân không cần thiết cho nhiều quy trình khác nhau, đảm bảo sản xuất các thiết bị bán dẫn chất lượng cao.
Máy bơm chân không ảnh hưởng đến hiệu suất của buồng chân không như thế nào?
Đối với hiệu suất của buồng chân không, bơm chân không đóng vai trò cực kỳ quan trọng. Dưới đây là giải thích chi tiết:
Buồng chân không là những không gian kín được thiết kế để tạo ra và duy trì môi trường áp suất thấp. Chúng được sử dụng trong nhiều ngành công nghiệp và ứng dụng khoa học khác nhau, chẳng hạn như sản xuất, nghiên cứu và xử lý vật liệu. Máy bơm chân không được sử dụng để hút không khí và các khí khác ra khỏi buồng, tạo ra điều kiện chân không hoặc áp suất thấp. Hiệu suất của buồng chân không bị ảnh hưởng trực tiếp bởi các đặc tính và hoạt động của máy bơm chân không được sử dụng.
Dưới đây là một số cách chính mà bơm chân không ảnh hưởng đến hiệu suất của buồng chân không:
1. Tạo và duy trì mức độ chân không: Chức năng chính của bơm chân không là tạo ra và duy trì mức độ chân không mong muốn bên trong buồng. Bơm chân không loại bỏ không khí và các khí khác, làm giảm áp suất bên trong buồng. Hiệu suất và công suất của bơm chân không quyết định tốc độ đạt được mức độ chân không mong muốn và khả năng duy trì nó. Bơm chân không hiệu suất cao có thể nhanh chóng hút hết không khí trong buồng và duy trì mức độ chân không mong muốn ngay cả khi có rò rỉ khí hoặc khí liên tục được tạo ra bên trong buồng.
2. Tốc độ bơm: Tốc độ bơm của máy bơm chân không đề cập đến thể tích khí mà nó có thể hút ra khỏi buồng chân không trên mỗi đơn vị thời gian. Tốc độ bơm ảnh hưởng đến tốc độ hút chân không và thời gian cần thiết để đạt được mức độ chân không mong muốn. Tốc độ bơm cao hơn cho phép hút chân không nhanh hơn và thời gian chu kỳ ngắn hơn, cải thiện hiệu quả tổng thể của buồng chân không.
3. Mức độ chân không tối đa: Mức độ chân không tối đa là áp suất thấp nhất có thể đạt được trong buồng. Nó phụ thuộc vào thiết kế và hiệu suất của bơm chân không. Bơm chân không chất lượng cao hơn có thể đạt được mức độ chân không tối đa thấp hơn, điều này rất quan trọng đối với các ứng dụng yêu cầu mức độ chân không cao hơn hoặc đối với các quy trình nhạy cảm với khí dư.
4. Phát hiện rò rỉ và loại bỏ khí: Máy bơm chân không cũng có thể hỗ trợ phát hiện rò rỉ và loại bỏ khí bên trong buồng. Bằng cách liên tục hút chân không buồng, bất kỳ chỗ rò rỉ hoặc khí xâm nhập nào cũng có thể được xác định và xử lý kịp thời. Điều này đảm bảo buồng duy trì mức độ chân không mong muốn và giảm thiểu sự hiện diện của chất gây ô nhiễm hoặc khí không mong muốn.
5. Kiểm soát ô nhiễm: Một số bơm chân không, chẳng hạn như bơm kín dầu, sử dụng chất bôi trơn có thể đưa chất gây ô nhiễm vào buồng chân không. Những chất gây ô nhiễm này có thể không mong muốn đối với một số ứng dụng nhất định, chẳng hạn như sản xuất chất bán dẫn hoặc nghiên cứu. Do đó, cần xem xét lựa chọn bơm chân không và khả năng đưa chất gây ô nhiễm của nó để duy trì độ sạch và tinh khiết cần thiết của buồng chân không.
6. Tiếng ồn và độ rung: Máy bơm chân không có thể tạo ra tiếng ồn và độ rung trong quá trình hoạt động, điều này có thể ảnh hưởng đến hiệu suất và khả năng sử dụng của buồng chân không. Tiếng ồn hoặc độ rung quá mức có thể gây cản trở các thí nghiệm tinh tế, ảnh hưởng đến độ chính xác của phép đo hoặc gây ra ứng suất cơ học lên các bộ phận của buồng. Việc lựa chọn máy bơm chân không có độ ồn và độ rung thấp rất quan trọng để duy trì hiệu suất tối ưu của buồng.
Điều quan trọng cần lưu ý là các yêu cầu cụ thể và các yếu tố hiệu suất của buồng chân không có thể khác nhau tùy thuộc vào ứng dụng. Các loại bơm chân không khác nhau, chẳng hạn như bơm cánh quay, bơm khô hoặc bơm turbomolecular, cung cấp các khả năng và tính năng khác nhau để đáp ứng các nhu cầu cụ thể. Việc lựa chọn bơm chân không cần xem xét các yếu tố như mức độ chân không mong muốn, tốc độ bơm, độ chân không cuối cùng, kiểm soát ô nhiễm, mức độ tiếng ồn và độ rung, và khả năng tương thích với vật liệu buồng và khí được sử dụng.
Tóm lại, bơm chân không có tác động đáng kể đến hiệu suất của buồng chân không. Chúng cho phép tạo ra và duy trì mức độ chân không mong muốn, ảnh hưởng đến tốc độ bơm và độ chân không cuối cùng đạt được, hỗ trợ phát hiện rò rỉ và loại bỏ khí, đồng thời ảnh hưởng đến việc kiểm soát ô nhiễm. Việc lựa chọn bơm chân không cẩn thận đảm bảo hiệu suất tối ưu của buồng chân không cho các ứng dụng khác nhau.
Các ứng dụng chính của bơm chân không là gì?
Máy bơm chân không có phạm vi ứng dụng rộng rãi trong nhiều ngành công nghiệp khác nhau. Dưới đây là giải thích chi tiết:
1. Các quy trình công nghiệp:
Máy bơm chân không đóng vai trò thiết yếu trong nhiều quy trình công nghiệp, bao gồm:
– Chưng cất chân không: Máy bơm chân không được sử dụng trong các quy trình chưng cất để hạ thấp điểm sôi của các chất, cho phép tách và tinh chế các hóa chất và hợp chất khác nhau.
– Sấy chân không: Máy bơm chân không hỗ trợ quá trình sấy bằng cách tạo ra môi trường áp suất thấp, giúp đẩy nhanh quá trình loại bỏ độ ẩm khỏi vật liệu mà không tạo ra nhiệt lượng quá mức.
– Đóng gói chân không: Máy bơm chân không được sử dụng trong ngành công nghiệp thực phẩm để loại bỏ không khí khỏi các bao bì, kéo dài thời hạn sử dụng của hàng hóa dễ hư hỏng bằng cách giảm tiếp xúc với oxy.
– Lọc chân không: Quá trình lọc có thể được hưởng lợi từ máy bơm chân không để tăng tốc độ lọc bằng cách tạo lực hút, giúp tách chất rắn và chất lỏng nhanh hơn.
2. Phòng thí nghiệm và nghiên cứu:
Máy bơm chân không được sử dụng rộng rãi trong các phòng thí nghiệm và cơ sở nghiên cứu cho nhiều ứng dụng khác nhau:
– Buồng chân không: Máy bơm chân không tạo ra môi trường áp suất thấp được kiểm soát bên trong các buồng để tiến hành thí nghiệm, kiểm tra vật liệu hoặc mô phỏng các điều kiện cụ thể.
– Phổ khối lượng: Máy quang phổ khối lượng thường sử dụng bơm chân không để tạo ra điều kiện chân không cần thiết cho quá trình ion hóa và phân tích mẫu.
– Sấy đông khô: Máy bơm chân không cho phép thực hiện các quy trình sấy đông khô, trong đó các mẫu được đông lạnh và sau đó được đặt trong môi trường chân không, cho phép nước đóng băng thăng hoa trực tiếp từ trạng thái rắn sang trạng thái hơi.
– Kính hiển vi điện tử: Máy bơm chân không rất cần thiết cho các kỹ thuật kính hiển vi điện tử, cung cấp môi trường chân không cần thiết để chụp ảnh mẫu với độ phân giải cao.
3. Ngành công nghiệp bán dẫn và điện tử:
Máy bơm chân không cao áp đóng vai trò cực kỳ quan trọng trong ngành công nghiệp bán dẫn và điện tử đối với các quy trình sản xuất và thử nghiệm:
– Chế tạo chất bán dẫn: Máy bơm chân không được sử dụng trong nhiều giai đoạn sản xuất chip, bao gồm các quy trình lắng đọng, khắc và cấy ion.
– Phương pháp lắng đọng màng mỏng: Máy bơm chân không tạo ra điều kiện chân không cần thiết để lắng đọng các màng mỏng vật liệu lên chất nền, như trong sản xuất tấm pin mặt trời, lớp phủ quang học và linh kiện điện tử.
– Phát hiện rò rỉ: Máy bơm chân không được sử dụng trong các ứng dụng kiểm tra rò rỉ để phát hiện và xác định vị trí rò rỉ trong các linh kiện điện tử, hệ thống hoặc đường ống.
4. Y tế và Chăm sóc sức khỏe:
Máy bơm chân không có nhiều ứng dụng trong lĩnh vực y tế và chăm sóc sức khỏe:
– Phương pháp đóng vết thương bằng hút chân không: Máy bơm hút chân không được sử dụng trong liệu pháp điều trị vết thương bằng áp lực âm (NPWT), tạo ra môi trường chân không được kiểm soát để thúc đẩy quá trình lành vết thương và loại bỏ dịch thừa.
– Thiết bị phòng thí nghiệm: Máy bơm chân không rất cần thiết trong các thiết bị y tế và khoa học như lò chân không, máy sấy đông khô và máy cô đặc ly tâm.
– Gây mê và hút dịch y tế: Máy bơm chân không được sử dụng trong máy gây mê và thiết bị hút dịch y tế để tạo lực hút và loại bỏ chất lỏng hoặc khí ra khỏi cơ thể bệnh nhân.
5. Hệ thống điều hòa không khí và làm lạnh:
Máy bơm chân không được sử dụng trong ngành HVAC (Hệ thống sưởi, thông gió và điều hòa không khí) và ngành công nghiệp điện lạnh:
– Hệ thống làm lạnh và điều hòa không khí: Máy bơm chân không được sử dụng trong quá trình lắp đặt, bảo trì và sửa chữa hệ thống để hút hơi ẩm và không khí ra khỏi hệ thống làm lạnh và điều hòa không khí, đảm bảo hoạt động hiệu quả.
– Tấm cách nhiệt chân không: Máy bơm chân không được sử dụng trong sản xuất các tấm cách nhiệt chân không, mang lại đặc tính cách nhiệt vượt trội cho các công trình và thiết bị.
6. Phát điện:
Máy bơm chân không đóng vai trò quan trọng trong các ứng dụng sản xuất điện năng:
– Hệ thống ngưng tụ hơi nước: Máy bơm chân không được sử dụng trong các nhà máy điện để loại bỏ khí không ngưng tụ khỏi hệ thống ngưng tụ hơi nước, giúp cải thiện hiệu suất nhiệt.
– Thu giữ khí: Máy bơm chân không được sử dụng để thu giữ và loại bỏ các loại khí, chẳng hạn như hydro hoặc heli, trong các nhà máy điện hạt nhân, lò phản ứng nghiên cứu hoặc máy gia tốc hạt.
Đây chỉ là một vài ví dụ về các ứng dụng chính của bơm chân không. Tính linh hoạt và phạm vi rộng lớn của các loại bơm chân không khiến chúng trở nên thiết yếu trong nhiều ngành công nghiệp, góp phần vào các quy trình sản xuất, nỗ lực nghiên cứu và tiến bộ công nghệ khác nhau.
Biên tập bởi Dream 2024-05-02
