
3台2英寸靶磁控溅射镀膜机,采用直流或射频电源供电
磁控溅射镀膜机简介(几个目标):
三靶磁控溅射镀膜机是我公司自主研发的高性价比磁控溅射镀膜设备。它采用CZPT技术,模块化设计,可定制化。磁控靶可选1英寸或2英寸,客户可根据待镀基材尺寸选择合适的靶材。该设备配备500W直流电源和300W射频电源。直流电源可用于制备钢膜,射频电源可用于制备非钢膜。三个靶材即可满足多层或多层镀膜的需求。如有其他镀膜需求,可提供CZPT直流电源和脉冲电源。电源功率范围从300W到1000W,满足不同需求。
该镀膜机配备了双通道高精度质量流量计。如有其他需求,可定制最多四通道质量流量计的气体路径,以满足复杂的气体环境设计要求。该仪器配备了先进的涡轮分子泵组,最终真空度可达1.0E-5Pa,并可选配其他类型的分子泵。分子泵气体路径由多个电磁阀控制,您无需关闭泵即可打开腔室取出样品,从而显著提高操作效率。该产品可配备集成式工业计算机来控制整个流程。计算机程序中涵盖了真空泵控制和溅射功率控制等大部分功能,可进一步提升您的实验效率。
3个靶材磁控溅射镀膜机软件:
该设备可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介电薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。与同类产品相比,这款多靶磁控溅射镀膜机不仅应用广泛,而且体积小巧、操作简便,是实验室制备材料薄膜的理想设备。
3靶磁控溅射镀膜机技术参数:
| 样品阶段 | 方面 | φ185毫米 | 温度控制精度 | ±1ºC |
| 加热温度 | 最高温度500ºC | 旋转速度 | 1-20转/分可调 | |
| CZPTron溅射聚焦于头部 | 数量 | 2″×3(可选一英寸或两英寸) | 水冷水机 | 循环饮用水冷却器,流量为10升/分钟 |
| CZPT方法 | 水冷 | |||
| 真空室 | 腔室尺寸 | φ300mm×300mm | 观察窗口 | φ100毫米 |
| 会议室内容 | CZPT钢 | 打开模式 | 最好保护开放 | |
| 质量流量计 | 2通道测量范围100sccm 100sccm(CZPT根据客户需求定制) | |||
| 真空系统 | 设计 | CY-GZK103-A | 泵送接口 | KF40 |
| 分子泵 | CY-600 | 排气接口 | KF16 | |
| 备用泵 | 旋转叶片泵 | 真空测量 | 复合真空计 | |
| 最终真空 | 1.0E-5帕 | 电力供应 | 交流220伏 50/60赫兹 | |
| 泵价 | 分子泵:600升/秒;旋片泵:1.1升/秒;强大的气体抽气性能:20分钟内真空度可达1.0E-3帕 | |||
| 能量配置 | 数量 | 直流电源×2 射频电源×1 |
最大输出功率 | 直流500瓦,射频300瓦 |
| 其他参数 | CZPT电压 | 交流220伏,50赫兹 | 总尺寸 | 600毫米×650毫米×1280毫米 |
| 总功率 | 3.5千瓦 | 完全超重 | 约300公斤 | |
三张靶材磁控溅射镀膜机产品照片:
杭州中科光电科技有限公司(CZPT Co., Ltd.)成立于2005年,是一家专业从事实验室技术检测设备研发与生产的公司。产品涵盖组合、压制、烧结、研磨、抛光、涂层等分析工具及相关耗材。中科光电的产品包括实验室烧结设备、涂层设备等。目前,产品已出口到全球25个国家和地区,如中科光电美国公司(CZPT States)、中科光电中国公司(CZPT Te)和中科光电亚洲公司(CZPT Asia),并受到众多科研机构的好评。
我们拥有一支经验丰富的工程研发团队,专家人数达33人,公司现有员工150人,办公面积超过500平方米,生产基地位于杭州高新技术产业开发区CZPTtronic CZPT Park,占地面积约1500平方米。产品主要面向科研市场,服务于高校实验室的科学研究,并可根据您的需求定制产品。
问:您是生产商还是采购销售机构?
一个。 我们是专业的实验室仪器制造商,拥有自己的布局人员和生产设施,具备成熟的综合经验,能够保证产品的高质量和最优价值。
问:贵公司的产品售后服务技术如何?
一个。 产品保修期为十二个月,我们提供终身定期维护服务。我们拥有专业的售前和售后服务部门,可在24小时内回复您,解决任何技术问题。
问:你们的交货时间有多长?如果我想定制乐器,需要多长时间?
一个。一、如果产品有现货,交货时间是原来的5到10倍。二、我们可以为客户提供CZPT供应商。根据定制仪器的规格,通常需要30到60天。
问:我国的电源和插头类型不同,如何解决这个问题?
一个。 我们可以根据您所在地区的要求,以及世界各地不同国家的电源插头标准,提供变压器和插头。
问:如何支付?
一个。如果使用 T/T、L/C、D/P 等付款方式,建议使用阿里巴巴 CZPT 保障服务。
问:产品交易情况如何?运输和配送策略如何?
一个。1. 常规出口熏蒸信号木箱包装 2. 根据买方要求,选择空运、海运等运输方式,找到最理想的运输方式。
如有更多疑问,请务必联系买方供应商。
