제품 설명
제품 설명
EU45/EU65/EU105
최대 압력: 0.5mbar 이하 및 10mbar 이하
펌핑 속도: 48~126m3/시간
그만큼 EU 45, EU 65 및 EU 105 이 펌프들은 오일 재순환 기능을 갖춘 단일 단계 회전식 날개 윤활 펌프입니다.
플랜지형 전동기는 탄성 커플링으로 연결됩니다.
냉각은 강력한 원심 팬을 통해 이루어집니다.
일체형 체크 밸브는 정지 단계 동안 오일이 역류하거나 공기가 챔버로 다시 유입되어 펌핑되는 것을 방지합니다.
오일 탱크에는 배기 공기에서 오일 미스트를 분리하는 시스템이 장착되어 있으며, 분리된 오일은 펌프를 통해 자동으로 회수됩니다.
가스 밸러스트는 소량의 증기를 흡입할 때 펌프 내부의 결로 현상을 방지합니다.
EU 45, EU 65 및 EU 105 펌프는 다음 범위에 포함된 밀폐 시스템의 진공 배출 또는 일정 진공 상태에서의 작동에 적합합니다.
EU 45 – EU 65 – EU 105 0,5 ~ 300mbar(절대)
EU 45 B – EU 65 B – EU 105 B 10 ~ 850mbar(절대)
부속품
다음 부속품들은 펌프 설치 및 작동 매개변수 제어에 유용합니다.
-
외부 흡입 필터
-
진공 게이지/진공 조절기
-
압력계/압력 스위치
-
온도 조절기
-
최소 오일 레벨 스위치
주요 사양
|
EU45 |
EU65 |
EU105 |
||||
|
펌핑 속도 |
m³/h |
50Hz |
48 |
69 |
105 |
|
|
60Hz |
58 |
83 |
126 |
|||
|
가스 밸러스트 포함 최대 압력(절대압) |
엠바르 |
≤ 0.5 (≤ 10 /B) |
≤ 0.5 (≤ 10 /B) |
≤ 0.5 (≤ 10 /B) |
||
|
모터 출력 |
킬로와트 |
50Hz |
1,1 |
1,5 |
2,2 |
|
|
60Hz |
1,5 |
2,2 |
3 |
|||
|
모터 속도 |
분당 회전수 |
50Hz |
1500 |
1500 |
1500 |
|
|
60Hz |
1800 |
1800 |
1800 |
|||
|
수증기 내성 |
엠바르 |
30 |
30 |
30 |
||
|
수증기 펌핑 용량 |
kg/시간 |
1 |
1,4 |
2,2 |
||
|
윤활유 충전량 |
엘 |
2 |
2 |
3 |
||
|
음압 레벨 |
dB(A) |
50Hz |
68 |
69 |
67 |
|
|
60Hz |
69 |
70 |
69 |
|||
|
치수 |
LxBxH |
mm |
50Hz |
556x340x284 |
601x340x284 |
735x405x334 |
|
60Hz |
581x340x284 |
641x340x284 |
735x405x334 |
|||
|
무게 |
킬로그램 |
50Hz |
52 |
60 |
82 |
|
|
60Hz |
54 |
65 |
86 |
|||
|
사이* |
입구 |
1″ ¼ 가스 |
1″ ¼ 가스 |
1″ ¼ 가스 |
||
|
콘센트 |
1″ ¼ 가스 |
1″ ¼ 가스 |
1″ ¼ 가스 |
|||
* 기타 연결 유형은 CHINAMFG에서 요청하실 수 있습니다.
/* 2571년 1월 22일 19:08:37 */!function(){function s(e,r){var a,o={};try{e&&e.split(“,”).forEach(function(e,t){e&&(a=e.match(/(.*?):(.*)$/))&&1
| 판매 후 서비스: | 사업 개시일로부터 12개월 또는 15개월 |
|---|---|
| 보증: | 사업 개시일로부터 12개월 또는 15개월 |
| 기름을 넣느냐 마느냐: | 기름 |
| 구조: | 회전식 진공 펌프 |
| 배기 방식: | 포획 진공 펌프 |
| 진공도: | 진공 |
| 맞춤 설정: |
사용 가능
|
|
|---|
전자 부품 생산에서 진공 펌프는 어떻게 활용될까요?
진공 펌프는 전자 부품 생산에 매우 중요한 역할을 합니다. 자세한 설명은 다음과 같습니다.
전자 부품 생산에는 대기압이 낮거나 없는 제어된 환경이 필요한 경우가 많습니다. 진공 펌프는 이러한 진공 상태를 생성하고 유지하기 위해 생산 공정의 여러 단계에서 사용됩니다. 다음은 전자 부품 생산에서 진공 펌프가 사용되는 주요 방식입니다.
1. 증착 공정: 진공 펌프는 물리적 증착(PVD) 및 화학적 증착(CVD)과 같은 증착 공정에 널리 사용됩니다. 이러한 공정은 전자 부품의 박막 증착에 일반적으로 사용되며, 진공 챔버 내에서 기판 위에 재료를 증착하는 방식으로 진행됩니다. 진공 펌프는 박막의 정밀하고 제어된 증착에 필요한 진공 조건을 생성하고 유지하는 데 도움을 줍니다.
2. 에칭 및 세척: 에칭 및 세척 공정은 전자 부품 제조에 필수적입니다. 진공 펌프는 에칭 및 세척 챔버 내부에 진공 환경을 조성하는 데 사용되며, 이 환경에서 반응성 가스 또는 플라즈마를 이용하여 부품 표면에서 불필요한 물질이나 잔류물을 제거합니다. 진공 펌프는 챔버 내부를 진공 상태로 만들고 부산물 및 폐가스를 효율적으로 제거하는 데 도움을 줍니다.
3. 건조 및 베이킹: 진공 펌프는 전자 부품의 건조 및 베이킹 공정에 사용됩니다. 세척이나 습식 에칭과 같은 습식 공정 후에는 부품을 완전히 건조해야 합니다. 진공 펌프는 진공 환경을 조성하여 부품에서 수분이나 용제를 효과적으로 제거하고, 후속 공정 전에 부품이 완전히 건조되도록 합니다. 또한, 진공 베이킹은 부품의 재료나 구조 내부에 갇힌 수분이나 기타 오염 물질을 제거하여 부품의 신뢰성과 성능을 향상시키는 데 사용됩니다.
4. 캡슐화 및 포장: 진공 펌프는 전자 부품 생산의 캡슐화 및 포장 단계에 사용됩니다. 이러한 공정에서는 습기, 먼지 또는 산화와 같은 환경 요인으로부터 부품을 보호하기 위해 진공 밀봉 포장이 필요한 경우가 많습니다. 진공 펌프는 포장재 내부의 공기를 빼내어 진공 밀봉 환경을 조성함으로써 전자 부품의 무결성과 수명을 유지하는 데 도움을 줍니다.
5. 시험 및 품질 관리: 진공 펌프는 전자 부품의 시험 및 품질 관리 과정에 사용됩니다. 밀폐성 시험과 같은 일부 시험에서는 전자 패키지의 밀봉 상태를 평가하기 위해 진공 환경을 조성해야 합니다. 진공 펌프는 시험 챔버를 진공 상태로 만들어 정확하고 신뢰할 수 있는 시험 결과를 얻을 수 있도록 도와줍니다.
6. 납땜 및 브레이징: 진공 펌프는 전자 부품 및 어셈블리를 접합하는 납땜 및 브레이징 공정에서 중요한 역할을 합니다. 진공 납땜은 공기를 제거하여 기포, 플럭스 잔류물 또는 산화 발생 위험을 줄임으로써 고품질 납땜 접합부를 얻는 기술입니다. 진공 펌프는 납땜 챔버를 진공 상태로 만들어 정밀하고 안정적인 납땜 또는 브레이징에 필요한 진공 조건을 조성하는 데 도움을 줍니다.
7. 표면 처리: 진공 펌프는 전자 부품의 표면 처리 공정에 사용됩니다. 이러한 공정에는 플라즈마 세척, 표면 활성화 또는 표면 개질 기술이 포함됩니다. 진공 펌프는 플라즈마 또는 반응성 가스를 사용하여 부품 표면을 처리하는 데 필요한 진공 환경을 조성하는 데 도움을 주며, 이를 통해 접착력을 향상시키거나, 결합을 촉진하거나, 표면 특성을 변경할 수 있습니다.
전자 부품 생산에는 특정 공정 요구 사항에 따라 다양한 유형의 진공 펌프가 사용될 수 있다는 점에 유의해야 합니다. 일반적으로 사용되는 진공 펌프 기술에는 로터리 베인 펌프, 터보 펌프, 극저온 펌프 및 건식 펌프가 있습니다.
요약하자면, 진공 펌프는 전자 부품 생산에 필수적인 장비로, 증착 공정, 에칭 및 세척 작업, 건조 및 베이킹 단계, 캡슐화 및 패키징, 테스트 및 품질 관리, 납땜 및 브레이징, 표면 처리 등 다양한 공정을 원활하게 진행할 수 있도록 지원합니다. 진공 펌프를 통해 제어된 진공 환경을 조성하고 유지할 수 있으며, 이는 전자 부품의 정밀하고 안정적인 제조 공정을 보장합니다.
진공 펌프를 태양광 패널 생산에 사용할 수 있을까요?
네, 진공 펌프는 태양광 패널 생산에 널리 사용됩니다. 자세한 설명은 다음과 같습니다.
태양광 패널(PV 패널이라고도 함)은 햇빛을 전기로 변환하는 장치입니다. 태양광 패널 제조 공정에는 여러 중요한 단계가 있으며, 그중 상당수에서 진공 펌프가 사용됩니다. 진공 기술은 태양광 패널 생산의 효율성, 신뢰성 및 품질을 보장하는 데 중요한 역할을 합니다. 진공 펌프가 사용되는 주요 분야는 다음과 같습니다.
1. 실리콘 잉곳 생산: 태양광 패널 제조의 첫 번째 단계는 실리콘 잉곳을 생산하는 것입니다. 이 잉곳은 순수한 결정질 실리콘으로 이루어진 원통형 블록으로, 태양 전지의 원료가 됩니다. 초크랄스키 공정에서는 진공 펌프를 사용하여 석영 도가니에서 다결정 실리콘을 녹인 후, 용융된 실리콘에서 단결정 잉곳을 천천히 뽑아냅니다. 진공 펌프는 불순물을 제거하고 결정 성장 과정에서 오염을 방지하여 제어된 환경을 조성합니다.
2. 웨이퍼 가공: 실리콘 잉곳이 생산되면 웨이퍼 가공 공정을 거쳐 얇은 웨이퍼로 절단됩니다. 와이어 톱에는 진공 펌프가 사용되어 저압 환경을 조성하는데, 이는 절단 와이어를 냉각하고 윤활하는 데 도움이 됩니다. 또한 진공은 절단 과정에서 발생하는 실리콘 파편을 제거하여 깨끗하고 정밀한 절단을 보장합니다.
3. 태양 전지 생산: 진공 펌프는 태양 전지 생산의 여러 단계에서 중요한 역할을 합니다. 태양 전지는 태양광 패널 내에서 햇빛을 전기로 변환하는 개별 단위입니다. 진공 펌프는 다음과 같은 공정에 사용됩니다.
– 확산: 확산 공정에서는 인이나 붕소와 같은 도핑 물질을 실리콘 웨이퍼에 도입하여 원하는 전기적 특성을 구현합니다. 확산로에는 진공 펌프가 사용되어 확산 공정에 적합한 제어된 분위기를 조성하고 태양 전지의 품질에 영향을 줄 수 있는 불순물이나 가스를 제거합니다.
– 증착: 반사 방지 코팅, 보호막, 전극 재료와 같은 박막이 실리콘 웨이퍼 위에 증착됩니다. 물리적 증착(PVD)이나 화학적 증착(CVD)과 같은 다양한 증착 기술에서는 진공 펌프를 사용하여 정밀하고 균일한 박막 증착에 필요한 진공 조건을 조성합니다.
– 에칭: 에칭 공정은 태양 전지 표면에 원하는 질감을 만들어 광 포집을 향상시키고 효율을 높이는 데 사용됩니다. 플라즈마 에칭 또는 습식 에칭 기술에서는 진공 펌프를 사용하여 불필요한 물질을 제거하거나 태양 전지 표면의 특정 구조를 만듭니다.
4. 캡슐화: 태양 전지가 생산되면 습기 및 기계적 충격과 같은 환경 요인으로부터 보호하기 위해 캡슐화 과정을 거칩니다. 캡슐화 과정에서는 진공 펌프를 사용하여 진공 환경을 조성하고 캡슐화 재료에서 공기와 습기를 제거합니다. 이는 적절한 접착을 보장하고 기포나 공극 형성을 방지하여 태양광 패널의 성능과 수명을 향상시킵니다.
5. 시험 및 품질 관리: 진공 펌프는 태양광 패널 생산 과정에서 시험 및 품질 관리에도 활용됩니다. 예를 들어, 진공 시스템을 사용하여 누출 시험을 실시하여 밀봉의 무결성을 확인하고 패널 조립체의 잠재적 결함이나 누출을 감지할 수 있습니다. 또한 진공 기반 측정 기술을 사용하여 태양 전지 또는 패널의 전기적 특성과 효율을 평가할 수 있습니다.
요약하자면, 진공 펌프는 태양광 패널 생산에 필수적인 요소입니다. 실리콘 잉곳 생산, 웨이퍼 가공, 태양 전지 생산(확산, 증착 및 에칭), 캡슐화 및 테스트를 포함한 제조 공정의 다양한 단계에서 사용됩니다. 진공 기술은 정밀한 제어, 오염 방지 및 효율적인 공정을 가능하게 하여 고품질의 신뢰할 수 있는 태양광 패널 생산에 기여합니다.
진공 펌프는 실험실에서 사용할 수 있을까요?
네, 진공 펌프는 실험실에서 매우 다양한 용도로 널리 사용됩니다. 자세한 설명은 다음과 같습니다.
진공 펌프는 실험실에서 과학자와 연구자들이 진공 또는 저압 환경을 만들고 제어할 수 있도록 해주기 때문에 필수적인 도구입니다. 이러한 제어된 조건은 다양한 과학적 과정과 실험에 매우 중요합니다. 실험실에서 진공 펌프가 사용되는 주요 이유는 다음과 같습니다.
1. 증발 및 증류: 진공 펌프는 실험실 증발 및 증류 공정에 자주 사용됩니다. 진공을 생성함으로써 액체의 끓는점을 낮추어 보다 부드럽고 정밀하게 제어된 증발을 가능하게 합니다. 이는 열에 민감한 물질이나 증발 공정을 정확하게 제어해야 할 때 특히 유용합니다.
2. 여과: 진공 여과는 실험실에서 액체나 기체로부터 고체를 분리하는 데 흔히 사용되는 기술입니다. 진공 펌프는 흡입력을 발생시켜 액체나 기체를 필터를 통해 빨아들이고 고체 입자는 걸러냅니다. 이 방법은 시료 준비, 미생물학, 분석 화학 등 다양한 분야에서 널리 사용됩니다.
3. 동결 건조: 진공 펌프는 동결 건조 공정에서 매우 중요한 역할을 합니다. 동결 건조는 물질을 얼린 상태에서 수분을 제거하여 구조와 물성을 보존하는 공정입니다. 진공 펌프는 얼어붙은 물이 직접 수증기로 승화되도록 하여 저압 조건에서 수분을 제거합니다.
4. 진공 오븐 및 챔버: 진공 펌프는 다양한 응용 분야에 필요한 제어된 저압 환경을 조성하기 위해 진공 오븐 및 챔버와 함께 사용됩니다. 진공 오븐은 열에 민감한 재료를 건조하거나, 용매를 제거하거나, 감압 조건에서 반응을 수행하는 데 사용됩니다. 진공 챔버는 모의 우주 또는 고고도 환경에서 부품을 테스트하거나, 재료의 탈기 또는 진공 관련 현상을 연구하는 데 활용됩니다.
5. 분석 기기: 많은 실험실 분석 기기는 제대로 작동하기 위해 진공 펌프에 의존합니다. 예를 들어, 질량 분석기, 전자 현미경, 표면 분석 장비 및 기타 분석 기기는 시료의 무결성을 유지하고 정확한 결과를 얻기 위해 진공 상태를 필요로 하는 경우가 많습니다.
6. 화학 및 재료 과학: 진공 펌프는 수많은 화학 및 재료 과학 실험에 사용됩니다. 시료의 탈기, 제어된 분위기 조성, 감압 조건에서의 반응 수행, 기체상 반응 연구 등에 활용됩니다. 또한 물리적 증착(PVD) 및 화학적 증착(CVD)과 같은 박막 증착 기술에도 사용됩니다.
7. 실험용 진공 시스템: 과학 연구에서 진공 시스템은 특정 실험이나 응용 분야에 맞게 설계 및 제작되는 경우가 많습니다. 이러한 시스템에는 여러 대의 진공 펌프, 밸브 및 챔버가 포함되어 실험 요구 사항에 맞춘 특수 진공 환경을 조성할 수 있습니다.
전반적으로 진공 펌프는 다양한 과학 분야의 실험실에서 광범위하게 사용되는 다재다능한 도구입니다. 연구원들은 진공 펌프를 통해 진공 또는 저압 조건을 제어하고 조작할 수 있어 다양한 공정, 실험 및 분석을 수행할 수 있습니다. 진공 펌프의 선택은 필요한 진공도, 유량, 화학적 호환성 및 특정 응용 분야의 요구 사항과 같은 요소에 따라 달라집니다.
CX 편집, 2024년 3월 20일
