제품 설명
적용 범위 및 특징:
그린테크 인터내셔널(서호지구) 유한회사 당사는 진공 펌프 전문 공급업체입니다. 2BE1 시리즈 수환식 진공 펌프 및 압축기는 독일에서 수입한 첨단 기술을 접목하여 자체 제작한 고효율 및 경제적인 제품입니다.
이 시리즈 제품은 CHINAMFG의 단일 작동 구조를 채택하여 컴팩트한 구조, 편리한 유지 보수, 안정적인 작동, 고효율 및 경제적인 전력 소비 등 많은 장점을 가지고 있습니다.
2BE1 시리즈 제품의 주요 특징:
모든 베어링은 펌프 작동 중 정확한 방향성과 높은 안정성을 보장하기 위해 CHINAMFG 또는 NTN 브랜드의 수입 제품입니다.
임펠러의 재질은 QT400 구상흑연주철 또는 스테인리스강으로, 펌프가 극한 조건에서 작동할 때 안정성을 보장하고 펌프의 수명을 연장할 수 있도록 설계되었습니다.
펌프 케이스는 2BE1 시리즈 펌프의 수명을 연장하기 위해 강철 또는 스테인리스강판으로 제작됩니다.
샤프트 부싱은 스테인리스강으로 제작되어 일반 재질보다 펌프의 수명을 5배 향상시킵니다.
(펌프가 벨트로 구동될 때) V벨트 풀리에는 펌프의 신뢰성을 유지하고 수명을 연장하기 위해 테이퍼 부싱이 장착된 고정밀 풀리가 사용됩니다. 또한 조립 및 분해가 용이합니다.
커플링은 펌프를 직접 구동하는 데 사용됩니다. 두 개의 반쪽 커플링을 연결하는 유연한 부분은 폴리우레탄으로 제작되어 펌프의 신뢰성을 높여줍니다.
펌프 위에 분리기를 설치하는 독특한 설계 덕분에 공간을 절약하고 소음을 효과적으로 줄일 수 있습니다.
모든 부품은 레진 샌드로 주조되어 펌프 표면이 매우 매끄럽습니다. 펌프 표면에 퍼티를 바를 필요가 없으며 열을 효율적으로 방출합니다.
수입 제품에는 펌프가 장시간 작동할 때 누출을 방지하기 위해 기계식 씰(선택 사양)이 사용됩니다.
| 유형 | 속도 (구동 방식) 분당 |
축 동력 킬로와트 |
모터 출력 킬로와트 |
모터 유형 |
제한된 진공 엠바르 |
무게 (전체 세트) 킬로그램 |
||
| 흡입 용량 | ||||||||
| m 3 /h | m 3 /분 | |||||||
| 2BE1 151-0 | 1450(D) 1100(V) 1300(V) 1625(V) 1750(V) |
10.8 7.2 9.2 13.2 14.8 |
15 11 11 15 18.5 |
Y160L-4 Y160M-4 Y160M-4 Y160L-4 Y180M-4 |
33mbar (-0.098MPa) |
405 300 360 445 470 |
6.8 5.0 6.0 7.4 7.8 |
469 428 444 469 503 |
| 2BE1 152-0 | 1450(D) 1100(V) 1300(V) 1625(V) 1750(V) |
12.5 8.3 10.5 15.0 17.2 |
15 11 15 18.5 22 |
Y160L-4 Y160M-4 Y160L-4 Y180M-4 Y180L-4 |
33mbar (-0.098MPa) |
465 340 415 510 535 |
7.8 5.7 6.9 8.5 8.9 |
481 437 481 515 533 |
| 2BE1 153-0 | 1450(D) 1100(V) 1300(V) 1625(V) 1750(V) |
16.3 10.6 13.6 19.6 22.3 |
18.5 15 18.5 22 30 |
Y180M-4 Y160L-4 Y180M-4 Y180L-4 Y200L-4 |
33mbar (-0.098MPa) |
600 445 540 660 700 |
10.0 7.4 9.0 11.0 11.7 |
533 480 533 551 601 |
| 2BE1 202-0 | 970(D) 790(V) 880(v) 1100(V) 1170(V) 1300(V) |
17 14 16 22 25 30 |
22 18.5 18.5 30 30 37 |
Y200L2-6 Y180M-4 Y180M-4 Y200L-4 Y200L-4 Y225S-4 |
33mbar (-0.098MPa) |
760 590 670 850 890 950 |
12.7 9.8 11.2 14.2 14.8 15.8 |
875 850 850 940 945 995 |
| 2BE1 203-0 | 970(D) 790(V) 880(V) 1100(V) 1170(V) 1300(V) |
27 20 23 33 37 45 |
37 30 30 45 45 55 |
Y250M-6 Y200L-4 Y200L-4 Y225M-4 Y225M-4 Y250M-4 |
33mbar (-0.098MPa) |
1120 880 1000 1270 1320 1400 |
18.7 14.7 16.7 21.2 22.0 23.3 |
1065 995 995 1080 1085 1170 |
| 2BE1 252-0 | 740(D) 558(V) 660(V) 832(V) 885(V) 938(V) |
38 26 31.8 49 54 60 |
45 30 37 55 75 75 |
Y280M-8 Y200L-4 Y225S-4 Y250M-4 Y280S-4 Y280S-4 |
33mbar (-0.098MPa) |
1700 1200 1500 1850 2000 2100 |
28.3 20.0 25.0 30.8 33.3 35.0 |
1693 1460 1515 1645 1805 1805 |
| 2BE1 253-0 | 740(D) 560(V) 660(V) 740(V) 792(V) 833(V) 885(V) 938(V) |
54 37 45 54 60 68 77 86 |
75 45 55 75 75 90 90 110 |
Y315M-8 Y225M-4 Y250M-4 Y280S-4 Y280S-4 Y280M-4 Y280M-4 Y315S-4 |
33mbar (-0.098MPa) |
2450 1750 2140 2450 2560 2700 2870 3571 |
40.8 29.2 35.7 40.8 42.7 45.0 47.8 50.3 |
2215 1695 1785 1945 1945 2055 2060 2295 |
| 2BE1 303-0 | 740(D) 590(D) 466(V) 521(V) 583(V) 657(V) 743(V) |
98 65 48 54 64 78 99 |
110 75 55 75 75 90 132 |
Y315L2-8 Y315L2-10 Y250M-4 Y280S-4 Y280S-4 Y280M-4 Y315M-4 |
33mbar (-0.098MPa) |
4000 3200 2500 2800 3100 3580 4000 |
66.7 53.3 41.7 46.7 51.7 59.7 66.7 |
3200 3200 2645 2805 2810 2925 3290 |
| 2BE1 305-1 2BE1 306-1 |
740(D) 590(D) 490(V) 521(V) 583(V) 657(V) 743(V) |
102 70 55 59 68 84 103 |
132 90 75 75 90 110 132 |
Y355M1-8 Y355M1-10 Y280S-4 Y280S-4 Y280M-4 Y315S-4 Y315M-4 |
160mbar (-0.085MPa) |
4650 3750 3150 3320 3700 4130 4650 |
77.5 62.5 52.5 55.3 61.2 68.8 77.5 |
3800 3800 2950 3000 3100 3300 3450 |
| 2BE1 353-0 | 590(D) 390(V) 415(V) 464(V) 520(V) 585(V) 620(V) 660(V) |
121 65 70 81 97 121 133 152 |
160 75 90 110 132 160 160 185 |
Y355L2-10 Y280S-4 Y280M-4 Y315S-4 Y315M-4 Y315L1-4 Y315L1-4 Y315L2-4 |
33mbar (-0.098MPa) |
5300 3580 3700 4100 4620 5200 5500 5850 |
88.3 59.7 61.7 68.3 77.0 86.7 91.7 97.5 |
4750 3560 3665 3905 4040 4100 4100 4240 |
| 2BE1 355-1 2BE1 356-1 |
590(D) 390(V) 435(V) 464(V) 520(V) 555(V) 585(V) 620(V) |
130 75 86 90 102 115 130 145 |
160 90 110 110 132 132 160 185 |
Y355L2-10 Y280M-4 Y315S-4 Y315S-4 Y315M-4 Y315M-4 Y315L1-4 Y315L2-4 |
160mbar (-0.085MPa) |
6200 4180 4600 4850 5450 5800 6100 6350 |
103.3 69.7 76.7 80.8 90.8 98.3 101.7 105.8 |
5000 3920 4150 4160 4290 4300 4350 4450 |
| 2BE1 403-0 | 330(V) 372(V) 420(V) 472(V) 530(V) 565(V) |
97 110 131 160 203 234 |
132 132 160 200 250 280 |
Y315M-4 Y315M-4 Y315L1-4 Y315L2-4 Y355M2-4 Y355L1-4 |
33mbar (-0.098MPa) |
5160 5700 6470 7380 8100 8600 |
86.0 95.0 107.8 123.0 135.0 143.3 |
5860 5870 5950 6190 6630 6800 |
| 2BE1 405-1 2BE1 406-1 |
330(V) 372(V) 420(V) 472(V) 530(V) 565(V) |
100 118 140 170 206 235 |
132 160 185 200 250 280 |
Y315M-4 Y315L1-4 Y315L2-4 Y315L2-4 Y355M2-4 Y355L1-4 |
160mbar (-0.085MPa) |
6000 6700 7500 8350 9450 15710 |
100.0 111.7 125.0 139.2 157.5 168.3 |
5980 6070 6200 6310 6750 6920 |
/* 2571년 3월 10일 17:59:20 */!function(){function s(e,r){var a,o={};try{e&&e.split(“,”).forEach(function(e,t){e&&(a=e.match(/(.*?):(.*)$/))&&1
| 기름을 넣느냐 마느냐: | 오일 프리 |
|---|---|
| 구조: | 회전식 진공 펌프 |
| 배기 방식: | 운동 진공 펌프 |
| 진공도: | 고진공 |
| 직무 내용: | 예비흡입 펌프 |
| 근무 조건: | 젖은 |
| 맞춤 설정: |
사용 가능
|
|
|---|
반도체 제조에서 진공 펌프의 역할은 무엇인가요?
진공 펌프는 반도체 제조 공정에서 매우 중요한 역할을 합니다. 자세한 설명은 다음과 같습니다.
반도체 제조는 다양한 전자 기기에 사용되는 집적 회로(IC) 및 기타 반도체 소자의 생산을 포함합니다. 진공 펌프는 반도체 제조 공정 전반에 걸쳐 특정 제조 단계에 필요한 진공 조건을 생성하고 유지하는 데 광범위하게 사용됩니다.
다음은 반도체 제조에서 진공 펌프의 주요 역할 몇 가지입니다.
1. 증착 공정: 진공 펌프는 물리적 증착(PVD) 및 화학적 증착(CVD)과 같은 증착 공정에 사용됩니다. 이러한 공정은 반도체 웨이퍼 위에 얇은 막을 증착하여 다양한 층과 패턴을 형성하는 것을 포함합니다. 진공 펌프는 증착 공정을 정밀하게 제어하는 데 필요한 저압 환경을 조성하여 균일하고 고품질의 막 형성을 보장합니다.
2. 에칭 및 세척: 진공 펌프는 반도체 웨이퍼에서 특정 층이나 오염 물질을 제거하는 에칭 및 세척 공정에 사용됩니다. 플라즈마 에칭 및 반응성 이온 에칭과 같은 건식 에칭 기술은 물질의 이온화 및 제거를 용이하게 하기 위해 진공 환경을 필요로 합니다. 진공 펌프는 효율적인 에칭 및 세척 공정에 필요한 저압 조건을 조성하는 데 도움을 줍니다.
3. 이온 주입: 이온 주입은 반도체 웨이퍼의 특정 영역에 불순물을 도입하여 전기적 특성을 변경하는 공정입니다. 진공 펌프를 사용하여 이온 주입 챔버를 진공 상태로 만들어 정확하고 제어된 이온 빔 가속 및 주입에 필요한 진공 환경을 조성합니다.
4. 웨이퍼 핸들링 및 이송: 진공 펌프는 웨이퍼 핸들링 및 이송 시스템에 사용됩니다. 이러한 시스템은 진공 흡입을 이용하여 공정 챔버에서의 로딩 및 언로딩, 로봇을 이용한 장비 간 이송, 웨이퍼 정렬 등 다양한 제조 단계에서 반도체 웨이퍼를 안전하게 고정하고 조작합니다.
5. 로드록 시스템: 로드록 시스템은 반도체 웨이퍼를 대기 조건과 공정 챔버의 진공 환경 사이에서 이송하는 데 사용됩니다. 진공 펌프는 로드록 시스템의 필수 구성 요소로서, 웨이퍼 이송에 필요한 진공 조건을 생성 및 유지하는 동시에 오염 위험을 최소화합니다.
6. 계측 및 검사: 진공 펌프는 반도체 소자의 특성 분석에 사용되는 계측 및 검사 장비에 활용됩니다. 주사 전자 현미경(SEM) 및 집속 이온 빔(FIB) 시스템과 같은 이러한 장비는 고해상도 이미징과 반도체 구조 및 결함에 대한 정확한 분석을 가능하게 하기 위해 진공 환경에서 작동하는 경우가 많습니다.
7. 누출 감지: 진공 펌프는 진공 챔버, 공정 라인 및 기타 구성 요소의 누출을 식별하고 위치를 파악하기 위한 누출 감지 시스템에 사용됩니다. 이러한 시스템은 진공 펌프를 사용하여 시스템 내부를 진공 상태로 만든 다음 압력 상승을 감지하여 누출 여부를 확인합니다.
8. 클린룸 환경 제어: 반도체 제조 시설은 제조 공정 중 오염을 방지하기 위해 클린룸 환경을 유지합니다. 진공 펌프는 클린룸 환기 및 여과 시스템의 설계 및 작동에 사용되어 미립자를 제거하고 제어된 공기압 차이를 유지함으로써 필요한 공기 청정도를 유지하는 데 도움을 줍니다.
반도체 제조 공정에 사용되는 진공 펌프는 업계의 엄격한 요구 사항을 충족하기 위해 특수 제작되는 경우가 많습니다. 이러한 펌프는 높은 진공도, 정밀한 제어, 낮은 오염 수준, 그리고 연속 작동을 위한 신뢰성을 제공해야 합니다.
전반적으로 진공 펌프는 반도체 제조에 필수적인 장비로, 다양한 공정에 필요한 진공 조건을 조성하여 고품질 반도체 소자 생산을 보장합니다.
진공 펌프는 진공 챔버의 성능에 어떤 영향을 미칠까요?
진공 챔버의 성능에 있어서 진공 펌프는 매우 중요한 역할을 합니다. 자세한 설명은 다음과 같습니다.
진공 챔버는 저압 환경을 조성하고 유지하도록 설계된 밀폐된 공간입니다. 제조, 연구, 재료 가공 등 다양한 산업 및 과학 분야에서 사용됩니다. 진공 펌프는 챔버 내부의 공기 및 기타 가스를 제거하여 진공 또는 저압 상태를 만드는 데 사용됩니다. 진공 챔버의 성능은 사용되는 진공 펌프의 특성과 작동 방식에 직접적인 영향을 받습니다.
다음은 진공 펌프가 진공 챔버의 성능에 영향을 미치는 몇 가지 주요 방식입니다.
1. 진공도 달성 및 유지: 진공 펌프의 주요 기능은 챔버 내부에 원하는 진공도를 생성하고 유지하는 것입니다. 진공 펌프는 챔버 내부의 공기 및 기타 가스를 제거하여 압력을 낮춥니다. 진공 펌프의 효율과 용량은 원하는 진공도를 얼마나 빠르게 달성하고 얼마나 잘 유지할 수 있는지를 결정합니다. 고성능 진공 펌프는 챔버 내부에서 가스 누출이나 지속적인 가스 발생이 있더라도 신속하게 챔버를 비우고 원하는 진공도를 유지할 수 있습니다.
2. 펌핑 속도: 진공 펌프의 펌핑 속도는 단위 시간당 챔버에서 제거할 수 있는 가스의 부피를 나타냅니다. 펌핑 속도는 챔버를 진공 상태로 만드는 속도와 원하는 진공 수준에 도달하는 데 필요한 시간에 영향을 미칩니다. 펌핑 속도가 높을수록 진공 상태가 더 빨리 만들어지고 사이클 시간이 단축되어 진공 챔버의 전반적인 효율이 향상됩니다.
3. 최대 진공도: 최대 진공도는 챔버 내에서 달성할 수 있는 가장 낮은 압력입니다. 이는 진공 펌프의 설계 및 성능에 따라 달라집니다. 고품질 진공 펌프는 더 낮은 최대 진공도를 달성할 수 있으며, 이는 더 높은 진공도가 요구되는 응용 분야나 잔류 가스에 민감한 공정에 중요합니다.
4. 누출 감지 및 가스 제거: 진공 펌프는 챔버 내부의 누출 감지 및 가스 제거에도 도움을 줄 수 있습니다. 챔버를 지속적으로 진공 상태로 유지함으로써 누출이나 가스 유입을 신속하게 파악하고 처리할 수 있습니다. 이를 통해 챔버가 원하는 진공도를 유지하고 오염 물질이나 불필요한 가스의 발생을 최소화할 수 있습니다.
5. 오염 제어: 오일 밀봉 펌프와 같은 일부 진공 펌프는 윤활유를 사용하는데, 이 윤활유가 진공 챔버 내부로 오염 물질을 유입시킬 수 있습니다. 이러한 오염 물질은 반도체 제조나 연구와 같은 특정 응용 분야에 바람직하지 않을 수 있습니다. 따라서 진공 챔버의 요구되는 청결도와 순도를 유지하기 위해서는 진공 펌프의 종류와 오염 물질 유입 가능성을 고려해야 합니다.
6. 소음 및 진동: 진공 펌프는 작동 중에 소음과 진동을 발생시킬 수 있으며, 이는 진공 챔버의 성능과 사용성에 영향을 미칠 수 있습니다. 과도한 소음이나 진동은 정밀한 실험을 방해하고, 측정 정확도를 떨어뜨리거나, 챔버 구성 요소에 기계적 스트레스를 가할 수 있습니다. 최적의 챔버 성능을 유지하려면 소음과 진동 수준이 낮은 진공 펌프를 선택하는 것이 중요합니다.
진공 챔버의 특정 요구 사항과 성능 요소는 적용 분야에 따라 달라질 수 있다는 점에 유의해야 합니다. 로터리 베인 펌프, 건식 펌프, 터보분자 펌프 등 다양한 유형의 진공 펌프는 각각의 특성과 기능을 제공하여 특정 요구 사항을 충족합니다. 진공 펌프를 선택할 때는 원하는 진공도, 펌핑 속도, 최대 진공도, 오염 제어, 소음 및 진동 수준, 챔버 재질 및 사용 가스와의 호환성 등의 요소를 고려해야 합니다.
요약하자면, 진공 펌프는 진공 챔버의 성능에 상당한 영향을 미칩니다. 진공 펌프는 원하는 진공 수준을 생성하고 유지하는 데 필수적이며, 펌핑 속도와 최종 진공도에 영향을 주고, 누출 감지 및 가스 제거를 지원하며, 오염 제어에도 영향을 미칩니다. 다양한 응용 분야에서 최적의 챔버 성능을 확보하려면 진공 펌프를 신중하게 선택해야 합니다.
진공 펌프는 공기 압축기와 어떻게 다른가요?
진공 펌프와 공기 압축기는 모두 공기와 가스를 조작하는 데 사용되는 기계 장치이지만, 목적은 정반대입니다. 두 장치의 차이점을 자세히 설명해 드리겠습니다.
1. 기능:
– 진공 펌프: 진공 펌프는 밀폐된 시스템 내부의 압력을 제거하거나 감소시켜 진공 또는 저압 환경을 조성하도록 설계되었습니다. 진공 펌프는 챔버에서 공기나 가스를 빼내어 흡입 또는 음압을 발생시킵니다.
– 공기 압축기: 공기 압축기는 공기나 가스의 압력을 높이는 데 사용됩니다. 주변의 공기나 가스를 흡입하여 압축함으로써 더 높은 압력과 더 작은 부피의 공기나 가스를 만들어냅니다.
2. 압력 범위:
– 진공 펌프: 진공 펌프는 대기압보다 낮은 압력, 즉 절대 영도 압력을 생성할 수 있습니다. 일반적으로 압력 범위는 음의 영역까지 확장되며, 토르(torr) 또는 파스칼(pascal)과 같은 단위로 표시됩니다.
– 공기 압축기: 공기 압축기는 이와는 반대로 양압 범위에서 작동합니다. 대기압보다 높은 압력을 생성하며, 일반적으로 제곱인치당 파운드(psi) 또는 바(bar)와 같은 단위로 측정됩니다.
3. 응용 분야:
– 진공 펌프: 진공 펌프는 진공 또는 저압 환경 조성이 필요한 다양한 분야에서 사용됩니다. 진공 증류, 진공 건조, 진공 포장, 진공 여과 등의 공정에 사용되며, 과학 연구, 반도체 제조, 의료용 흡입 장치 및 기타 여러 산업 분야에서도 필수적인 장비입니다.
– 공기 압축기: 공기 압축기는 고압의 압축 공기 또는 가스가 필요한 곳에 사용됩니다. 공압 공구, 제조 공정, 에어컨 시스템, 발전, 타이어 공기 주입 등에 사용됩니다. 압축 공기는 활용도가 높아 다양한 산업 및 상업 분야에서 사용될 수 있습니다.
4. 설계 및 메커니즘:
– 진공 펌프: 진공 펌프는 밀폐된 시스템에서 공기나 가스를 제거하여 진공을 생성하도록 설계되었습니다. 원하는 진공도를 얻기 위해 용적식, 포획식 또는 운동량 전달식과 같은 메커니즘을 사용할 수 있습니다. 진공 펌프의 종류로는 로터리 베인 펌프, 다이어프램 펌프, 확산 펌프 등이 있습니다.
– 공기 압축기: 공기 압축기는 공기나 가스를 압축하여 압력을 높이고 부피를 줄이도록 설계되었습니다. 왕복 피스톤, 회전 스크류 또는 원심력과 같은 메커니즘을 사용하여 공기나 가스를 압축합니다. 일반적인 공기 압축기 유형으로는 왕복 압축기, 회전 스크류 압축기 및 원심 압축기가 있습니다.
5. 공기/가스 흐름 방향:
– 진공 펌프: 진공 펌프는 공기나 가스를 펌프 안으로 빨아들인 다음 시스템 밖으로 배출하여 진공을 생성하는 장치입니다.
– 공기 압축기: 공기 압축기는 주변의 공기나 가스를 흡입하여 압축하고 압력을 높여 탱크에 저장하거나 원하는 용도로 직접 공급합니다.
진공 펌프와 공기 압축기는 기능과 작동 압력 범위가 다르지만, 다양한 산업 및 응용 분야에서 모두 필수적인 장비입니다. 진공 펌프는 진공 또는 저압 환경을 생성하고 유지하는 반면, 공기 압축기는 다양한 용도와 공정에 필요한 고압으로 공기나 가스를 압축합니다.
CX 편집, 2023년 12월 26일
