Описание на продукта
Обхват на приложение и характеристики:
Грийнтек Интернешънъл (Сиху (Уест Лейк) Дис.) Ко, ООД е професионален доставчик на вакуумни помпи. Вакуумните помпи и компресори с воден пръстен от серия 2BE1 са продукти с висока ефективност и икономична мощност, произведени от нашата компания, интегрирайки съвременните технологии на вносни продукти от Германия.
Тези серийни продукти използват CHINAMFG и имат структура с едно действие и имат много предимства, като компактна структура, удобна поддръжка, надеждна работа, висока ефективност и икономична мощност.
Основните характеристики на продуктите от серията 2BE1:
Всички лагери са вносни продукти с марката CHINAMFG или NTN, за да се осигури прецизна ориентация и висока стабилност по време на работа на помпата.
Материалът на работното колело е нодуларно желязо QT400 или неръждаема стомана, което осигурява стабилност при работа на помпата в тежки условия и може да удължи живота ѝ.
Корпусът е изработен от стомана или неръждаеми стоманени плочи, за да се удължи експлоатационният живот на помпите от серия 2BE1.
Втулката на вала е изработена от неръждаема стомана, за да се подобри живота на помпата 5 пъти в сравнение с нормалния материал.
Ремъчната шайба (когато помпата се задвижва от ремък) се използва с високопрецизна шайба с конична втулка, за да се запази надеждността на помпата и да се удължи живота ѝ. Освен това е лесна за монтаж и демонтаж.
Съединителят се използва за директно задвижване на помпата. Гъвкавата част, свързваща двете половини на съединителя, е изработена от полиуретан, което прави помпата по-надеждна.
Уникалният дизайн за поставяне на сепаратора над помпата спестява място и ефективно намалява шума.
Всички части са отлети от смолни пясъци, което прави повърхността на помпата много гладка. Не е необходимо да се покрива повърхността на помпите с шпакловка и те ефективно отдават топлината.
Механичните уплътнения (по избор) се използват от вносни продукти, за да се избегне теч, когато помпата работи дълго време.
| Тип | Скорост (Тип задвижване) об/мин |
Мощност на вала кВт |
Мощност на двигателя кВт |
Мотор тип |
Ограничен вакуум мбар |
Тегло (Целият комплект) кг |
||
| Всмукателна мощност | ||||||||
| м³/ч | м³/мин | |||||||
| 2BE1 151-0 | 1450(D) 1100(V) 1300(V) 1625(V) 1750(V) |
10.8 7.2 9.2 13.2 14.8 |
15 11 11 15 18.5 |
Y160L-4 Y160M-4 Y160M-4 Y160L-4 Y180M-4 |
33 мбара (-0,098 МПа) |
405 300 360 445 470 |
6.8 5.0 6.0 7.4 7.8 |
469 428 444 469 503 |
| 2BE1 152-0 | 1450(D) 1100(V) 1300(V) 1625(V) 1750(V) |
12.5 8.3 10.5 15.0 17.2 |
15 11 15 18.5 22 |
Y160L-4 Y160M-4 Y160L-4 Y180M-4 Y180L-4 |
33 мбара (-0,098 МПа) |
465 340 415 510 535 |
7.8 5.7 6.9 8.5 8.9 |
481 437 481 515 533 |
| 2BE1 153-0 | 1450(D) 1100(V) 1300(V) 1625(V) 1750(V) |
16.3 10.6 13.6 19.6 22.3 |
18.5 15 18.5 22 30 |
Y180M-4 Y160L-4 Y180M-4 Y180L-4 Y200L-4 |
33 мбара (-0,098 МПа) |
600 445 540 660 700 |
10.0 7.4 9.0 11.0 11.7 |
533 480 533 551 601 |
| 2BE1 202-0 | 970(D) 790(V) 880(v) 1100(V) 1170(V) 1300(V) |
17 14 16 22 25 30 |
22 18.5 18.5 30 30 37 |
Y200L2-6 Y180M-4 Y180M-4 Y200L-4 Y200L-4 Y225S-4 |
33 мбара (-0,098 МПа) |
760 590 670 850 890 950 |
12.7 9.8 11.2 14.2 14.8 15.8 |
875 850 850 940 945 995 |
| 2BE1 203-0 | 970(D) 790(V) 880(V) 1100(V) 1170(V) 1300(V) |
27 20 23 33 37 45 |
37 30 30 45 45 55 |
Y250M-6 Y200L-4 Y200L-4 Y225M-4 Y225M-4 Y250M-4 |
33 мбара (-0,098 МПа) |
1120 880 1000 1270 1320 1400 |
18.7 14.7 16.7 21.2 22.0 23.3 |
1065 995 995 1080 1085 1170 |
| 2BE1 252-0 | 740(D) 558(V) 660(V) 832(V) 885(V) 938(V) |
38 26 31.8 49 54 60 |
45 30 37 55 75 75 |
Y280M-8 Y200L-4 Y225S-4 Y250M-4 Y280S-4 Y280S-4 |
33 мбара (-0,098 МПа) |
1700 1200 1500 1850 2000 2100 |
28.3 20.0 25.0 30.8 33.3 35.0 |
1693 1460 1515 1645 1805 1805 |
| 2BE1 253-0 | 740(D) 560(V) 660(V) 740(V) 792(V) 833(V) 885(V) 938(V) |
54 37 45 54 60 68 77 86 |
75 45 55 75 75 90 90 110 |
Y315M-8 Y225M-4 Y250M-4 Y280S-4 Y280S-4 Y280M-4 Y280M-4 Y315S-4 |
33 мбара (-0,098 МПа) |
2450 1750 2140 2450 2560 2700 2870 3571 |
40.8 29.2 35.7 40.8 42.7 45.0 47.8 50.3 |
2215 1695 1785 1945 1945 2055 2060 2295 |
| 2BE1 303-0 | 740(D) 590(D) 466(V) 521(V) 583(V) 657(V) 743(V) |
98 65 48 54 64 78 99 |
110 75 55 75 75 90 132 |
Y315L2-8 Y315L2-10 Y250M-4 Y280S-4 Y280S-4 Y280M-4 Y315M-4 |
33 мбара (-0,098 МПа) |
4000 3200 2500 2800 3100 3580 4000 |
66.7 53.3 41.7 46.7 51.7 59.7 66.7 |
3200 3200 2645 2805 2810 2925 3290 |
| 2BE1 305-1 2BE1 306-1 |
740(D) 590(D) 490(V) 521(V) 583(V) 657(V) 743(V) |
102 70 55 59 68 84 103 |
132 90 75 75 90 110 132 |
Y355M1-8 Y355M1-10 Y280S-4 Y280S-4 Y280M-4 Y315S-4 Y315M-4 |
160 мбара (-0,085 МПа) |
4650 3750 3150 3320 3700 4130 4650 |
77.5 62.5 52.5 55.3 61.2 68.8 77.5 |
3800 3800 2950 3000 3100 3300 3450 |
| 2BE1 353-0 | 590(D) 390(V) 415(V) 464(V) 520(V) 585(V) 620(V) 660(V) |
121 65 70 81 97 121 133 152 |
160 75 90 110 132 160 160 185 |
Y355L2-10 Y280S-4 Y280M-4 Y315S-4 Y315M-4 Y315L1-4 Y315L1-4 Y315L2-4 |
33 мбара (-0,098 МПа) |
5300 3580 3700 4100 4620 5200 5500 5850 |
88.3 59.7 61.7 68.3 77.0 86.7 91.7 97.5 |
4750 3560 3665 3905 4040 4100 4100 4240 |
| 2BE1 355-1 2BE1 356-1 |
590(D) 390(V) 435(V) 464(V) 520(V) 555(V) 585(V) 620(V) |
130 75 86 90 102 115 130 145 |
160 90 110 110 132 132 160 185 |
Y355L2-10 Y280M-4 Y315S-4 Y315S-4 Y315M-4 Y315M-4 Y315L1-4 Y315L2-4 |
160 мбара (-0,085 МПа) |
6200 4180 4600 4850 5450 5800 6100 6350 |
103.3 69.7 76.7 80.8 90.8 98.3 101.7 105.8 |
5000 3920 4150 4160 4290 4300 4350 4450 |
| 2BE1 403-0 | 330(V) 372(V) 420(V) 472(V) 530(V) 565(V) |
97 110 131 160 203 234 |
132 132 160 200 250 280 |
Y315M-4 Y315M-4 Y315L1-4 Y315L2-4 Y355M2-4 Y355L1-4 |
33 мбара (-0,098 МПа) |
5160 5700 6470 7380 8100 8600 |
86.0 95.0 107.8 123.0 135.0 143.3 |
5860 5870 5950 6190 6630 6800 |
| 2BE1 405-1 2BE1 406-1 |
330(V) 372(V) 420(V) 472(V) 530(V) 565(V) |
100 118 140 170 206 235 |
132 160 185 200 250 280 |
Y315M-4 Y315L1-4 Y315L2-4 Y315L2-4 Y355M2-4 Y355L1-4 |
160 мбара (-0,085 МПа) |
6000 6700 7500 8350 9450 15710 |
100.0 111.7 125.0 139.2 157.5 168.3 |
5980 6070 6200 6310 6750 6920 |
/* 10 март 2571 17:59:20 */!function(){function s(e,r){var a,o={};try{e&&e.split(“,”).forEach(function(e,t){e&&(a=e.match(/(.*?):(.*)$/))&&1
| Масло или не: | Без масло |
|---|---|
| Структура: | Ротационна вакуумна помпа |
| Метод на изсмукване: | Кинетична вакуумна помпа |
| Степен на вакуум: | Висок вакуум |
| Работна функция: | Предварителна всмукателна помпа |
| Условия на труд: | Мокро |
| Персонализиране: |
Налично
|
|
|---|
Каква е ролята на вакуумните помпи в производството на полупроводници?
Вакуумните помпи играят ключова роля в процесите на производство на полупроводници. Ето подробно обяснение:
Производството на полупроводници включва производството на интегрални схеми (ИС) и други полупроводникови устройства, използвани в различни електронни приложения. Вакуумните помпи се използват широко в целия процес на производство на полупроводници, за да създадат и поддържат необходимите вакуумни условия за специфични производствени стъпки.
Ето някои ключови роли на вакуумните помпи в производството на полупроводници:
1. Процеси на отлагане: Вакуумните помпи се използват в процеси на отлагане, като физическо отлагане от пари (PVD) и химическо отлагане от пари (CVD). Тези процеси включват отлагане на тънки филми от материали върху полупроводникови пластини, за да се създадат различни слоеве и шарки. Вакуумните помпи спомагат за създаването на среда с ниско налягане, необходима за прецизен контрол на процеса на отлагане, осигурявайки равномерно и висококачествено образуване на филм.
2. Ецване и почистване: Вакуумните помпи се използват в процесите на ецване и почистване, които включват отстраняване на специфични слоеве или замърсители от полупроводникови пластини. Техниките за сухо ецване, като плазмено ецване и реактивно йонно ецване, изискват вакуумна среда, за да се улесни йонизацията и отстраняването на материала. Вакуумните помпи спомагат за създаването на необходимите условия за ниско налягане за ефективни процеси на ецване и почистване.
3. Йонна имплантация: Йонната имплантация е процес, използван за въвеждане на примеси в специфични области на полупроводникова пластина, за да се променят нейните електрически свойства. Вакуумните помпи се използват за евакуиране на камерата за йонна имплантация, създавайки необходимата вакуумна среда за точно и контролирано ускорение и имплантация на йонен лъч.
4. Работа с полупроводникови пластини и прехвърляне: Вакуумните помпи се използват в системите за работа с полупроводникови пластини и прехвърляне на пластини. Тези системи използват вакуумно засмукване, за да задържат и манипулират сигурно полупроводникови пластини по време на различни производствени етапи, като например зареждане и разтоварване от технологичните камери, роботизирано прехвърляне между инструменти и подравняване на пластините.
5. Системи за заключване на товара: Системите за заключване на товара се използват за прехвърляне на полупроводникови пластини между атмосферните условия и вакуумната среда на технологичните камери. Вакуумните помпи са неразделна част от системите за заключване на товара, създавайки и поддържайки вакуумните условия, необходими за прехвърляне на пластините, като същевременно минимизират рисковете от замърсяване.
6. Метрология и инспекция: Вакуумните помпи се използват в метрологичните и инспекционни инструменти, използвани за характеризиране на полупроводникови устройства. Тези инструменти, като сканиращи електронни микроскопи (SEM) и системи с фокусиран йонен лъч (FIB), често работят във вакуумна среда, за да позволят получаване на изображения с висока резолюция и точен анализ на полупроводникови структури и дефекти.
7. Откриване на течове: Вакуумните помпи се използват в системи за откриване на течове, за да идентифицират и локализират течове във вакуумни камери, технологични линии и други компоненти. Тези системи разчитат на вакуумни помпи, за да изпомпват системата и след това да следят за повишаване на налягането, което показва наличието на течове.
8. Контрол на чистата среда в чистите помещения: Производствените предприятия за полупроводници поддържат чиста среда в чистите помещения, за да предотвратят замърсяване по време на производствения процес. Вакуумните помпи се използват при проектирането и експлоатацията на вентилационните и филтриращите системи в чистите помещения, като спомагат за поддържането на необходимите нива на чистота на въздуха чрез отстраняване на частици и поддържане на контролирани разлики в налягането на въздуха.
Вакуумните помпи, използвани в процесите на производство на полупроводници, често са специализирани, за да отговарят на строгите изисквания на индустрията. Те трябва да осигуряват високи нива на вакуум, прецизен контрол, ниски нива на замърсяване и надеждност за непрекъсната работа.
Като цяло, вакуумните помпи са незаменими в производството на полупроводници, позволявайки създаването на необходимите вакуумни условия за различни процеси, осигурявайки производството на висококачествени полупроводникови устройства.
Как вакуумните помпи влияят на работата на вакуумните камери?
Що се отнася до производителността на вакуумните камери, вакуумните помпи играят критична роля. Ето подробно обяснение:
Вакуумните камери са затворени пространства, предназначени да създават и поддържат среда с ниско налягане. Те се използват в различни индустрии и научни приложения, като производство, изследвания и обработка на материали. Вакуумните помпи се използват за евакуиране на въздух и други газове от камерата, създавайки вакуум или условия на ниско налягане. Производителността на вакуумните камери е пряко повлияна от характеристиките и работата на използваните вакуумни помпи.
Ето някои ключови начини, по които вакуумните помпи влияят на работата на вакуумните камери:
1. Постигане и поддържане на нива на вакуум: Основната функция на вакуумните помпи е да създават и поддържат желаното ниво на вакуум в камерата. Вакуумните помпи отстраняват въздух и други газове, намалявайки налягането вътре в камерата. Ефективността и капацитетът на вакуумната помпа определят колко бързо се постига желаното ниво на вакуум и колко добре се поддържа то. Високопроизводителните вакуумни помпи могат бързо да евакуират камерата и да поддържат желаното ниво на вакуум, дори когато има течове на газ или непрекъснато производство на газ в камерата.
2. Скорост на изпомпване: Скоростта на изпомпване на вакуумна помпа се отнася до обема газ, който тя може да отстрани от камерата за единица време. Скоростта на изпомпване влияе върху скоростта, с която камерата може да бъде евакуирана, и времето, необходимо за постигане на желаното ниво на вакуум. По-високата скорост на изпомпване позволява по-бързо евакуиране и по-кратки цикли, подобрявайки общата ефективност на вакуумната камера.
3. Крайно ниво на вакуум: Крайното ниво на вакуум е най-ниското налягане, което може да се постигне в камерата. То зависи от дизайна и производителността на вакуумната помпа. Вакуумните помпи с по-високо качество могат да постигнат по-ниски крайни нива на вакуум, което е важно за приложения, изискващи по-високи нива на вакуум или за процеси, чувствителни към остатъчни газове.
4. Откриване на течове и отстраняване на газ: Вакуумните помпи също могат да помогнат за откриване на течове и отстраняване на газ в камерата. Чрез непрекъснато евакуиране на камерата, всички течове или проникване на газ могат да бъдат идентифицирани и отстранени своевременно. Това гарантира, че камерата поддържа желаното ниво на вакуум и минимизира наличието на замърсители или нежелани газове.
5. Контрол на замърсяването: Някои вакуумни помпи, като например помпите с маслено уплътнение, използват смазочни течности, които могат да внесат замърсители в камерата. Тези замърсители може да са нежелани за определени приложения, като например производство на полупроводници или изследвания. Следователно, изборът на вакуумна помпа и нейният потенциал за внасяне на замърсители трябва да се вземат предвид, за да се поддържа необходимата чистота на вакуумната камера.
6. Шум и вибрации: Вакуумните помпи могат да генерират шум и вибрации по време на работа, което може да повлияе на производителността и използваемостта на вакуумната камера. Прекомерният шум или вибрации могат да попречат на деликатни експерименти, да повлияят на точността на измерванията или да причинят механично напрежение върху компонентите на камерата. Изборът на вакуумни помпи с ниски нива на шум и вибрации е важен за поддържане на оптимална производителност на камерата.
Важно е да се отбележи, че специфичните изисквания и коефициенти на производителност на вакуумната камера могат да варират в зависимост от приложението. Различните видове вакуумни помпи, като например ротационни лопаткови помпи, сухи помпи или турбомолекулярни помпи, предлагат различни възможности и функции, които отговарят на специфичните нужди. Изборът на вакуумна помпа трябва да вземе предвид фактори като желаното ниво на вакуум, скоростта на изпомпване, максималния вакуум, контрола на замърсяването, нивата на шум и вибрации, както и съвместимостта с материалите и използваните газове на камерата.
В обобщение, вакуумните помпи имат значително влияние върху работата на вакуумните камери. Те позволяват създаването и поддържането на желаното ниво на вакуум, влияят върху скоростта на изпомпване и постигнатия максимален вакуум, подпомагат откриването на течове и отстраняването на газове, както и влияят върху контрола на замърсяването. Внимателното обмисляне на избора на вакуумна помпа осигурява оптимална работа на камерата за различни приложения.
По какво се различават вакуумните помпи от въздушните компресори?
Вакуумните помпи и въздушните компресори са механични устройства, използвани за манипулиране на въздух и газ, но те служат за противоположни цели. Ето подробно обяснение на техните разлики:
1. Функция:
– Вакуумни помпи: Вакуумните помпи са предназначени да премахват или намаляват налягането в затворена система, създавайки вакуум или среда с ниско налягане. Те извличат въздух или газ от камерата, създавайки засмукване или отрицателно налягане.
– Въздушни компресори: Въздушните компресори, от друга страна, се използват за повишаване на налягането на въздуха или газа. Те засмукват околния въздух или газ и го компресират, което води до по-високо налягане и компактен обем въздух или газ.
2. Диапазон на налягане:
– Вакуумни помпи: Вакуумните помпи са способни да генерират налягане под атмосферното налягане или абсолютната нула. Диапазонът на налягането обикновено се простира до отрицателния диапазон, изразен в единици като тор или паскал.
– Въздушни компресори: Въздушните компресори, напротив, работят в диапазона на положително налягане. Те повишават налягането над атмосферното налягане, обикновено измервано в единици като паунди на квадратен инч (psi) или бар.
3. Приложения:
– Вакуумни помпи: Вакуумните помпи имат различни приложения, където е необходимо създаването на вакуум или среда с ниско налягане. Те се използват в процеси като вакуумна дестилация, вакуумно сушене, вакуумно опаковане и вакуумна филтрация. Те са от съществено значение и в научните изследвания, производството на полупроводници, медицинските аспирационни устройства и много други индустрии.
– Въздушни компресори: Въздушните компресори намират приложение там, където е необходим сгъстен въздух или газ под високо налягане. Те се използват в пневматични инструменти, производствени процеси, климатични системи, производство на електроенергия и напомпване на гуми. Сгъстеният въздух е универсален и може да се използва в множество промишлени и търговски приложения.
4. Дизайн и механизъм:
– Вакуумни помпи: Вакуумните помпи са проектирани да създават вакуум чрез отстраняване на въздух или газ от затворена система. Те могат да използват механизми като положително изместване, захващане или предаване на импулс, за да постигнат желаното ниво на вакуум. Примери за видове вакуумни помпи включват ротационни лопаткови помпи, диафрагмени помпи и дифузионни помпи.
– Въздушни компресори: Въздушните компресори са проектирани да компресират въздух или газ, увеличавайки налягането му и намалявайки обема му. Те използват механизми като бутала с възвратно-постъпателно движение, винтове или центробежна сила за компресиране на въздуха или газа. Често срещаните видове въздушни компресори включват бутални компресори, винтови компресори и центробежни компресори.
5. Посока на въздушния/газовия поток:
– Вакуумни помпи: Вакуумните помпи засмукват въздух или газ в помпата и след това го изтласкват от системата, създавайки вакуум в камерата или системата, която се евакуира.
– Въздушни компресори: Въздушните компресори засмукват околния въздух или газ и го компресират, като повишават налягането му и го съхраняват в резервоар или го доставят директно до желаното приложение.
Въпреки че вакуумните помпи и въздушните компресори имат различни функции и работят в различни диапазони на налягане, и двете са жизненоважни в различни индустрии и приложения. Вакуумните помпи създават и поддържат вакуум или среда с ниско налягане, докато въздушните компресори компресират въздух или газ до по-високо налягане за различни приложения и процеси.
редактор от CX 2023-12-26
