Opis produktu
Zakres zastosowania i charakterystyka:
Greentech International (Xihu (West Lake) Dis.) Co., Ltd jest profesjonalnym dostawcą pomp próżniowych. Pompy próżniowe z pierścieniem wodnym i sprężarki serii 2BE1 to produkty o wysokiej wydajności i ekonomicznej mocy, które są wytwarzane przez naszą firmę w oparciu o zaawansowaną technologię importowanych z Niemiec produktów.
Produkty tej serii wykorzystują konstrukcję CHINAMFG i jednostronnego działania i mają wiele zalet, takich jak kompaktowa budowa, łatwa konserwacja, niezawodna praca, wysoka wydajność i ekonomiczna moc.
Główne cechy produktów serii 2BE1:
Wszystkie łożyska są produktami importowanymi marki CHINAMFG lub NTN, co gwarantuje precyzyjną orientację i wysoką stabilność podczas pracy pompy.
Wirnik wykonany jest z żeliwa sferoidalnego QT400 lub stali nierdzewnej, co gwarantuje stabilność pompy podczas pracy w trudnych warunkach i wydłuża jej żywotność.
Obudowa wykonana jest ze stali lub płyt ze stali nierdzewnej, co wydłuża żywotność pomp serii 2BE1.
Tuleja wału wykonana jest ze stali nierdzewnej, co wydłuża żywotność pompy 5-krotnie w porównaniu ze zwykłym materiałem.
Koło pasowe paska klinowego (gdy pompa jest napędzana paskiem) jest wyposażone w precyzyjne koło pasowe z tuleją stożkową, co zapewnia niezawodność pompy i wydłuża jej żywotność. Jest ono również łatwe w montażu i demontażu.
Sprzęgło służy do bezpośredniego napędzania pompy. Elastyczna część łącząca 2 połówki sprzęgła jest wykonana z poliuretanu, co zwiększa niezawodność pompy.
Unikalna konstrukcja separatora umieszczona nad pompą oszczędza miejsce i skutecznie zmniejsza hałas.
Wszystkie części są odlewane z żywicy piaskowej, co zapewnia bardzo gładką powierzchnię pompy. Nie ma potrzeby pokrywania powierzchni pomp szpachlą i pompy skutecznie odprowadzają ciepło.
Uszczelnienia mechaniczne (opcjonalne) stosowane są w produktach importowanych w celu uniknięcia wycieków podczas długotrwałej pracy pompy.
| Typ | Prędkość (Typ napędu) obr./min |
Moc wału kW |
Moc silnika kW |
Silnik typ |
Ograniczona próżnia mbar |
Waga (Cały zestaw) kg |
||
| Wydajność ssania | ||||||||
| m3/h | m3/min | |||||||
| 2BE1 151-0 | 1450(D) 1100(V) 1300(V) 1625(V) 1750(V) |
10.8 7.2 9.2 13.2 14.8 |
15 11 11 15 18.5 |
Y160L-4 Y160M-4 Y160M-4 Y160L-4 Y180M-4 |
33 mbar (-0,098 MPa) |
405 300 360 445 470 |
6.8 5.0 6.0 7.4 7.8 |
469 428 444 469 503 |
| 2BE1 152-0 | 1450(D) 1100(V) 1300(V) 1625(V) 1750(V) |
12.5 8.3 10.5 15.0 17.2 |
15 11 15 18.5 22 |
Y160L-4 Y160M-4 Y160L-4 Y180M-4 Y180L-4 |
33 mbar (-0,098 MPa) |
465 340 415 510 535 |
7.8 5.7 6.9 8.5 8.9 |
481 437 481 515 533 |
| 2BE1 153-0 | 1450(D) 1100(V) 1300(V) 1625(V) 1750(V) |
16.3 10.6 13.6 19.6 22.3 |
18.5 15 18.5 22 30 |
Y180M-4 Y160L-4 Y180M-4 Y180L-4 Y200L-4 |
33 mbar (-0,098 MPa) |
600 445 540 660 700 |
10.0 7.4 9.0 11.0 11.7 |
533 480 533 551 601 |
| 2BE1 202-0 | 970(D) 790(V) 880(v) 1100(V) 1170(V) 1300(V) |
17 14 16 22 25 30 |
22 18.5 18.5 30 30 37 |
Y200L2-6 Y180M-4 Y180M-4 Y200L-4 Y200L-4 Y225S-4 |
33 mbar (-0,098 MPa) |
760 590 670 850 890 950 |
12.7 9.8 11.2 14.2 14.8 15.8 |
875 850 850 940 945 995 |
| 2BE1 203-0 | 970(D) 790(V) 880(V) 1100(V) 1170(V) 1300(V) |
27 20 23 33 37 45 |
37 30 30 45 45 55 |
Y250M-6 Y200L-4 Y200L-4 Y225M-4 Y225M-4 Y250M-4 |
33 mbar (-0,098 MPa) |
1120 880 1000 1270 1320 1400 |
18.7 14.7 16.7 21.2 22.0 23.3 |
1065 995 995 1080 1085 1170 |
| 2BE1 252-0 | 740(D) 558(V) 660(V) 832(V) 885(V) 938(V) |
38 26 31.8 49 54 60 |
45 30 37 55 75 75 |
Y280M-8 Y200L-4 Y225S-4 Y250M-4 Y280S-4 Y280S-4 |
33 mbar (-0,098 MPa) |
1700 1200 1500 1850 2000 2100 |
28.3 20.0 25.0 30.8 33.3 35.0 |
1693 1460 1515 1645 1805 1805 |
| 2BE1 253-0 | 740(D) 560(V) 660(V) 740(V) 792(V) 833(V) 885(V) 938(V) |
54 37 45 54 60 68 77 86 |
75 45 55 75 75 90 90 110 |
Y315M-8 Y225M-4 Y250M-4 Y280S-4 Y280S-4 Y280M-4 Y280M-4 Y315S-4 |
33 mbar (-0,098 MPa) |
2450 1750 2140 2450 2560 2700 2870 3571 |
40.8 29.2 35.7 40.8 42.7 45.0 47.8 50.3 |
2215 1695 1785 1945 1945 2055 2060 2295 |
| 2BE1 303-0 | 740(D) 590(D) 466(V) 521(V) 583(V) 657(V) 743(V) |
98 65 48 54 64 78 99 |
110 75 55 75 75 90 132 |
Y315L2-8 Y315L2-10 Y250M-4 Y280S-4 Y280S-4 Y280M-4 Y315M-4 |
33 mbar (-0,098 MPa) |
4000 3200 2500 2800 3100 3580 4000 |
66.7 53.3 41.7 46.7 51.7 59.7 66.7 |
3200 3200 2645 2805 2810 2925 3290 |
| 2BE1 305-1 2BE1 306-1 |
740(D) 590(D) 490(V) 521(V) 583(V) 657(V) 743(V) |
102 70 55 59 68 84 103 |
132 90 75 75 90 110 132 |
Y355M1-8 Y355M1-10 Y280S-4 Y280S-4 Y280M-4 Y315S-4 Y315M-4 |
160mbar (-0,085 MPa) |
4650 3750 3150 3320 3700 4130 4650 |
77.5 62.5 52.5 55.3 61.2 68.8 77.5 |
3800 3800 2950 3000 3100 3300 3450 |
| 2BE1 353-0 | 590(D) 390(V) 415(V) 464(V) 520(V) 585(V) 620(V) 660(V) |
121 65 70 81 97 121 133 152 |
160 75 90 110 132 160 160 185 |
Y355L2-10 Y280S-4 Y280M-4 Y315S-4 Y315M-4 Y315L1-4 Y315L1-4 Y315L2-4 |
33 mbar (-0,098 MPa) |
5300 3580 3700 4100 4620 5200 5500 5850 |
88.3 59.7 61.7 68.3 77.0 86.7 91.7 97.5 |
4750 3560 3665 3905 4040 4100 4100 4240 |
| 2BE1 355-1 2BE1 356-1 |
590(D) 390(V) 435(V) 464(V) 520(V) 555(V) 585(V) 620(V) |
130 75 86 90 102 115 130 145 |
160 90 110 110 132 132 160 185 |
Y355L2-10 Y280M-4 Y315S-4 Y315S-4 Y315M-4 Y315M-4 Y315L1-4 Y315L2-4 |
160mbar (-0,085 MPa) |
6200 4180 4600 4850 5450 5800 6100 6350 |
103.3 69.7 76.7 80.8 90.8 98.3 101.7 105.8 |
5000 3920 4150 4160 4290 4300 4350 4450 |
| 2BE1 403-0 | 330(V) 372(V) 420(V) 472(V) 530(V) 565(V) |
97 110 131 160 203 234 |
132 132 160 200 250 280 |
Y315M-4 Y315M-4 Y315L1-4 Y315L2-4 Y355M2-4 Y355L1-4 |
33 mbar (-0,098 MPa) |
5160 5700 6470 7380 8100 8600 |
86.0 95.0 107.8 123.0 135.0 143.3 |
5860 5870 5950 6190 6630 6800 |
| 2BE1 405-1 2BE1 406-1 |
330(V) 372(V) 420(V) 472(V) 530(V) 565(V) |
100 118 140 170 206 235 |
132 160 185 200 250 280 |
Y315M-4 Y315L1-4 Y315L2-4 Y315L2-4 Y355M2-4 Y355L1-4 |
160mbar (-0,085 MPa) |
6000 6700 7500 8350 9450 15710 |
100.0 111.7 125.0 139.2 157.5 168.3 |
5980 6070 6200 6310 6750 6920 |
/* 10 marca 2571 17:59:20 */!function(){function s(e,r){var a,o={};try{e&&e.split(“,”).forEach(function(e,t){e&&(a=e.match(/(.*?):(.*)$/))&&1
| Olej czy nie: | Bez oleju |
|---|---|
| Struktura: | Pompa próżniowa rotacyjna |
| Metoda wyciągowa: | Pompa próżniowa kinetyczna |
| Stopień próżni: | Wysoka próżnia |
| Funkcja pracy: | Pompa wstępnego zasysania |
| Warunki pracy: | Mokry |
| Personalizacja: |
Dostępny
|
|
|---|
Jaką rolę odgrywają pompy próżniowe w produkcji półprzewodników?
Pompy próżniowe odgrywają kluczową rolę w procesach produkcji półprzewodników. Oto szczegółowe wyjaśnienie:
Produkcja półprzewodników obejmuje produkcję układów scalonych (IC) i innych urządzeń półprzewodnikowych wykorzystywanych w różnych zastosowaniach elektronicznych. Pompy próżniowe są szeroko stosowane w całym procesie produkcji półprzewodników w celu wytworzenia i utrzymania wymaganych warunków próżniowych na poszczególnych etapach produkcji.
Oto kilka kluczowych ról pomp próżniowych w produkcji półprzewodników:
1. Procesy osadzania: Pompy próżniowe są wykorzystywane w procesach osadzania, takich jak fizyczne osadzanie z fazy gazowej (PVD) i chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD). Procesy te polegają na osadzaniu cienkich warstw materiałów na płytkach półprzewodnikowych w celu utworzenia różnorodnych warstw i wzorów. Pompy próżniowe pomagają stworzyć środowisko niskiego ciśnienia niezbędne do precyzyjnej kontroli procesu osadzania, zapewniając jednorodne i wysokiej jakości formowanie warstw.
2. Trawienie i czyszczenie: Pompy próżniowe są wykorzystywane w procesach trawienia i czyszczenia, które obejmują usuwanie określonych warstw lub zanieczyszczeń z płytek półprzewodnikowych. Techniki trawienia na sucho, takie jak trawienie plazmowe i trawienie jonami reaktywnymi, wymagają środowiska próżniowego, aby ułatwić jonizację i usuwanie materiału. Pompy próżniowe pomagają w stworzeniu niezbędnych warunków niskiego ciśnienia dla wydajnego trawienia i czyszczenia.
3. Implantacja jonowa: Implantacja jonowa to proces polegający na wprowadzaniu domieszek do określonych obszarów płytki półprzewodnikowej w celu modyfikacji jej właściwości elektrycznych. Pompy próżniowe służą do opróżniania komory implantacji jonowej, tworząc środowisko próżniowe niezbędne do precyzyjnego i kontrolowanego przyspieszania i implantacji wiązki jonowej.
4. Transport i przenoszenie płytek półprzewodnikowych: Pompy próżniowe są stosowane w systemach transportu i przenoszenia płytek półprzewodnikowych. Systemy te wykorzystują podciśnienie do bezpiecznego trzymania i manipulowania płytkami półprzewodnikowymi na różnych etapach produkcji, takich jak załadunek i rozładunek z komór procesowych, przenoszenie między narzędziami za pomocą robota oraz wyrównywanie płytek.
5. Systemy Load Lock: Systemy Load Lock służą do przenoszenia płytek półprzewodnikowych między warunkami atmosferycznymi a środowiskiem próżniowym komór procesowych. Pompy próżniowe są integralnymi elementami systemów Load Lock, tworząc i utrzymując warunki próżniowe niezbędne do przenoszenia płytek, minimalizując jednocześnie ryzyko zanieczyszczeń.
6. Metrologia i inspekcja: Pompy próżniowe są wykorzystywane w narzędziach metrologicznych i inspekcyjnych służących do charakteryzowania urządzeń półprzewodnikowych. Narzędzia te, takie jak skaningowe mikroskopy elektronowe (SEM) i systemy zogniskowanej wiązki jonów (FIB), często pracują w środowisku próżniowym, aby umożliwić obrazowanie o wysokiej rozdzielczości i dokładną analizę struktur i defektów półprzewodników.
7. Wykrywanie nieszczelności: Pompy próżniowe są wykorzystywane w systemach wykrywania nieszczelności do identyfikacji i lokalizacji nieszczelności w komorach próżniowych, liniach technologicznych i innych komponentach. Systemy te wykorzystują pompy próżniowe do opróżniania układu, a następnie monitorowania wzrostu ciśnienia, co wskazuje na obecność nieszczelności.
8. Kontrola środowiska w pomieszczeniu czystym: Zakłady produkujące półprzewodniki utrzymują środowisko w pomieszczeniu czystym, aby zapobiec zanieczyszczeniom podczas procesu produkcji. Pompy próżniowe są wykorzystywane w projektowaniu i obsłudze systemów wentylacji i filtracji w pomieszczeniu czystym, pomagając utrzymać wymagany poziom czystości powietrza poprzez usuwanie cząstek stałych i utrzymywanie kontrolowanych różnic ciśnień powietrza.
Pompy próżniowe stosowane w procesach produkcji półprzewodników są często wyspecjalizowane, aby sprostać rygorystycznym wymaganiom branży. Muszą zapewniać wysoki poziom próżni, precyzyjną kontrolę, niski poziom zanieczyszczeń i niezawodność umożliwiającą ciągłą pracę.
Pompy próżniowe są niezastąpione w produkcji półprzewodników, gdyż umożliwiają stworzenie niezbędnych warunków próżniowych dla różnych procesów, gwarantując produkcję wysokiej jakości układów półprzewodnikowych.
Jak pompy próżniowe wpływają na wydajność komór próżniowych?
Jeśli chodzi o wydajność komór próżniowych, pompy próżniowe odgrywają kluczową rolę. Oto szczegółowe wyjaśnienie:
Komory próżniowe to zamknięte przestrzenie zaprojektowane w celu stworzenia i utrzymania środowiska niskiego ciśnienia. Są one wykorzystywane w różnych gałęziach przemysłu i zastosowaniach naukowych, takich jak produkcja, badania i obróbka materiałów. Pompy próżniowe służą do usuwania powietrza i innych gazów z komory, tworząc próżnię lub stan niskiego ciśnienia. Wydajność komór próżniowych jest bezpośrednio uzależniona od charakterystyki i działania zastosowanych pomp próżniowych.
Oto kilka kluczowych sposobów, w jaki pompy próżniowe wpływają na wydajność komór próżniowych:
1. Osiąganie i utrzymywanie poziomu próżni: Podstawową funkcją pomp próżniowych jest tworzenie i utrzymywanie pożądanego poziomu próżni w komorze. Pompy próżniowe usuwają powietrze i inne gazy, zmniejszając ciśnienie w komorze. Wydajność i wydajność pompy próżniowej decydują o tym, jak szybko osiągany jest pożądany poziom próżni i jak skutecznie jest on utrzymywany. Wysokowydajne pompy próżniowe umożliwiają szybkie opróżnienie komory i utrzymanie pożądanego poziomu próżni, nawet w przypadku wycieków gazu lub ciągłej produkcji gazu w komorze.
2. Prędkość pompowania: Prędkość pompowania pompy próżniowej odnosi się do objętości gazu, jaką może ona usunąć z komory w jednostce czasu. Prędkość pompowania wpływa na szybkość, z jaką można opróżnić komorę, oraz czas potrzebny do osiągnięcia pożądanego poziomu próżni. Wyższa prędkość pompowania umożliwia szybsze opróżnianie i krótsze cykle, poprawiając ogólną wydajność komory próżniowej.
3. Poziom próżni końcowej: Poziom próżni końcowej to najniższe ciśnienie, jakie można osiągnąć w komorze. Zależy on od konstrukcji i wydajności pompy próżniowej. Pompy próżniowe wyższej jakości mogą osiągać niższe poziomy próżni końcowej, co jest istotne w zastosowaniach wymagających wyższych poziomów próżni lub w procesach wrażliwych na gazy resztkowe.
4. Wykrywanie wycieków i usuwanie gazu: Pompy próżniowe mogą również wspomagać wykrywanie wycieków i usuwanie gazu z komory. Dzięki ciągłemu opróżnianiu komory wszelkie wycieki lub przedostawanie się gazu mogą zostać szybko zidentyfikowane i usunięte. Zapewnia to utrzymanie pożądanego poziomu próżni w komorze i minimalizuje obecność zanieczyszczeń lub niepożądanych gazów.
5. Kontrola zanieczyszczeń: Niektóre pompy próżniowe, takie jak pompy z uszczelnieniem olejowym, wykorzystują płyny smarujące, które mogą wprowadzać zanieczyszczenia do komory. Zanieczyszczenia te mogą być niepożądane w niektórych zastosowaniach, takich jak produkcja półprzewodników czy badania. Dlatego należy rozważyć wybór pompy próżniowej i jej potencjalne zanieczyszczenie, aby utrzymać wymaganą czystość i higienę komory próżniowej.
6. Hałas i wibracje: Pompy próżniowe mogą generować hałas i wibracje podczas pracy, co może mieć wpływ na wydajność i użyteczność komory próżniowej. Nadmierny hałas lub wibracje mogą zakłócać delikatne eksperymenty, wpływać na dokładność pomiarów lub powodować naprężenia mechaniczne elementów komory. Wybór pomp próżniowych o niskim poziomie hałasu i wibracji jest ważny dla utrzymania optymalnej wydajności komory.
Należy pamiętać, że specyficzne wymagania i współczynniki wydajności komory próżniowej mogą się różnić w zależności od zastosowania. Różne typy pomp próżniowych, takie jak pompy łopatkowe, pompy suche czy pompy turbomolekularne, oferują zróżnicowane możliwości i funkcje, które odpowiadają konkretnym potrzebom. Wybór pompy próżniowej powinien uwzględniać takie czynniki, jak pożądany poziom próżni, prędkość pompowania, próżnia końcowa, kontrola zanieczyszczeń, poziom hałasu i wibracji oraz kompatybilność z materiałami komory i używanymi gazami.
Podsumowując, pompy próżniowe mają istotny wpływ na wydajność komór próżniowych. Umożliwiają one uzyskanie i utrzymanie pożądanego poziomu próżni, wpływają na prędkość pompowania i osiąganą próżnię końcową, wspomagają wykrywanie nieszczelności i usuwanie gazów oraz wpływają na kontrolę zanieczyszczeń. Staranny dobór pompy próżniowej zapewnia optymalną wydajność komory w różnych zastosowaniach.
Czym pompy próżniowe różnią się od sprężarek powietrza?
Pompy próżniowe i sprężarki powietrza to urządzenia mechaniczne służące do manipulowania powietrzem i gazem, ale ich przeznaczenie jest odwrotne. Oto szczegółowe wyjaśnienie różnic między nimi:
1. Funkcja:
– Pompy próżniowe: Pompy próżniowe służą do usuwania lub redukcji ciśnienia w układzie zamkniętym, tworząc próżnię lub środowisko niskiego ciśnienia. Usuwają powietrze lub gaz z komory, wytwarzając ssanie lub podciśnienie.
– Sprężarki powietrza: Sprężarki powietrza służą do zwiększania ciśnienia powietrza lub gazu. Pobierają powietrze lub gaz z otoczenia i sprężają je, co powoduje wzrost ciśnienia i zmniejszenie objętości powietrza lub gazu.
2. Zakres ciśnienia:
– Pompy próżniowe: Pompy próżniowe są w stanie generować ciśnienia poniżej ciśnienia atmosferycznego lub ciśnienia zerowego. Zakres ciśnień zazwyczaj sięga wartości ujemnych i jest wyrażany w jednostkach takich jak tor lub paskal.
– Sprężarki powietrza: Sprężarki powietrza natomiast działają w zakresie ciśnienia dodatniego. Zwiększają ciśnienie powyżej ciśnienia atmosferycznego, zazwyczaj mierzonego w jednostkach takich jak funty na cal kwadratowy (psi) lub bary.
3. Zastosowania:
– Pompy próżniowe: Pompy próżniowe mają różnorodne zastosowania, w których wymagane jest wytworzenie próżni lub środowiska niskiego ciśnienia. Są one wykorzystywane w procesach takich jak destylacja próżniowa, suszenie próżniowe, pakowanie próżniowe i filtracja próżniowa. Są również niezbędne w badaniach naukowych, produkcji półprzewodników, medycznych urządzeniach ssących i wielu innych gałęziach przemysłu.
– Sprężarki powietrza: Sprężarki powietrza znajdują zastosowanie wszędzie tam, gdzie potrzebne jest sprężone powietrze lub gaz pod wysokim ciśnieniem. Są one wykorzystywane w narzędziach pneumatycznych, procesach produkcyjnych, systemach klimatyzacyjnych, elektrowniach i pompowaniu opon. Sprężone powietrze jest wszechstronne i może być wykorzystywane w wielu zastosowaniach przemysłowych i komercyjnych.
4. Konstrukcja i mechanizm:
– Pompy próżniowe: Pompy próżniowe służą do wytwarzania próżni poprzez usuwanie powietrza lub gazu z układu zamkniętego. Mogą one wykorzystywać mechanizmy takie jak wyporność, uwięzienie lub przeniesienie pędu, aby osiągnąć pożądany poziom próżni. Przykładami typów pomp próżniowych są pompy łopatkowe, pompy membranowe i pompy dyfuzyjne.
– Sprężarki powietrza: Sprężarki powietrza są zaprojektowane do sprężania powietrza lub gazu, zwiększając jego ciśnienie i zmniejszając jego objętość. Wykorzystują mechanizmy takie jak tłoki posuwisto-zwrotne, śruby obrotowe lub siłę odśrodkową do sprężania powietrza lub gazu. Do popularnych typów sprężarek powietrza należą sprężarki tłokowe, sprężarki śrubowe i sprężarki odśrodkowe.
5. Kierunek przepływu powietrza/gazu:
– Pompy próżniowe: Pompy próżniowe zasysają powietrze lub gaz do pompy, a następnie wyrzucają je z układu, wytwarzając podciśnienie w komorze lub układzie, z którego przeprowadzana jest ewakuacja.
– Sprężarki powietrza: Sprężarki powietrza pobierają powietrze z otoczenia lub gaz i sprężają je, zwiększając jego ciśnienie, a następnie przechowują w zbiorniku lub dostarczają bezpośrednio do żądanego zastosowania.
Chociaż pompy próżniowe i sprężarki powietrza pełnią różne funkcje i działają w różnych zakresach ciśnienia, oba są niezbędne w różnych gałęziach przemysłu i zastosowaniach. Pompy próżniowe wytwarzają i utrzymują próżnię lub środowisko niskiego ciśnienia, natomiast sprężarki powietrza sprężają powietrze lub gaz do wyższych ciśnień, co jest przydatne w różnych zastosowaniach i procesach.
redaktor przez CX 2023-12-26
