Mô tả sản phẩm
Phạm vi ứng dụng và đặc điểm:
Công ty TNHH Greentech Quốc tế (Quận Tây Hồ) Chúng tôi là nhà cung cấp máy bơm chân không chuyên nghiệp. Máy bơm và máy nén chân không vòng nước dòng 2BE1 là những sản phẩm hiệu suất cao và tiết kiệm năng lượng, được sản xuất bởi công ty chúng tôi bằng cách tích hợp công nghệ tiên tiến của các sản phẩm nhập khẩu từ Đức.
Các sản phẩm thuộc dòng này sử dụng công nghệ CHINAMFG và cấu trúc tác động đơn, có nhiều ưu điểm như cấu trúc nhỏ gọn, bảo trì thuận tiện, vận hành đáng tin cậy, hiệu suất cao và tiết kiệm điện năng.
Các đặc điểm chính của sản phẩm dòng 2BE1:
Tất cả các vòng bi đều là sản phẩm nhập khẩu mang thương hiệu CHINAMFG hoặc NTN để đảm bảo độ định hướng chính xác và độ ổn định cao trong quá trình hoạt động của bơm.
Vật liệu chế tạo cánh quạt là gang dẻo QT400 hoặc thép không gỉ nhằm đảm bảo độ ổn định khi bơm hoạt động trong điều kiện khắc nghiệt và có thể kéo dài tuổi thọ của bơm.
Vỏ máy được làm bằng thép hoặc thép không gỉ để kéo dài tuổi thọ của máy bơm dòng 2BE1.
Ống lót trục được làm bằng thép không gỉ để tăng tuổi thọ của bơm lên gấp 5 lần so với vật liệu thông thường.
Puli truyền động dây đai chữ V (khi bơm được dẫn động bằng dây đai) sử dụng loại puli có độ chính xác cao với bạc lót côn để đảm bảo độ tin cậy của bơm và kéo dài tuổi thọ. Đồng thời, nó cũng dễ dàng lắp đặt và tháo dỡ.
Khớp nối này được sử dụng để dẫn động trực tiếp bơm. Phần linh hoạt nối hai nửa khớp nối được làm bằng polyurethane, giúp bơm hoạt động đáng tin cậy hơn.
Thiết kế độc đáo đặt bộ tách phía trên máy bơm giúp tiết kiệm không gian và giảm tiếng ồn hiệu quả.
Tất cả các bộ phận đều được đúc bằng cát nhựa, giúp bề mặt bơm rất nhẵn. Không cần phải phủ lớp bột trét lên bề mặt bơm và giúp tản nhiệt hiệu quả.
Các gioăng cơ khí (tùy chọn) được sử dụng trong các sản phẩm nhập khẩu để tránh rò rỉ khi bơm hoạt động trong thời gian dài.
| Kiểu | Tốc độ (Loại ổ đĩa) r/phút |
Công suất trục kW |
Công suất động cơ kW |
Động cơ kiểu |
Chân không hạn chế mbar |
Cân nặng (Toàn bộ bộ sưu tập) kg |
||
| Khả năng hút | ||||||||
| m³/h | m³/phút | |||||||
| 2BE1 151-0 | 1450(D) 1100(V) 1300(V) 1625(V) 1750(V) |
10.8 7.2 9.2 13.2 14.8 |
15 11 11 15 18.5 |
Y160L-4 Y160M-4 Y160M-4 Y160L-4 Y180M-4 |
33 mbar (-0,098MPa) |
405 300 360 445 470 |
6.8 5.0 6.0 7.4 7.8 |
469 428 444 469 503 |
| 2BE1 152-0 | 1450(D) 1100(V) 1300(V) 1625(V) 1750(V) |
12.5 8.3 10.5 15.0 17.2 |
15 11 15 18.5 22 |
Y160L-4 Y160M-4 Y160L-4 Y180M-4 Y180L-4 |
33 mbar (-0,098MPa) |
465 340 415 510 535 |
7.8 5.7 6.9 8.5 8.9 |
481 437 481 515 533 |
| 2BE1 153-0 | 1450(D) 1100(V) 1300(V) 1625(V) 1750(V) |
16.3 10.6 13.6 19.6 22.3 |
18.5 15 18.5 22 30 |
Y180M-4 Y160L-4 Y180M-4 Y180L-4 Y200L-4 |
33 mbar (-0,098MPa) |
600 445 540 660 700 |
10.0 7.4 9.0 11.0 11.7 |
533 480 533 551 601 |
| 2BE1 202-0 | 970(D) 790(V) 880(v) 1100(V) 1170(V) 1300(V) |
17 14 16 22 25 30 |
22 18.5 18.5 30 30 37 |
Y200L2-6 Y180M-4 Y180M-4 Y200L-4 Y200L-4 Y225S-4 |
33 mbar (-0,098MPa) |
760 590 670 850 890 950 |
12.7 9.8 11.2 14.2 14.8 15.8 |
875 850 850 940 945 995 |
| 2BE1 203-0 | 970(D) 790(V) 880(V) 1100(V) 1170(V) 1300(V) |
27 20 23 33 37 45 |
37 30 30 45 45 55 |
Y250M-6 Y200L-4 Y200L-4 Y225M-4 Y225M-4 Y250M-4 |
33 mbar (-0,098MPa) |
1120 880 1000 1270 1320 1400 |
18.7 14.7 16.7 21.2 22.0 23.3 |
1065 995 995 1080 1085 1170 |
| 2BE1 252-0 | 740(D) 558(V) 660(V) 832(V) 885(V) 938(V) |
38 26 31.8 49 54 60 |
45 30 37 55 75 75 |
Y280M-8 Y200L-4 Y225S-4 Y250M-4 Y280S-4 Y280S-4 |
33 mbar (-0,098MPa) |
1700 1200 1500 1850 2000 2100 |
28.3 20.0 25.0 30.8 33.3 35.0 |
1693 1460 1515 1645 1805 1805 |
| 2BE1 253-0 | 740(D) 560(V) 660(V) 740(V) 792(V) 833(V) 885(V) 938(V) |
54 37 45 54 60 68 77 86 |
75 45 55 75 75 90 90 110 |
Y315M-8 Y225M-4 Y250M-4 Y280S-4 Y280S-4 Y280M-4 Y280M-4 Y315S-4 |
33 mbar (-0,098MPa) |
2450 1750 2140 2450 2560 2700 2870 3571 |
40.8 29.2 35.7 40.8 42.7 45.0 47.8 50.3 |
2215 1695 1785 1945 1945 2055 2060 2295 |
| 2BE1 303-0 | 740(D) 590(D) 466(V) 521(V) 583(V) 657(V) 743(V) |
98 65 48 54 64 78 99 |
110 75 55 75 75 90 132 |
Y315L2-8 Y315L2-10 Y250M-4 Y280S-4 Y280S-4 Y280M-4 Y315M-4 |
33 mbar (-0,098MPa) |
4000 3200 2500 2800 3100 3580 4000 |
66.7 53.3 41.7 46.7 51.7 59.7 66.7 |
3200 3200 2645 2805 2810 2925 3290 |
| 2BE1 305-1 2BE1 306-1 |
740(D) 590(D) 490(V) 521(V) 583(V) 657(V) 743(V) |
102 70 55 59 68 84 103 |
132 90 75 75 90 110 132 |
Y355M1-8 Y355M1-10 Y280S-4 Y280S-4 Y280M-4 Y315S-4 Y315M-4 |
160 mbar (-0,085MPa) |
4650 3750 3150 3320 3700 4130 4650 |
77.5 62.5 52.5 55.3 61.2 68.8 77.5 |
3800 3800 2950 3000 3100 3300 3450 |
| 2BE1 353-0 | 590(D) 390(V) 415(V) 464(V) 520(V) 585(V) 620(V) 660(V) |
121 65 70 81 97 121 133 152 |
160 75 90 110 132 160 160 185 |
Y355L2-10 Y280S-4 Y280M-4 Y315S-4 Y315M-4 Y315L1-4 Y315L1-4 Y315L2-4 |
33 mbar (-0,098MPa) |
5300 3580 3700 4100 4620 5200 5500 5850 |
88.3 59.7 61.7 68.3 77.0 86.7 91.7 97.5 |
4750 3560 3665 3905 4040 4100 4100 4240 |
| 2BE1 355-1 2BE1 356-1 |
590(D) 390(V) 435(V) 464(V) 520(V) 555(V) 585(V) 620(V) |
130 75 86 90 102 115 130 145 |
160 90 110 110 132 132 160 185 |
Y355L2-10 Y280M-4 Y315S-4 Y315S-4 Y315M-4 Y315M-4 Y315L1-4 Y315L2-4 |
160 mbar (-0,085MPa) |
6200 4180 4600 4850 5450 5800 6100 6350 |
103.3 69.7 76.7 80.8 90.8 98.3 101.7 105.8 |
5000 3920 4150 4160 4290 4300 4350 4450 |
| 2BE1 403-0 | 330(V) 372(V) 420(V) 472(V) 530(V) 565(V) |
97 110 131 160 203 234 |
132 132 160 200 250 280 |
Y315M-4 Y315M-4 Y315L1-4 Y315L2-4 Y355M2-4 Y355L1-4 |
33 mbar (-0,098MPa) |
5160 5700 6470 7380 8100 8600 |
86.0 95.0 107.8 123.0 135.0 143.3 |
5860 5870 5950 6190 6630 6800 |
| 2BE1 405-1 2BE1 406-1 |
330(V) 372(V) 420(V) 472(V) 530(V) 565(V) |
100 118 140 170 206 235 |
132 160 185 200 250 280 |
Y315M-4 Y315L1-4 Y315L2-4 Y315L2-4 Y355M2-4 Y355L1-4 |
160 mbar (-0,085MPa) |
6000 6700 7500 8350 9450 15710 |
100.0 111.7 125.0 139.2 157.5 168.3 |
5980 6070 6200 6310 6750 6920 |
/* 10 tháng 3 năm 2571 17:59:20 */!function(){function s(e,r){var a,o={};try{e&&e.split(“,”).forEach(function(e,t){e&&(a=e.match(/(.*?):(.*)$/))&&1
| Dầu hay không: | Không dầu |
|---|---|
| Kết cấu: | Bơm chân không quay |
| Phương pháp hút chân không: | Bơm chân không động năng |
| Độ chân không: | Chân không cao |
| Chức năng công việc: | Bơm hút sơ bộ |
| Điều kiện làm việc: | Ướt |
| Tùy chỉnh: |
Có sẵn
|
|
|---|
Vai trò của bơm chân không trong sản xuất chất bán dẫn là gì?
Máy bơm chân không đóng vai trò cực kỳ quan trọng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn. Dưới đây là giải thích chi tiết:
Sản xuất chất bán dẫn bao gồm việc sản xuất các mạch tích hợp (IC) và các thiết bị bán dẫn khác được sử dụng trong nhiều ứng dụng điện tử. Máy bơm chân không được sử dụng rộng rãi trong suốt quá trình sản xuất chất bán dẫn để tạo ra và duy trì điều kiện chân không cần thiết cho các bước sản xuất cụ thể.
Dưới đây là một số vai trò quan trọng của bơm chân không trong sản xuất chất bán dẫn:
1. Các quy trình lắng đọng: Máy bơm chân không được sử dụng trong các quy trình lắng đọng như lắng đọng hơi vật lý (PVD) và lắng đọng hơi hóa học (CVD). Các quy trình này bao gồm việc lắng đọng các lớp màng mỏng vật liệu lên các tấm bán dẫn để tạo ra các lớp và hoa văn khác nhau. Máy bơm chân không giúp tạo ra môi trường áp suất thấp cần thiết để kiểm soát chính xác quá trình lắng đọng, đảm bảo sự hình thành màng đồng nhất và chất lượng cao.
2. Khắc và Làm sạch: Máy bơm chân không được sử dụng trong các quy trình khắc và làm sạch, bao gồm việc loại bỏ các lớp hoặc chất gây ô nhiễm cụ thể khỏi các tấm bán dẫn. Các kỹ thuật khắc khô, chẳng hạn như khắc plasma và khắc ion phản ứng, yêu cầu môi trường chân không để tạo điều kiện thuận lợi cho quá trình ion hóa và loại bỏ vật liệu. Máy bơm chân không giúp tạo ra các điều kiện áp suất thấp cần thiết cho các quy trình khắc và làm sạch hiệu quả.
3. Cấy ion: Cấy ion là một quy trình được sử dụng để đưa các tạp chất vào các vùng cụ thể của tấm bán dẫn nhằm thay đổi các đặc tính điện của nó. Máy bơm chân không được sử dụng để hút chân không buồng cấy ion, tạo ra môi trường chân không cần thiết cho việc gia tốc và cấy chùm ion một cách chính xác và có kiểm soát.
4. Xử lý và vận chuyển wafer: Máy bơm chân không được sử dụng trong hệ thống xử lý và vận chuyển wafer. Các hệ thống này sử dụng lực hút chân không để giữ và thao tác các wafer bán dẫn một cách an toàn trong các bước sản xuất khác nhau, chẳng hạn như nạp và dỡ wafer từ buồng xử lý, vận chuyển bằng robot giữa các thiết bị và căn chỉnh wafer.
5. Hệ thống khóa tải: Hệ thống khóa tải được sử dụng để chuyển các tấm bán dẫn giữa điều kiện khí quyển và môi trường chân không của buồng xử lý. Bơm chân không là thành phần không thể thiếu của hệ thống khóa tải, tạo ra và duy trì điều kiện chân không cần thiết cho việc chuyển tấm bán dẫn đồng thời giảm thiểu rủi ro ô nhiễm.
6. Đo lường và Kiểm tra: Máy bơm chân không được sử dụng trong các công cụ đo lường và kiểm tra dùng để đặc trưng hóa các thiết bị bán dẫn. Các công cụ này, chẳng hạn như kính hiển vi điện tử quét (SEM) và hệ thống chùm ion hội tụ (FIB), thường hoạt động trong môi trường chân không để cho phép chụp ảnh độ phân giải cao và phân tích chính xác cấu trúc và khuyết tật của chất bán dẫn.
7. Phát hiện rò rỉ: Máy bơm chân không được sử dụng trong các hệ thống phát hiện rò rỉ để xác định và định vị các điểm rò rỉ trong buồng chân không, đường ống xử lý và các bộ phận khác. Các hệ thống này dựa vào máy bơm chân không để hút chân không hệ thống và sau đó theo dõi sự tăng áp suất, cho thấy sự hiện diện của rò rỉ.
8. Kiểm soát môi trường phòng sạch: Các nhà máy sản xuất chất bán dẫn duy trì môi trường phòng sạch để ngăn ngừa ô nhiễm trong quá trình chế tạo. Máy bơm chân không được sử dụng trong thiết kế và vận hành hệ thống thông gió và lọc khí của phòng sạch, giúp duy trì mức độ sạch không khí cần thiết bằng cách loại bỏ các hạt bụi và duy trì sự chênh lệch áp suất không khí được kiểm soát.
Máy bơm chân không được sử dụng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn thường được chuyên dụng để đáp ứng các yêu cầu khắt khe của ngành. Chúng cần cung cấp mức độ chân không cao, điều khiển chính xác, mức độ ô nhiễm thấp và độ tin cậy để hoạt động liên tục.
Nhìn chung, máy bơm chân không là thiết bị không thể thiếu trong sản xuất chất bán dẫn, cho phép tạo ra các điều kiện chân không cần thiết cho nhiều quy trình khác nhau, đảm bảo sản xuất các thiết bị bán dẫn chất lượng cao.
Máy bơm chân không ảnh hưởng đến hiệu suất của buồng chân không như thế nào?
Đối với hiệu suất của buồng chân không, bơm chân không đóng vai trò cực kỳ quan trọng. Dưới đây là giải thích chi tiết:
Buồng chân không là những không gian kín được thiết kế để tạo ra và duy trì môi trường áp suất thấp. Chúng được sử dụng trong nhiều ngành công nghiệp và ứng dụng khoa học khác nhau, chẳng hạn như sản xuất, nghiên cứu và xử lý vật liệu. Máy bơm chân không được sử dụng để hút không khí và các khí khác ra khỏi buồng, tạo ra điều kiện chân không hoặc áp suất thấp. Hiệu suất của buồng chân không bị ảnh hưởng trực tiếp bởi các đặc tính và hoạt động của máy bơm chân không được sử dụng.
Dưới đây là một số cách chính mà bơm chân không ảnh hưởng đến hiệu suất của buồng chân không:
1. Tạo và duy trì mức độ chân không: Chức năng chính của bơm chân không là tạo ra và duy trì mức độ chân không mong muốn bên trong buồng. Bơm chân không loại bỏ không khí và các khí khác, làm giảm áp suất bên trong buồng. Hiệu suất và công suất của bơm chân không quyết định tốc độ đạt được mức độ chân không mong muốn và khả năng duy trì nó. Bơm chân không hiệu suất cao có thể nhanh chóng hút hết không khí trong buồng và duy trì mức độ chân không mong muốn ngay cả khi có rò rỉ khí hoặc khí liên tục được tạo ra bên trong buồng.
2. Tốc độ bơm: Tốc độ bơm của máy bơm chân không đề cập đến thể tích khí mà nó có thể hút ra khỏi buồng chân không trên mỗi đơn vị thời gian. Tốc độ bơm ảnh hưởng đến tốc độ hút chân không và thời gian cần thiết để đạt được mức độ chân không mong muốn. Tốc độ bơm cao hơn cho phép hút chân không nhanh hơn và thời gian chu kỳ ngắn hơn, cải thiện hiệu quả tổng thể của buồng chân không.
3. Mức độ chân không tối đa: Mức độ chân không tối đa là áp suất thấp nhất có thể đạt được trong buồng. Nó phụ thuộc vào thiết kế và hiệu suất của bơm chân không. Bơm chân không chất lượng cao hơn có thể đạt được mức độ chân không tối đa thấp hơn, điều này rất quan trọng đối với các ứng dụng yêu cầu mức độ chân không cao hơn hoặc đối với các quy trình nhạy cảm với khí dư.
4. Phát hiện rò rỉ và loại bỏ khí: Máy bơm chân không cũng có thể hỗ trợ phát hiện rò rỉ và loại bỏ khí bên trong buồng. Bằng cách liên tục hút chân không buồng, bất kỳ chỗ rò rỉ hoặc khí xâm nhập nào cũng có thể được xác định và xử lý kịp thời. Điều này đảm bảo buồng duy trì mức độ chân không mong muốn và giảm thiểu sự hiện diện của chất gây ô nhiễm hoặc khí không mong muốn.
5. Kiểm soát ô nhiễm: Một số bơm chân không, chẳng hạn như bơm kín dầu, sử dụng chất bôi trơn có thể đưa chất gây ô nhiễm vào buồng chân không. Những chất gây ô nhiễm này có thể không mong muốn đối với một số ứng dụng nhất định, chẳng hạn như sản xuất chất bán dẫn hoặc nghiên cứu. Do đó, cần xem xét lựa chọn bơm chân không và khả năng đưa chất gây ô nhiễm của nó để duy trì độ sạch và tinh khiết cần thiết của buồng chân không.
6. Tiếng ồn và độ rung: Máy bơm chân không có thể tạo ra tiếng ồn và độ rung trong quá trình hoạt động, điều này có thể ảnh hưởng đến hiệu suất và khả năng sử dụng của buồng chân không. Tiếng ồn hoặc độ rung quá mức có thể gây cản trở các thí nghiệm tinh tế, ảnh hưởng đến độ chính xác của phép đo hoặc gây ra ứng suất cơ học lên các bộ phận của buồng. Việc lựa chọn máy bơm chân không có độ ồn và độ rung thấp rất quan trọng để duy trì hiệu suất tối ưu của buồng.
Điều quan trọng cần lưu ý là các yêu cầu cụ thể và các yếu tố hiệu suất của buồng chân không có thể khác nhau tùy thuộc vào ứng dụng. Các loại bơm chân không khác nhau, chẳng hạn như bơm cánh quay, bơm khô hoặc bơm turbomolecular, cung cấp các khả năng và tính năng khác nhau để đáp ứng các nhu cầu cụ thể. Việc lựa chọn bơm chân không cần xem xét các yếu tố như mức độ chân không mong muốn, tốc độ bơm, độ chân không cuối cùng, kiểm soát ô nhiễm, mức độ tiếng ồn và độ rung, và khả năng tương thích với vật liệu buồng và khí được sử dụng.
Tóm lại, bơm chân không có tác động đáng kể đến hiệu suất của buồng chân không. Chúng cho phép tạo ra và duy trì mức độ chân không mong muốn, ảnh hưởng đến tốc độ bơm và độ chân không cuối cùng đạt được, hỗ trợ phát hiện rò rỉ và loại bỏ khí, đồng thời ảnh hưởng đến việc kiểm soát ô nhiễm. Việc lựa chọn bơm chân không cẩn thận đảm bảo hiệu suất tối ưu của buồng chân không cho các ứng dụng khác nhau.
Máy bơm chân không khác với máy nén khí như thế nào?
Máy bơm chân không và máy nén khí đều là các thiết bị cơ khí được sử dụng để điều khiển không khí và khí, nhưng chúng phục vụ các mục đích trái ngược nhau. Dưới đây là giải thích chi tiết về sự khác biệt giữa chúng:
1. Chức năng:
– Bơm chân không: Bơm chân không được thiết kế để loại bỏ hoặc giảm áp suất bên trong một hệ thống kín, tạo ra môi trường chân không hoặc áp suất thấp. Chúng hút không khí hoặc khí ra khỏi buồng, tạo ra lực hút hoặc áp suất âm.
– Máy nén khí: Ngược lại, máy nén khí được sử dụng để tăng áp suất của không khí hoặc khí. Chúng hút không khí hoặc khí xung quanh và nén lại, dẫn đến áp suất cao hơn và thể tích không khí hoặc khí được nén chặt hơn.
2. Phạm vi áp suất:
– Bơm chân không: Bơm chân không có khả năng tạo ra áp suất thấp hơn áp suất khí quyển hoặc áp suất tuyệt đối bằng không. Phạm vi áp suất thường mở rộng đến phạm vi âm, được biểu thị bằng các đơn vị như torr hoặc pascal.
– Máy nén khí: Ngược lại, máy nén khí hoạt động trong phạm vi áp suất dương. Chúng làm tăng áp suất lên trên áp suất khí quyển, thường được đo bằng các đơn vị như pound trên inch vuông (psi) hoặc bar.
3. Ứng dụng:
– Máy bơm chân không: Máy bơm chân không có nhiều ứng dụng trong việc tạo ra môi trường chân không hoặc áp suất thấp. Chúng được sử dụng trong các quy trình như chưng cất chân không, sấy chân không, đóng gói chân không và lọc chân không. Chúng cũng rất cần thiết trong nghiên cứu khoa học, sản xuất chất bán dẫn, thiết bị hút y tế và nhiều ngành công nghiệp khác.
– Máy nén khí: Máy nén khí được ứng dụng trong các lĩnh vực cần khí nén hoặc khí ở áp suất cao. Chúng được sử dụng trong các dụng cụ khí nén, quy trình sản xuất, hệ thống điều hòa không khí, phát điện và bơm lốp xe. Khí nén rất đa năng và có thể được sử dụng trong nhiều ứng dụng công nghiệp và thương mại.
4. Thiết kế và Cơ chế:
– Bơm chân không: Bơm chân không được thiết kế để tạo ra chân không bằng cách hút không khí hoặc khí ra khỏi một hệ thống kín. Chúng có thể sử dụng các cơ chế như dịch chuyển tích cực, giữ lại hoặc truyền động lượng để đạt được mức độ chân không mong muốn. Ví dụ về các loại bơm chân không bao gồm bơm cánh quay, bơm màng và bơm khuếch tán.
– Máy nén khí: Máy nén khí được thiết kế để nén không khí hoặc khí, làm tăng áp suất và giảm thể tích. Chúng sử dụng các cơ chế như piston chuyển động tịnh tiến, trục vít quay hoặc lực ly tâm để nén không khí hoặc khí. Các loại máy nén khí phổ biến bao gồm máy nén khí piston, máy nén khí trục vít quay và máy nén khí ly tâm.
5. Hướng dòng khí/khí:
– Bơm chân không: Bơm chân không hút không khí hoặc khí vào bơm rồi đẩy chúng ra khỏi hệ thống, tạo ra chân không bên trong buồng hoặc hệ thống cần được hút chân không.
– Máy nén khí: Máy nén khí hút không khí hoặc khí từ môi trường xung quanh, nén chúng lại, tăng áp suất và lưu trữ trong bình chứa hoặc cung cấp trực tiếp đến ứng dụng mong muốn.
Mặc dù máy bơm chân không và máy nén khí có chức năng khác nhau và hoạt động trong các phạm vi áp suất khác nhau, cả hai đều rất quan trọng trong nhiều ngành công nghiệp và ứng dụng. Máy bơm chân không tạo ra và duy trì môi trường chân không hoặc áp suất thấp, trong khi máy nén khí nén không khí hoặc khí đến áp suất cao hơn cho các mục đích và quy trình khác nhau.
Biên tập bởi CX 2023-12-26
