웨이퍼 영역 세척용 석영 챔버 진공 플라즈마 클리너
상품 설명:
10L 플라즈마 세척기는 소형이며 세척 대상물에 손상을 주지 않는 세척 장치입니다. 이 플라즈마 세척기는 낮은 공기압을 이용하여 플라즈마를 발생시켜 세척 매체로 사용하므로, 액체 세척 매체로 인한 CZPT 오염을 효과적으로 방지합니다. 시스템에는 기계식 진공 펌프가 장착되어 있어, 진공 펌프를 통해 세척실 내부의 진공 상태를 유지하는 동시에 플라즈마 반응 후 발생하는 오염 물질도 제거할 수 있습니다. 따라서 단시간 내에 오염 물질을 완벽하게 제거할 수 있습니다.
이 소형 플라즈마 세척기는 세척 기능 외에도 특정 조건에 따라 재료의 표면 특성을 변경할 수 있습니다. 세척 과정에서 이 소형 플라즈마 세척기의 글로우 방전은 재료의 접착력, 호환성 및 습윤성을 향상시킬 뿐만 아니라 재료를 소독하고 살균합니다.
응용 분야:
소형 플라즈마 세척기는 광학, 광전자공학, 전자공학, 소모품 과학, 생활 과학, 고분자 과학, 생물 의학 및 미세유체학 분야에서 흔히 사용됩니다.
CZPT 매개변수:
| 주요 부분 | 제품 | 매개변수 |
| 챔버 청소 | 챔버 물질 | 고순도 석영 |
| 챔버 크기 | 지름 200mm, 길이 340mm | |
| RF 전력 공급 | 전력 공급 특성 | 이 전원 공급 장치는 완전 고체형 RF 전원 공급 장치로, 높은 안전성과 신뢰성을 갖춘 전력 증폭기 모듈과 DC 모듈을 채택하여 전원 공급 장치의 RF 전력 출력을 효율적으로 보장합니다. 또한 고품질 디지털 부품을 사용하여 제품의 신뢰성을 확보했습니다. |
| 에너지 이점 | 장시간 소요되는 일반적인 절차 간편하고 다용도적인 작동 높은 전력 공급 효율과 낮은 발열량을 자랑합니다. 최상의 반사 전력 보호 기능으로 작동합니다. |
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| RF 전기 전력 | 약 300W로 지속적으로 조절 가능 | |
| 신호 주파수 | 13.56MHz ±0.005% | |
| 미러링 파워 | ≤100W | |
| 전기 균형 | ±0.% | |
| RF 커넥터 | N형 커넥터 | |
| CZPT 효과 | ≥75% | |
| 고조파 성분 | ≤-50dBc | |
| 냉각 전략 | 가압 공기 냉각 | |
| 연료 측정 | 측정 단위 | 플로트 유량계 |
| 연료 채널 | 두 채널 | |
| 다양한 채널 | 10~100ml | |
| B 채널 선택 | 16~160ml | |
| 진공 | 진공 측정 | 디지털 진공 게이지(저항 게이지) |
| 진공 펌프 | 2상 회전식 베인 진공 펌프 | |
| 운동 속도 | 50Hz: 1440, 60Hz: 1720 | |
| 펌핑 수수료 | 50Hz: 1.1L/s 60Hz: 1.3L/s | |
| 진공 포장 | 0.1Pa~10000Pa | |
| 궁극의 진공청소기 | 0.5Pa | |
| 모터 소리 | ≤56dB | |
| 파이프 인터페이스 | 가솔린 유입구: KF16 배기 포트 KF16. | |
| 연결 파이프 | KF16 진공 벨로우즈 | |
| 진공 밸브 | 솔레노이드 밸브 | |
| 모터 전기 | 400와트 | |
| 다른 사람들 | 에너지 제공 | AC220V 50/60Hz |
| 완전한 에너지 | 800와트 | |
| 작동 온도 | -10ºC~40ºC | |
| 작동하는 진공청소기 | ≤40Pa | |
| 전체 크기 | 600mm×650mm×560mm | |
| 전체 무게 | 80kg (포장 포함) |
관련 사진
질문: 귀사는 제조업체입니까, 아니면 구매 및 판매 조직입니까?
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