Máy làm sạch bề mặt wafer bằng plasma chân không buồng thạch anh

Quartz Chamber Vacuum Plasma Cleaner for Wafer Surface Cleaning

Máy làm sạch plasma chân không buồng thạch anh để làm sạch khu vực bán dẫn.

Mô tả sản phẩm:
Máy làm sạch plasma 10L là một thiết bị làm sạch nhỏ gọn, không gây hư hại. Máy làm sạch plasma sử dụng áp suất không khí thấp để tạo ra plasma làm môi trường làm sạch, do đó tránh được ô nhiễm do chất lỏng làm sạch gây ra cho vật cần làm sạch. Hệ thống được trang bị bơm chân không cơ học, trong khi hút chân không duy trì độ chân không trong buồng, các chất gây ô nhiễm sau phản ứng plasma cũng được bơm ra ngoài bằng bơm chân không, do đó, quá trình làm sạch ngắn hạn có thể loại bỏ hoàn toàn các chất gây ô nhiễm tự nhiên.

Ngoài chức năng làm sạch, máy làm sạch plasma nhỏ gọn này còn có thể thay đổi các đặc tính bề mặt của một số vật liệu theo yêu cầu trong các điều kiện cụ thể. Trong quá trình làm sạch, sự phóng điện phát sáng của máy làm sạch plasma nhỏ gọn không chỉ tăng cường độ bám dính, khả năng tương thích và khả năng thấm ướt của các vật liệu này, mà còn khử trùng và tiệt trùng chúng.

Ứng dụng:
Các thiết bị làm sạch plasma cỡ nhỏ thường được sử dụng trong các lĩnh vực quang học, quang điện tử, điện tử, khoa học vật tư, khoa học đời sống thường nhật, khoa học polymer, y sinh học và vi lưu chất.

Thông số CZPT:

Các bộ phận chính Sản phẩm Thông số
Làm sạch buồng Chất trong buồng Thạch anh tinh khiết cao
  Kích thước buồng Đường kính 200 mm, chiều dài 340 mm
Cung cấp nguồn điện RF Các thuộc tính của nguồn điện Nguồn cấp năng lượng là nguồn điện RF hoàn toàn bằng chất bán dẫn, sử dụng mô-đun khuếch đại công suất có độ an toàn và độ tin cậy cao cùng mô-đun DC, đảm bảo hiệu quả công suất đầu ra RF của nguồn cấp năng lượng. Các linh kiện điện tử chất lượng cao được sử dụng để đảm bảo độ tin cậy của sản phẩm.
  lợi thế năng lượng Quy trình điển hình kéo dài
Vận hành đơn giản và linh hoạt
Hiệu suất nguồn điện cao và khả năng sinh nhiệt thấp.
Với khả năng bảo vệ phản xạ tốt nhất, hoạt động hiệu quả.
  Công suất điện RF Công suất ~300W có thể điều chỉnh liên tục
  Tần số tín hiệu mười ba,56MHz ±0,005%
  Sức mạnh phản chiếu ≤100W
  Cân bằng điện ±0,%
  Đầu nối RF Đầu nối loại N
  Hiệu quả của CZPT ≥75%
  Thành phần hài hòa ≤-năm mươi dBc
  chiến lược làm mát Làm mát bằng khí nén
Đo nhiên liệu Đơn vị đo lường Lưu lượng kế phao
  Kênh nhiên liệu Hai kênh
  Nhiều kênh khác nhau 10~100ml
  Lựa chọn kênh B 16~160ml
Chân không Đo chân không Đồng hồ đo áp suất chân không kỹ thuật số (đồng hồ đo điện trở)
  Bơm chân không Bơm chân không cánh quay hai pha
  Tốc độ động cơ 50 Hz: 1440 60 Hz: 1720
  Phí bơm 50 Hz: 1,1 L/s 60 Hz: 1,3 L/s
  Các loại máy hút bụi .1Pa~10000Pa
  Máy hút bụi tối thượng 0,5 Pa
  Âm thanh động cơ ≤56dB
  Giao diện đường ống Cửa nạp xăng: Cổng xả KF16.
  Ống nối Ống thổi chân không KF16
  Van chân không Van điện từ
  Động cơ điện 400W
Những cá nhân khác Ưu đãi năng lượng AC220V 50/60Hz
  Năng lượng hoàn chỉnh 800W
  Nhiệt độ hoạt động -10ºC- 40ºC
  Máy hút bụi hoạt động tốt ≤40Pa
  Tổng kích thước 600mm×650mm×560mm
  Tổng trọng lượng 80kg (bao gồm cả bao bì)

Ảnh liên quan

Hỏi: Bạn là nhà sản xuất hay tổ chức mua bán?

MỘT. Chúng tôi là nhà sản xuất thiết bị phòng thí nghiệm chuyên nghiệp, có đội ngũ thiết kế và chế tạo riêng, sở hữu kinh nghiệm công nghệ lâu năm, đảm bảo chất lượng cao của sản phẩm và giá cả tốt nhất.

Hỏi: Chiến lược dịch vụ theo dõi doanh thu hàng hóa của công ty bạn như thế nào?

MỘT. Thời gian bảo hành sản phẩm là 12 tháng, chúng tôi cung cấp dịch vụ bảo trì trọn đời. Chúng tôi có bộ phận tư vấn trước và sau bán hàng chuyên nghiệp, có thể phản hồi trong vòng 24 giờ để giải quyết mọi vấn đề phức tạp.

Hỏi: Thời gian giao hàng của bạn mất bao lâu? Nếu tôi muốn cá nhân hóa nhạc cụ, thì sẽ mất bao lâu?

MỘT.1. Nếu hàng có sẵn trong kho, thời gian sản xuất gấp 5-10 lần. 2. Chúng tôi có thể cung cấp giải pháp CZPT cho khách hàng. Thông thường, thời gian sản xuất gấp 30-60 lần tùy thuộc vào thông số kỹ thuật của thiết bị đặt làm riêng.

Hỏi: Nguồn điện và phích cắm điện ở nước ta rất đa dạng. Làm thế nào để khắc phục điều này?

MỘT. Chúng tôi có thể cung cấp máy biến áp và phích cắm phù hợp với nhu cầu khu vực của bạn, dựa trên tiêu chuẩn phích cắm điện của các quốc gia khác nhau.

Hỏi: Làm thế nào để thanh toán?

MỘT.T/T, L/C, D/P và nhiều hình thức khác, chúng tôi khuyên bạn nên sử dụng Bảo lãnh CZPT của Alibaba.

Hỏi: Gói hàng hóa bao gồm những gì? Phương thức giao hàng như thế nào?

MỘT.1. Đóng gói bằng thùng gỗ có tem tín hiệu khử trùng xuất khẩu thông thường. 2. Vận chuyển cụ thể bằng đường hàng không hoặc đường biển theo yêu cầu của người mua, tìm ra phương thức tối ưu nhất.

 Nếu còn nhiều câu hỏi khác, hãy liên hệ với bộ phận hỗ trợ khách hàng.

 

Quartz Chamber Vacuum Plasma Cleaner for Wafer Surface Cleaning

Từ khóa: