用于晶圆表面清洗的石英腔真空等离子清洗机

Quartz Chamber Vacuum Plasma Cleaner for Wafer Surface Cleaning

用于晶圆区域清洗的石英腔室真空等离子清洗机

商品描述:
10升等离子清洗机是一款结构紧凑、无损的清洗设备。该清洗机利用低气压激发等离子体作为清洗介质,从而有效避免了液体清洗介质对被清洗物体造成的腐蚀性污染。系统配备机械真空泵,在维持腔室真空的同时,真空泵还能将等离子体反应后产生的污染物抽走,因此,短时清洗即可彻底清除天然污染物。

除了清洁功能外,这款小型等离子清洗机还能根据特定条件下的要求,改变某些材料的表面特性。在清洁过程中,小型等离子清洗机的放电不仅能增强这些材料的附着力、相容性和润湿性,还能对材料进行消毒和灭菌。

应用领域:
小型等离子清洗机广泛应用于光学、光电子学、电子学、耗材科学、日常生活科学、聚合物科学、生物医学和微流体学等领域。

CZPT参数:

主要部件 产品 参数
清洁腔室 腔室物质 高纯度石英
  腔室尺寸 直径 200 毫米,长度 340 毫米
射频电源 电力供应属性 该电源采用全固态射频电源,并配备高安全性、高可靠性的功率放大器模块和直流模块,有效保证了电源的射频功率输出。此外,还使用了高品质的电子元件,以确保产品的可靠性。
  能源优势 耗时较长的典型程序
操作简便灵活。
电源效率高,发热量低
具有最佳反射功率保护功能
  射频电功率 功率约300瓦,可连续调节
  信号频率 13.56MHz ±0.005%
  镜像功率 ≤100W
  电力平衡 ±0.1%
  射频连接器 N型连接器
  CZPT 的有效性 ≥75%
  谐波分量 ≤-50 dBc
  冷却策略 压力空气冷却
燃料计量 计量单位 浮球式流量计
  燃料通道 两个通道
  频道种类 10~100毫升
  B通道选择 16~160毫升
真空 真空测量 数字真空计(电阻式真空计)
  真空泵 两相旋片式真空泵
  汽车速度 50赫兹:1440 60赫兹:1720
  抽水费 50 Hz:1.1升/秒;60 Hz:1.3升/秒
  真空分类 0.1帕~10000帕
  终极真空 0.5帕
  马达声 ≤56dB
  管道接口 汽油入口:KF16 排气口 KF16。
  连接管 KF16真空波纹管
  真空阀 电磁阀
  电机电气 400瓦
其他个人 能源供应 交流220伏 50/60赫兹
  完全能量 800瓦
  工作温度 -10℃至40℃
  功能性真空 ≤40Pa
  总尺寸 600毫米×650毫米×560毫米
  总重量 80公斤(含包装)

相关照片

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Quartz Chamber Vacuum Plasma Cleaner for Wafer Surface Cleaning

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