ウェーハ領域洗浄用石英チャンバー真空プラズマクリーナー
商品の説明:
10Lプラズマクリーナーは、コンパクトで環境に優しい洗浄ユニットです。低気圧を利用してプラズマを洗浄媒体として励起することで、液体洗浄媒体が洗浄対象物に及ぼすCZPT汚染を効果的に防止します。本システムは機械式真空ポンプを搭載しており、チャンバー内の真空状態を維持すると同時に、プラズマ反応後の汚染物質も真空ポンプで排出されます。そのため、短時間の洗浄で自然由来の汚染物質を完全に除去できます。
この小型プラズマクリーナーは、洗浄機能に加え、特定の問題における要件に応じて、一部の材料の表面特性を変化させることができます。洗浄プロセス中、小型プラズマクリーナーのグロー放電は、これらの材料の接着性、適合性、濡れ性を向上させるだけでなく、材料を消毒・滅菌します。
用途:
中程度のプラズマクリーナーは、光学、光エレクトロニクス、エレクトロニクス、サプライ科学、日常生活科学、ポリマー科学、生物医学、マイクロ流体工学の分野で一般的に使用されています。
CZPTパラメータ:
| 主要部品 | 製品 | パラメータ |
| チャンバーの清掃 | チャンバー物質 | 高純度クォーツ |
| チャンバーサイズ | 直径200 mm 長さ340 mm | |
| RF電力供給 | 電力供給属性 | 電源はオールソリッドステートRF電源で、高安全性と高信頼性を備えたパワーアンプモジュールとDCモジュールを採用し、電源のRF出力を効率的に保証します。製品の信頼性を確保するために、高品質のデジタル部品が使用されています。 |
| エネルギーの優位性 | 長時間の典型的な手順 シンプルで多機能な操作 電源効率が高く、発熱が少ない 最高の反射電力保護動作 |
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| RF電力 | 約300W（常時調整可能） | |
| 信号周波数 | 13.56MHz ±0.005% | |
| ミラーパワー | ≤100W | |
| 電力バランス | ±0.one% | |
| RFコネクタ | N型コネクタ | |
| CZPTの有効性 | ≥75% | |
| 高調波成分 | ≤-50 dBc | |
| 冷却戦略 | 加圧空気冷却 | |
| 燃料測定 | 測定単位 | フロート流量計 |
| 燃料チャネル | 2つのチャンネル | |
| チャンネルバラエティ | 10～100ml | |
| Bチャネル選択 | 16～160ml | |
| 真空 | 真空測定 | デジタル真空計（抵抗計） |
| 真空ポンプ | 二相ロータリーベーン真空ポンプ | |
| 運動ペース | 50 Hz: 1440 60 Hz: 1720 | |
| ポンプ料金 | 50 Hz: 1.1L/秒 60 Hz: 1.3L/秒 | |
| 真空アソートメント | .1Pa～10000Pa | |
| 究極の真空 | .5Pa | |
| モーター音 | ≤56dB | |
| パイプインターフェース | ガソリン入口：KF16排気ポートKF16。 | |
| 接続パイプ | KF16真空ベローズ | |
| 真空バルブ | 電磁弁 | |
| モーター電気 | 400W | |
| その他の個人 | エネルギーオファー | AC220V 50/60Hz |
| 完全なエネルギー | 800W | |
| 動作温度 | -10℃～40℃ | |
| 機能する真空 | ≤40Pa | |
| 合計寸法 | 600mm×650mm×560mm | |
| 総重量 | 80kg（梱包を含む） |
関連写真
Q. 貴社は製造業者ですか、それとも売買組織ですか?
A. 当社は、専門的な研究機器メーカーであり、独自の設計スタッフと製造ユニットを持ち、豊富な技術的経験を有し、製品の高品質と最良の価格を保証できます。
Q. 御社の商品アフターサービス戦略はどのようなものですか？
A. 商品の保証期間は12ヶ月で、生涯にわたるサービスをご提供いたします。専門の営業・アフターサービス部門が24時間以内に対応し、複雑な問題にも対応いたします。
Q. 配送にはどれくらい時間がかかりますか？機器をカスタマイズしたい場合、どれくらいの時間がかかりますか？
A.1. 在庫がある場合は5～10倍です。2. お客様にCZPTソリューションを提供できます。カスタム機器の技術仕様に応じて、通常30～60倍かかります。
Q. 我が国の電源とプラグの種類が異なります。どのように対応すればよいですか？
A. 各国の電気プラグに合わせて、地域のニーズに合わせた変圧器やプラグをご提供いたします。
Q. 支払い方法は？
A.T / T、L / C、D / P、その他多数。Alibaba CZPT 保証を使用することをお勧めします。
Q. 商品のパッケージはどうなっていますか？配送方法を教えてください。
A.1. 定期的な輸出燻蒸信号ピケットボックス梱包 2. 購入者の要求に応じて、航空、海上輸送など、最も理想的な方法を見つけます。
他にもご質問がございましたら、必ず購入者サポートまでお問い合わせください。
