คำอธิบายผลิตภัณฑ์
คำอธิบายผลิตภัณฑ์
EM4/EM8
Ultimate pressure:≤ 2 and ≤ 20 mbar
Pumping speed:4÷10 m3/ชม
The EM 4 and EM 8 are single-stage rotary vane lubricated pumps with oil recirculation. The rotor is keyed directly CHINAMFG the motor shaft.
The EM 4 and EM 8 are single-stage rotary vane lubricated pumps with oil recirculation.
The rotor is keyed directly CHINAMFG the motor shaft.
The oil tank is provided with a system for separating the oil mists from the exhaust air.
The gas ballast, except for EM4, prevents condensation inside the pump when small quantities of steam are sucked.
The EM 4 and EM 8 pumps are suitable for the evacuation of closed systems or to operate at a constant vacuum included in the following range:
EM 4 – EM 8 from 2 to 300 mbar (absolute)
EM 4 B – EM 8 B from 20 to 850 mbar (absolute)
เครื่องประดับ
อุปกรณ์เสริมต่อไปนี้มีประโยชน์สำหรับการติดตั้งและการควบคุมพารามิเตอร์การทำงานของปั๊ม:
-
ตัวกรองดูดภายนอก
-
Vacuum gauges
ข้อมูลจำเพาะหลัก
|
EM4 |
EM8 |
||||
|
ความเร็วในการสูบน้ำ |
ม³/ชม. |
50Hz |
4 |
8,5 |
|
|
60Hz |
4,8 |
10 |
|||
|
แรงดันสูงสุดเมื่อเติมก๊าซถ่วงดุล (สัมบูรณ์) |
เอ็มบาร์ |
≤ 2 (≤ 20 /B) |
≤ 2 (≤ 20 /B) |
||
|
กำลังมอเตอร์ |
กิโลวัตต์ |
50Hz |
0,12 |
0,25 |
|
|
60Hz |
0,15 |
0,30 |
|||
|
ความเร็วของมอเตอร์ |
รอบต่อนาที |
50Hz |
3000 |
3000 |
|
|
60Hz |
3600 |
3600 |
|||
|
ความทนทานต่อไอน้ำ |
เอ็มบาร์ |
/ |
20 |
||
|
ความสามารถในการสูบไอน้ำ |
กก./ชม. |
/ |
0,125 |
||
|
ปริมาณสารหล่อลื่น |
ล |
0,1 |
0,15 |
||
|
ระดับความดันเสียง |
เดซิเบล(เอ) |
50Hz |
57 |
58 |
|
|
60Hz |
59 |
60 |
|||
|
มิติ |
กว้าง x ยาว x สูง |
มม. |
236x129x139 |
300x166x139 |
|
|
น้ำหนัก |
กก. |
5,4 |
11,7 |
||
|
การเชื่อมต่อ* |
ทางเข้า |
1/8″ Gas |
3/8″ Gas |
||
* การเชื่อมต่อประเภทอื่นๆ ที่มีให้บริการ โปรดติดต่อ CHINAMFG
| บริการหลังการขาย: | 12 เดือนนับจากวันที่เริ่มดำเนินงาน หรือ 15 เดือนนับจาก |
|---|---|
| การรับประกัน: | 12 เดือนนับจากวันที่เริ่มดำเนินงาน หรือ 15 เดือนนับจาก |
| ใช้น้ำมันหรือไม่: | น้ำมัน |
| โครงสร้าง: | ปั๊มสุญญากาศแบบโรตารี่ |
| วิธีการดูดอากาศ: | ปั๊มสุญญากาศดักจับ |
| ระดับสุญญากาศ: | เครื่องดูดฝุ่น |
| การปรับแต่ง: |
มีอยู่
|
|
|---|
ปั๊มสุญญากาศมีบทบาทอย่างไรในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์?
ปั๊มสุญญากาศมีบทบาทสำคัญอย่างยิ่งในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ต่อไปนี้เป็นคำอธิบายโดยละเอียด:
การผลิตเซมิคอนดักเตอร์เกี่ยวข้องกับการผลิตวงจรรวม (IC) และอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์อื่นๆ ที่ใช้ในงานอิเล็กทรอนิกส์ต่างๆ ปั๊มสุญญากาศถูกนำมาใช้อย่างแพร่หลายตลอดกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เพื่อสร้างและรักษาเงื่อนไขสุญญากาศที่จำเป็นสำหรับขั้นตอนการผลิตเฉพาะต่างๆ
ต่อไปนี้คือบทบาทสำคัญบางประการของปั๊มสุญญากาศในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์:
1. กระบวนการการตกตะกอน: ปั๊มสุญญากาศถูกใช้ในกระบวนการการตกตะกอน เช่น การตกตะกอนด้วยไอระเหยทางกายภาพ (PVD) และการตกตะกอนด้วยไอระเหยทางเคมี (CVD) กระบวนการเหล่านี้เกี่ยวข้องกับการตกตะกอนฟิล์มบางๆ ของวัสดุลงบนแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์เพื่อสร้างชั้นและลวดลายต่างๆ ปั๊มสุญญากาศช่วยสร้างสภาพแวดล้อมที่มีความดันต่ำซึ่งจำเป็นสำหรับการควบคุมกระบวนการตกตะกอนอย่างแม่นยำ ทำให้มั่นใจได้ว่าการสร้างฟิล์มมีความสม่ำเสมอและมีคุณภาพสูง
2. การกัดและการทำความสะอาด: ปั๊มสุญญากาศถูกนำมาใช้ในกระบวนการกัดและทำความสะอาด ซึ่งเกี่ยวข้องกับการกำจัดชั้นหรือสิ่งปนเปื้อนเฉพาะออกจากแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ เทคนิคการกัดแบบแห้ง เช่น การกัดด้วยพลาสมาและการกัดด้วยไอออนแบบรีแอคทีฟ จำเป็นต้องใช้สภาพแวดล้อมที่เป็นสุญญากาศเพื่ออำนวยความสะดวกในการแตกตัวเป็นไอออนและการกำจัดวัสดุ ปั๊มสุญญากาศช่วยสร้างสภาวะความดันต่ำที่จำเป็นสำหรับกระบวนการกัดและทำความสะอาดที่มีประสิทธิภาพ
3. การฝังไอออน: การฝังไอออนเป็นกระบวนการที่ใช้ในการนำสารเจือปนเข้าไปในบริเวณเฉพาะของแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์เพื่อปรับเปลี่ยนคุณสมบัติทางไฟฟ้า โดยใช้ปั๊มสุญญากาศในการดูดอากาศออกจากห้องฝังไอออน เพื่อสร้างสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่จำเป็นสำหรับการเร่งความเร็วและการฝังไอออนอย่างแม่นยำและควบคุมได้
4. การจัดการและการเคลื่อนย้ายแผ่นเวเฟอร์: ปั๊มสุญญากาศถูกนำมาใช้ในระบบการจัดการและการเคลื่อนย้ายแผ่นเวเฟอร์ ระบบเหล่านี้ใช้แรงดูดสุญญากาศเพื่อยึดและจัดการแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์อย่างปลอดภัยในระหว่างขั้นตอนการผลิตต่างๆ เช่น การโหลดและขนถ่ายออกจากห้องกระบวนการ การเคลื่อนย้ายด้วยหุ่นยนต์ระหว่างเครื่องมือ และการจัดตำแหน่งแผ่นเวเฟอร์
5. ระบบล็อคโหลด: ระบบล็อคโหลดใช้สำหรับเคลื่อนย้ายแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ระหว่างสภาวะบรรยากาศปกติและสภาวะสุญญากาศของห้องกระบวนการผลิต ปั๊มสุญญากาศเป็นส่วนประกอบสำคัญของระบบล็อคโหลด โดยทำหน้าที่สร้างและรักษาสภาวะสุญญากาศที่จำเป็นสำหรับการเคลื่อนย้ายเวเฟอร์ พร้อมทั้งลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนให้น้อยที่สุด
6. การวัดและตรวจสอบ: ปั๊มสุญญากาศถูกนำมาใช้ในเครื่องมือวัดและตรวจสอบที่ใช้ในการหาคุณลักษณะของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เครื่องมือเหล่านี้ เช่น กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกน (SEM) และระบบลำแสงไอออนแบบโฟกัส (FIB) มักทำงานในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ เพื่อให้ได้ภาพที่มีความละเอียดสูงและการวิเคราะห์โครงสร้างและข้อบกพร่องของเซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างแม่นยำ
7. การตรวจจับการรั่วไหล: ปั๊มสุญญากาศถูกนำมาใช้ในระบบตรวจจับการรั่วไหลเพื่อระบุและค้นหาตำแหน่งการรั่วไหลในห้องสุญญากาศ ท่อส่ง และส่วนประกอบอื่นๆ ระบบเหล่านี้อาศัยปั๊มสุญญากาศในการดูดอากาศออกจากระบบแล้วตรวจสอบการเพิ่มขึ้นของความดัน ซึ่งบ่งชี้ว่ามีการรั่วไหลเกิดขึ้น
8. การควบคุมสภาพแวดล้อมในห้องปลอดเชื้อ: โรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์รักษาสภาพแวดล้อมในห้องปลอดเชื้อเพื่อป้องกันการปนเปื้อนระหว่างกระบวนการผลิต ปั๊มสุญญากาศถูกนำมาใช้ในการออกแบบและการทำงานของระบบระบายอากาศและระบบกรองอากาศในห้องปลอดเชื้อ ช่วยรักษาระดับความสะอาดของอากาศตามที่ต้องการโดยการกำจัดอนุภาคและรักษาความแตกต่างของความดันอากาศที่ควบคุมได้
ปั๊มสุญญากาศที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์มักได้รับการออกแบบเฉพาะเพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดที่เข้มงวดของอุตสาหกรรม โดยต้องสามารถสร้างระดับสุญญากาศสูง ควบคุมได้อย่างแม่นยำ มีระดับการปนเปื้อนต่ำ และมีความน่าเชื่อถือสำหรับการทำงานอย่างต่อเนื่อง
โดยรวมแล้ว ปั๊มสุญญากาศเป็นสิ่งจำเป็นอย่างยิ่งในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากช่วยสร้างสภาวะสุญญากาศที่จำเป็นสำหรับกระบวนการต่างๆ ซึ่งทำให้มั่นใจได้ว่าการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์จะมีคุณภาพสูง
ข้อควรพิจารณาในการเลือกปั๊มสุญญากาศสำหรับการใช้งานในห้องปลอดเชื้อ
ในการเลือกปั๊มสุญญากาศสำหรับใช้งานในห้องปลอดเชื้อ ควรพิจารณาหลายปัจจัย ต่อไปนี้คือคำอธิบายโดยละเอียด:
ห้องคลีนรูมเป็นสภาพแวดล้อมที่ควบคุมอย่างเข้มงวด ใช้ในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ยา เทคโนโลยีชีวภาพ และไมโครอิเล็กทรอนิกส์ สภาพแวดล้อมเหล่านี้ต้องการการปฏิบัติตามมาตรฐานความสะอาดและการควบคุมอนุภาคอย่างเคร่งครัด เพื่อป้องกันการปนเปื้อนของกระบวนการหรือผลิตภัณฑ์ที่ละเอียดอ่อน การเลือกปั๊มสุญญากาศที่เหมาะสมสำหรับการใช้งานในห้องคลีนรูมจึงมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการรักษาระดับความสะอาดที่ต้องการและลดการปนเปื้อนให้น้อยที่สุด ต่อไปนี้คือข้อควรพิจารณาที่สำคัญบางประการ:
1. ความสะอาด: ความสะอาดของปั๊มสุญญากาศมีความสำคัญอย่างยิ่งในการใช้งานในห้องปลอดเชื้อ ปั๊มควรได้รับการออกแบบและสร้างขึ้นเพื่อลดการเกิดและการปล่อยอนุภาค ไอระเหยของน้ำมัน หรือสารปนเปื้อนอื่นๆ เข้าสู่สภาพแวดล้อมในห้องปลอดเชื้อ ปั๊มสุญญากาศแบบไร้น้ำมันหรือแบบแห้งเป็นที่นิยมใช้กันทั่วไปในการใช้งานในห้องปลอดเชื้อ เนื่องจากช่วยลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนจากน้ำมัน นอกจากนี้ ปั๊มที่มีพื้นผิวเรียบและมีร่องน้อยที่สุดจะทำความสะอาดและบำรุงรักษาได้ง่ายกว่า ลดโอกาสการสะสมของอนุภาค
2. การปล่อยก๊าซ: การปล่อยก๊าซหมายถึงการปล่อยก๊าซหรือไอระเหยจากพื้นผิวของวัสดุต่างๆ รวมถึงตัวปั๊มสุญญากาศเอง ในการใช้งานในห้องปลอดเชื้อ การเลือกปั๊มสุญญากาศที่มีคุณสมบัติการปล่อยก๊าซต่ำเป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่ง เพื่อป้องกันการปนเปื้อนเข้าสู่สิ่งแวดล้อม ปั๊มสุญญากาศที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับใช้ในห้องปลอดเชื้อ มักจะผ่านกระบวนการพิเศษหรือใช้วัสดุที่มีคุณสมบัติการปล่อยก๊าซต่ำ เพื่อลดผลกระทบนี้ให้น้อยที่สุด
3. การเกิดอนุภาค: ปั๊มสุญญากาศสามารถสร้างอนุภาคได้เนื่องจากแรงเสียดทานและการสึกหรอของชิ้นส่วนที่เคลื่อนที่ เช่น โรเตอร์หรือใบพัด อนุภาคเหล่านี้อาจกลายเป็นแหล่งปนเปื้อนในห้องปลอดเชื้อ เมื่อเลือกปั๊มสุญญากาศสำหรับใช้งานในห้องปลอดเชื้อ จำเป็นอย่างยิ่งที่จะต้องพิจารณาระดับการเกิดอนุภาคของปั๊ม และเลือกปั๊มที่ได้รับการออกแบบและทดสอบมาเพื่อลดการปล่อยอนุภาคให้น้อยที่สุด ปั๊มที่มีคุณสมบัติเช่นวัสดุหล่อลื่นในตัวหรือกลไกการซีลขั้นสูงสามารถช่วยลดการเกิดอนุภาคได้
4. ระบบกรองและระบายอากาศ: ระบบกรองและระบายอากาศที่เกี่ยวข้องกับปั๊มสุญญากาศมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการรักษามาตรฐานห้องปลอดเชื้อ ปั๊มสุญญากาศควรติดตั้งตัวกรองที่มีประสิทธิภาพสูงซึ่งสามารถดักจับและกำจัดอนุภาคหรือสิ่งปนเปื้อนที่เกิดขึ้นระหว่างการทำงานได้ ตัวกรองคุณภาพสูง เช่น ตัวกรอง HEPA (High-Efficiency Particulate Air) สามารถดักจับอนุภาคขนาดเล็กที่สุดได้อย่างมีประสิทธิภาพ ระบบระบายอากาศควรได้รับการออกแบบอย่างเหมาะสมเพื่อให้แน่ใจว่าอากาศที่ผ่านการกรองแล้วจะถูกปล่อยออกไปนอกห้องปลอดเชื้อหรือผ่านการกรองเพิ่มเติมก่อนที่จะถูกนำกลับเข้าสู่สภาพแวดล้อมอีกครั้ง
5. เสียงและการสั่นสะเทือน: เสียงและการสั่นสะเทือนที่เกิดจากปั๊มสุญญากาศอาจส่งผลกระทบต่อการทำงานในห้องปลอดเชื้อ เสียงดังเกินไปอาจส่งผลกระทบต่อสภาพแวดล้อมการทำงานและทำให้การสื่อสารบกพร่อง ในขณะที่การสั่นสะเทือนอาจรบกวนกระบวนการหรืออุปกรณ์ที่ละเอียดอ่อนได้ จึงควรเลือกปั๊มสุญญากาศที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการทำงานที่เงียบและมีมาตรการลดการสั่นสะเทือน ปั๊มที่มีคุณสมบัติลดเสียงและระบบแยกการสั่นสะเทือนสามารถช่วยรักษาสภาพแวดล้อมในห้องปลอดเชื้อให้เงียบและมีเสถียรภาพได้
6. การปฏิบัติตามมาตรฐาน: การใช้งานในห้องปลอดเชื้อ มักมีมาตรฐานหรือข้อบังคับเฉพาะของอุตสาหกรรมที่ต้องปฏิบัติตาม เมื่อเลือกปั๊มสุญญากาศ สิ่งสำคัญคือต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าปั๊มนั้นเป็นไปตามมาตรฐานและข้อกำหนดของห้องปลอดเชื้อที่เกี่ยวข้อง ข้อควรพิจารณาอาจรวมถึงมาตรฐานความสะอาดของ ISO ระดับการจำแนกประเภทห้องปลอดเชื้อ และแนวทางเฉพาะของอุตสาหกรรมสำหรับจำนวนอนุภาค ระดับการปล่อยก๊าซ หรือระดับเสียงที่อนุญาต ผู้ผลิตที่จัดทำเอกสารและใบรับรองที่เกี่ยวข้องกับความเหมาะสมในการใช้งานในห้องปลอดเชื้อสามารถช่วยแสดงให้เห็นถึงการปฏิบัติตามมาตรฐานได้
7. การบำรุงรักษาและการซ่อมบำรุง: การบำรุงรักษาที่เหมาะสมและการซ่อมบำรุงปั๊มสุญญากาศอย่างสม่ำเสมอเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการทำงานที่เชื่อถือได้และมีประสิทธิภาพ เมื่อเลือกปั๊มสุญญากาศสำหรับการใช้งานในห้องปลอดเชื้อ ควรพิจารณาปัจจัยต่างๆ เช่น ความง่ายในการบำรุงรักษา ความพร้อมของอะไหล่ และการเข้าถึงบริการและการสนับสนุนจากผู้ผลิต ปั๊มที่มีคุณสมบัติการบำรุงรักษาที่ใช้งานง่าย คำแนะนำการบริการที่ชัดเจน และเครือข่ายการสนับสนุนลูกค้าที่ตอบสนองได้ดี จะช่วยลดเวลาหยุดทำงานและรับประกันประสิทธิภาพการทำงานในห้องปลอดเชื้ออย่างต่อเนื่อง
โดยสรุป การเลือกปั๊มสุญญากาศสำหรับงานในห้องปลอดเชื้อจำเป็นต้องพิจารณาปัจจัยต่างๆ อย่างรอบคอบ เช่น ความสะอาด คุณลักษณะการปล่อยก๊าซ การเกิดอนุภาค ระบบการกรองและการระบายอากาศ เสียงและการสั่นสะเทือน การปฏิบัติตามมาตรฐาน และข้อกำหนดในการบำรุงรักษา การเลือกปั๊มสุญญากาศที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับใช้ในห้องปลอดเชื้อและพิจารณาปัจจัยสำคัญเหล่านี้ จะช่วยให้ผู้ปฏิบัติงานในห้องปลอดเชื้อสามารถรักษาระดับความสะอาดที่ต้องการและลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนในกระบวนการและผลิตภัณฑ์ที่สำคัญได้
มีปั๊มสุญญากาศหลายประเภทให้เลือกใช้หรือไม่?
ใช่แล้ว มีปั๊มสุญญากาศหลายประเภทให้เลือกใช้ โดยแต่ละประเภทได้รับการออกแบบให้เหมาะสมกับการใช้งานและหลักการทำงานเฉพาะด้าน ต่อไปนี้เป็นคำอธิบายโดยละเอียด:
ปั๊มสุญญากาศแบ่งประเภทตามหลักการทำงาน กลไก และชนิดของสุญญากาศที่สามารถสร้างได้ ปั๊มสุญญากาศประเภททั่วไปบางประเภท ได้แก่:
1. ปั๊มสุญญากาศแบบใบพัดหมุน:
– คำอธิบาย: ปั๊มใบพัดหมุนเป็นปั๊มแบบปริมาตรคงที่ที่ใช้ใบพัดหมุนเพื่อสร้างสุญญากาศ ใบพัดจะเลื่อนเข้าและออกจากร่องในโรเตอร์ของปั๊ม ดักจับและอัดก๊าซเพื่อสร้างแรงดูดและเกิดสุญญากาศ
– การใช้งาน: ปั๊มสุญญากาศแบบใบพัดหมุนใช้กันอย่างแพร่หลายในงานที่ต้องการระดับสุญญากาศปานกลาง เช่น ระบบสุญญากาศในห้องปฏิบัติการ การบรรจุภัณฑ์ การทำความเย็น และเครื่องปรับอากาศ
2. ปั๊มสุญญากาศแบบไดอะแฟรม:
– คำอธิบาย: ปั๊มไดอะแฟรมใช้ไดอะแฟรมที่ยืดหยุ่นได้ซึ่งเคลื่อนที่ขึ้นลงเพื่อสร้างสุญญากาศ ไดอะแฟรมจะแยกห้องสุญญากาศออกจากกลไกขับเคลื่อน ป้องกันการปนเปื้อน และช่วยให้ทำงานได้โดยปราศจากน้ำมัน
– การใช้งาน: ปั๊มสุญญากาศแบบไดอะแฟรมมักใช้ในห้องปฏิบัติการ อุปกรณ์ทางการแพทย์ เครื่องมือวิเคราะห์ และการใช้งานที่ต้องการสุญญากาศแบบปราศจากน้ำมันหรือทนต่อสารเคมี
3. ปั๊มสุญญากาศแบบสกรอลล์:
– คำอธิบาย: ปั๊มแบบสกรอลล์มีสกรอลล์รูปทรงเกลียวสองอัน—อันหนึ่งอยู่กับที่และอีกอันหนึ่งหมุน—ซึ่งสร้างช่องก๊าซรูปทรงพระจันทร์เสี้ยวที่เคลื่อนที่อย่างต่อเนื่อง เมื่อสกรอลล์เคลื่อนที่ ก๊าซจะถูกกักและอัดอย่างต่อเนื่อง ส่งผลให้เกิดสุญญากาศ
– การใช้งาน: ปั๊มสุญญากาศแบบสกรอลล์เหมาะสำหรับงานที่ต้องการสุญญากาศที่สะอาดและแห้ง เช่น เครื่องมือวิเคราะห์ การอบแห้งด้วยสุญญากาศ และการเคลือบด้วยสุญญากาศ
4. ปั๊มสุญญากาศแบบลูกสูบ:
– คำอธิบาย: ปั๊มลูกสูบใช้ลูกสูบเคลื่อนที่ไปมาเพื่อสร้างสุญญากาศโดยการอัดแก๊สแล้วปล่อยออกทางวาล์ว ปั๊มชนิดนี้สามารถสร้างสุญญากาศได้สูง แต่Hอาจต้องใช้สารหล่อลื่น
– การใช้งาน: ปั๊มสุญญากาศแบบลูกสูบใช้ในงานที่ต้องการระดับสุญญากาศสูง เช่น เตาสุญญากาศ การแช่แข็งแบบแห้ง และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
5. ปั๊มสุญญากาศแบบเทอร์โบโมเลคูลาร์:
– คำอธิบาย: ปั๊มเทอร์โบใช้ใบพัดหรือใบพัดหมุนด้วยความเร็วสูงเพื่อสร้างการไหลระดับโมเลกุล และสูบโมเลกุลก๊าซออกจากระบบอย่างต่อเนื่อง โดยทั่วไปแล้ว ปั๊มเทอร์โบต้องใช้ปั๊มสำรองในการทำงาน
– การใช้งาน: ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลาร์ใช้ในงานที่ต้องการสุญญากาศสูง เช่น การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ห้องปฏิบัติการวิจัย และการวิเคราะห์มวลสาร
6. ปั๊มสุญญากาศแบบแพร่กระจาย:
– คำอธิบาย: ปั๊มแบบแพร่กระจาย (Diffusion pump) อาศัยการแพร่กระจายของโมเลกุลก๊าซและกำจัดออกไปโดยการพ่นไอด้วยความเร็วสูง ปั๊มชนิดนี้ทำงานที่ระดับสุญญากาศสูงและต้องใช้ปั๊มสำรอง
– การใช้งาน: ปั๊มแบบแพร่กระจาย (Diffusion pump) นิยมใช้ในงานที่ต้องการสุญญากาศสูง เช่น โลหะวิทยาสุญญากาศ ห้องจำลองสภาวะอวกาศ และเครื่องเร่งอนุภาค
7. ปั๊มสุญญากาศแบบไครโอเจนิก:
– คำอธิบาย: ปั๊มไครโอเจนิกใช้ความเย็นจัดเพื่อควบแน่นและดักจับโมเลกุลของก๊าซ ทำให้เกิดสุญญากาศ โดยอาศัยของเหลวไครโอเจนิก เช่น ไนโตรเจนเหลวหรือฮีเลียมเหลว ในการทำงาน
– การใช้งาน: ปั๊มสุญญากาศแบบไครโอเจนิกใช้ในงานที่ต้องการสุญญากาศสูงมาก เช่น การวิจัยฟิสิกส์อนุภาค วิทยาศาสตร์วัสดุ และเครื่องปฏิกรณ์ฟิวชัน
นี่เป็นเพียงตัวอย่างเล็กน้อยของปั๊มสุญญากาศประเภทต่างๆ ที่มีจำหน่าย แต่ละประเภทมีข้อดี ข้อจำกัด และความเหมาะสมสำหรับการใช้งานเฉพาะด้าน การเลือกใช้ปั๊มสุญญากาศขึ้นอยู่กับปัจจัยต่างๆ เช่น ระดับสุญญากาศที่ต้องการ ความเข้ากันได้ของก๊าซ ความน่าเชื่อถือ ต้นทุน และความต้องการเฉพาะของงานนั้นๆ
แก้ไขโดย CX 2023-11-08
