وصف المنتج
وصف المنتج
تتكون مضخة التفريغ ذات الريش الدوارة بشكل أساسي من جسم المضخة، والدوار، والريش الدوار، والغطاء الطرفي، وخزان الزيت، وما إلى ذلك. يُركّب الدوار ذو الريش الثلاث بشكل لا مركزي داخل غلاف أسطواني، وتنزلق الريش الثلاث في فتحات الدوار. عند الدوران، تحافظ قوة الطرد المركزي على تلامس الريش مع الغلاف، ويدفع الدوران الدوار للانزلاق على طول الغلاف.
| 1. واجهة منفذ العادم | 2. فلتر العادم | 3. صمام الشفط |
| 4. مقياس مستوى الزيت | 5. صمام التصريف | 6. سدادة التعبئة |
| 7. صمام العادم | 8. شفرة | 9. الدوار |
| 10. دبابة | 11. مروحة محورية | 12. المحرك |
| 13. فلتر الزيت | 14. واجهة منفذ الشفط | 15. صمام موازنة الهواء |
| 16. أنبوب المبرد | 17. صمام الإرجاع |
مبدأ العمل
يوضح الرسم التخطيطي أدناه بنية المضخة. عندما يدور الدوار، تشكل الريش والهيكل وغطاءا الطرفين ثلاث حجرات، وفي كل دورة، يزداد حجم كل حجرة أو ينقص بسبب انزلاق الريش، مما يكمل عملية السحب والتفريغ.
الميزات الرئيسية
- قادر على العمل بشكل مستمر لفترة طويلة تحت ضغط مدخل يبلغ 5×104بنسلفانيا
- ضوضاء منخفضة، اهتزاز منخفض، لا حاجة لمسامير تثبيت القدم.
- يقوم فلتر العادم الموجود في المضخة بفصل الزيت عن الغاز بشكل فعال لتجنب تلوث البيئة.
- يتم تشغيلها مباشرة بواسطة محرك.
- هيكل صغير الحجم، وزن خفيف، تبريد بالهواء.
- سهل التشغيل والتركيب والصيانة.
التطبيقات
تُعدّ مضخة التفريغ ذات الريش الدوارة مناسبة للتطبيقات التي لا تتطلب مستوى تفريغ عالياً، وتتميز بالتشغيل الموثوق وسهولة الصيانة. وهي شائعة الاستخدام في التعبئة والتغليف بالتفريغ لمختلف المواد الغذائية، والتشكيل بالتفريغ في صناعات المطاط والبلاستيك، ونقل الورق في صناعة الطباعة، والتشريب بالتفريغ ومنع التسرب في مختلف المسبوكات، وتجهيزات التفريغ، والتجفيف بالتفريغ، والترشيح بالتفريغ، والجراحة في المستشفيات.
معلمات المنتج
| نموذج | سرعة الضخ الاسمية (50 هرتز) م³/ساعة |
أقصى ضغط ≤Pa |
أقصى ضغط مع صمام موازنة الغاز ≤ باسكال | القدرة الاسمية للمحرك (50 هرتز) كيلوواط | سرعة المحرك الاسمية (50 هرتز) دورة في الدقيقة | سعة بخار الماء كجم/ساعة |
مستوى الضوضاء ديسيبل (أ) | سعة الزيت ل |
درجة حرارة التشغيل درجة مئوية |
حجم وصلات الشفط بوصة |
حجم وصلة التصريف بوصة |
وزن كيلوغرام |
| XD-571 | 10 | 200 | 0.37 | 2800 | 0.4 | 62 | 0.5 | 77 | G1/2 بوصة | G1/2 بوصة | 16 | |
| XD-571 | 20 | 200 | 0.75 | 2880 | 0.4 | 63 | 0.5 | 77 | G1/2 بوصة | G1/2 بوصة | 18 | |
| XD-571A | 20 | 200 | 0.75 | 2880 | 0.4 | 63 | 0.5 | 77 | G1/2 بوصة | G1/2 بوصة | 18 | |
| XD-571C | 20 | 200 | 0.9 | 2880 | 0.4 | 65 | 0.5 | 79 | G3/4 بوصة | G3/4 بوصة | 20 | |
| XD-571 | 25 | 200 | 0.75 | 2880 | 0.4 | 65 | 0.5 | 79 | G3/4 بوصة | G3/4 بوصة | 20 | |
| XD-040C | 40 | 50 | 200 | 1.1 | 1500 | 0.6 | 64 | 1.25 | 76 | G1 1/4 بوصة | G1 1/4 بوصة | 48 |
| XD-063C | 63 | 50 | 200 | 1.5/2.2 | 1500 | 1 | 65 | 2 | 79 | G1 1/4 بوصة | G1 1/4 بوصة | 58 |
| XD-063D | 63 | 50 | 200 | 1.5 | 1500 | 0.6 | 65 | 1.5 | 79 | G1 1/4 بوصة | G1 1/4 بوصة | 49 |
| XD-100C | 100 | 50 | 200 | 2.2/3 | 1500 | 1.5 | 66 | 2 | 79 | G1 1/4 بوصة | G1 1/4 بوصة | 72 |
| XD-160C | 160 | 50 | 200 | 4 | 1500 | 2.5 | 71 | 5 | 70 | G2" | G2" | 158 |
| XD-202C | 200 | 50 | 200 | 4 | 1500 | 4 | 73 | 5 | 70 | G2" | G2" | 158 |
| XD-250C | 250 | 50 | 200 | 5.5 | 1500 | 4.5 | 73 | 7 | 73 | G2" | G2" | 195 |
| XD-302C | 300 | 50 | 200 | 5.5/7.5 | 1500 | 5 | 75 | 7 | 75 | G2" | G2" | 211 |
رسم ثلاثي الأبعاد
مصنعنا
التعليمات
س: ما المعلومات التي يجب أن أقدمها عند الاستفسار؟
ج: يمكنك الاستفسار بناءً على الطراز مباشرة، ولكن يوصى دائمًا بالاتصال بنا حتى نتمكن من مساعدتك في التحقق مما إذا كانت المضخة هي الأنسب لتطبيقك.
س: هل يمكنك صنع مضخة تفريغ مخصصة؟
ج: نعم، يمكننا تصميم بعض التصاميم الخاصة لتلبية احتياجات عملائنا. على سبيل المثال، أنظمة منع التسرب المُخصصة، كما يُمكن تطبيق معالجة سطحية خاصة على مضخات التفريغ الجذرية ومضخات التفريغ اللولبية. يُرجى التواصل معنا إذا كانت لديكم متطلبات خاصة.
س: لدي مشاكل مع مضخات التفريغ أو أنظمة التفريغ لدينا، هل يمكنك تقديم بعض المساعدة؟
لدينا مهندسون متخصصون في التطبيقات والتصميم يتمتعون بخبرة تزيد عن 30 عامًا في تطبيقات الفراغ في مختلف الصناعات، ونساعد العديد من العملاء في حل مشاكلهم، مثل مشاكل التسرب، وحلول توفير الطاقة، وأنظمة الفراغ الصديقة للبيئة، وغيرها. يرجى التواصل معنا وسنكون سعداء بتقديم أي مساعدة لنظام الفراغ الخاص بكم.
س: هل بإمكانكم تصميم وتصنيع أنظمة تفريغ مخصصة؟
ج: نعم، نحن مناسبون لهذا.
س: ما هو الحد الأدنى لكمية الطلب؟
ج: قطعة واحدة أو طقم واحد.
س: ماذا عن وقت التسليم لديكم؟
ج: من 5 إلى 10 أيام عمل لمضخة التفريغ القياسية إذا كانت الكمية أقل من 20 قطعة، ومن 20 إلى 30 يوم عمل لنظام التفريغ التقليدي إذا كانت الكمية أقل من 5 مجموعات. لمزيد من الكميات أو المتطلبات الخاصة، يرجى التواصل معنا للاستفسار عن مدة التسليم.
س: ما هي شروط الدفع لديكم؟
ج: عن طريق التحويل المصرفي، 50% دفعة مقدمة/إيداع و50% يتم دفعها قبل الشحن.
س: ماذا عن الضمان؟
ج: نحن نقدم ضمانًا لمدة عام واحد (باستثناء الأجزاء المستهلكة).
س: ماذا عن الخدمة؟
ج: نحن نقدم دعمًا فنيًا عن بُعد عبر الفيديو. يمكننا إرسال مهندس الخدمة إلى الموقع لتلبية بعض المتطلبات الخاصة.
| خدمة ما بعد البيع: | التعليم عبر الفيديو عبر الإنترنت |
|---|---|
| ضمان: | سنة واحدة |
| زيت أم لا: | زيت |
| بناء: | مضخة تفريغ دوارة |
| طريقة الإرهاق: | مضخة الإزاحة الموجبة |
| سرعة الضخ الاسمية (50 هرتز): | 100 متر مكعب/ساعة |
ما هو دور مضخات التفريغ في صناعة أشباه الموصلات؟
تلعب مضخات التفريغ دورًا بالغ الأهمية في عمليات تصنيع أشباه الموصلات. إليكم شرحًا مفصلًا:
تتضمن صناعة أشباه الموصلات إنتاج الدوائر المتكاملة وغيرها من أجهزة أشباه الموصلات المستخدمة في تطبيقات إلكترونية متنوعة. وتُستخدم مضخات التفريغ على نطاق واسع في جميع مراحل عملية تصنيع أشباه الموصلات لإنشاء ظروف التفريغ المطلوبة والحفاظ عليها في خطوات التصنيع المختلفة.
فيما يلي بعض الأدوار الرئيسية لمضخات التفريغ في صناعة أشباه الموصلات:
١. عمليات الترسيب: تُستخدم مضخات التفريغ في عمليات الترسيب مثل الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) والترسيب الكيميائي للبخار (CVD). تتضمن هذه العمليات ترسيب طبقات رقيقة من المواد على رقائق أشباه الموصلات لإنشاء طبقات وأنماط متنوعة. تساعد مضخات التفريغ في توفير بيئة منخفضة الضغط ضرورية للتحكم الدقيق في عملية الترسيب، مما يضمن تكوين طبقة متجانسة وعالية الجودة.
٢. الحفر والتنظيف: تُستخدم مضخات التفريغ في عمليات الحفر والتنظيف، والتي تتضمن إزالة طبقات أو ملوثات محددة من رقائق أشباه الموصلات. تتطلب تقنيات الحفر الجاف، مثل حفر البلازما وحفر الأيونات التفاعلية، بيئة مفرغة لتسهيل تأيين المادة وإزالتها. وتساعد مضخات التفريغ في تهيئة ظروف الضغط المنخفض اللازمة لعمليات الحفر والتنظيف بكفاءة.
3. زرع الأيونات: زرع الأيونات عملية تُستخدم لإدخال شوائب في مناطق محددة من رقاقة أشباه الموصلات لتعديل خصائصها الكهربائية. تُستخدم مضخات التفريغ لإخلاء حجرة زرع الأيونات، مما يُهيئ بيئة التفريغ اللازمة لتسريع حزمة الأيونات وزرعها بدقة وتحكم.
4. مناولة ونقل الرقاقات: تُستخدم مضخات التفريغ في أنظمة مناولة ونقل الرقاقات. تستخدم هذه الأنظمة شفط التفريغ لتثبيت رقاقات أشباه الموصلات ومعالجتها بشكل آمن خلال مراحل التصنيع المختلفة، مثل التحميل والتفريغ من حجرات المعالجة، والنقل الآلي بين الأدوات، ومحاذاة الرقاقات.
5. أنظمة أقفال التحميل: تُستخدم أنظمة أقفال التحميل لنقل رقائق أشباه الموصلات بين الظروف الجوية العادية وبيئة الفراغ في حجرات المعالجة. تُعد مضخات الفراغ مكونات أساسية في أنظمة أقفال التحميل، حيث تعمل على تهيئة ظروف الفراغ اللازمة لنقل الرقائق والحفاظ عليها، مع تقليل مخاطر التلوث إلى أدنى حد.
٦. القياس والفحص: تُستخدم مضخات التفريغ في أدوات القياس والفحص المستخدمة لتوصيف أجهزة أشباه الموصلات. تعمل هذه الأدوات، مثل مجاهر المسح الإلكتروني (SEM) وأنظمة حزمة الأيونات المركزة (FIB)، غالبًا في بيئة مفرغة من الهواء لتمكين التصوير عالي الدقة والتحليل الدقيق لهياكل أشباه الموصلات وعيوبها.
7. كشف التسرب: تُستخدم مضخات التفريغ في أنظمة كشف التسرب لتحديد مواقع التسربات في غرف التفريغ وخطوط المعالجة والمكونات الأخرى. تعتمد هذه الأنظمة على مضخات التفريغ لتفريغ النظام ثم مراقبة أي ارتفاع في الضغط، مما يشير إلى وجود تسربات.
8. التحكم في بيئة الغرف النظيفة: تحافظ منشآت تصنيع أشباه الموصلات على بيئات غرف نظيفة لمنع التلوث أثناء عملية التصنيع. تُستخدم مضخات التفريغ في تصميم وتشغيل أنظمة التهوية والترشيح في الغرف النظيفة، مما يساعد على الحفاظ على مستويات نظافة الهواء المطلوبة عن طريق إزالة الجسيمات والحفاظ على فروق ضغط هواء مضبوطة.
تُصمم مضخات التفريغ المستخدمة في عمليات تصنيع أشباه الموصلات عادةً خصيصاً لتلبية المتطلبات الصارمة لهذه الصناعة. فهي تحتاج إلى توفير مستويات تفريغ عالية، وتحكم دقيق، ومستويات تلوث منخفضة، وموثوقية عالية للتشغيل المستمر.
بشكل عام، تعتبر مضخات التفريغ ضرورية في تصنيع أشباه الموصلات، حيث تتيح تهيئة ظروف التفريغ اللازمة لمختلف العمليات، مما يضمن إنتاج أجهزة أشباه موصلات عالية الجودة.
هل يمكن استخدام مضخات التفريغ للكشف عن التسرب؟
نعم، يمكن استخدام مضخات التفريغ لأغراض الكشف عن التسرب. إليك شرح مفصل:
يُعدّ الكشف عن التسريبات مهمة بالغة الأهمية في العديد من الصناعات، بما في ذلك التصنيع والسيارات والفضاء وأنظمة التدفئة والتهوية وتكييف الهواء. وتشمل هذه المهمة تحديد مواقع التسريبات في النظام أو أحد مكوناته، والتي قد تؤدي إلى فقدان السوائل أو الغازات أو الضغط. وتلعب مضخات التفريغ دورًا هامًا في عمليات الكشف عن التسريبات من خلال خلق بيئة منخفضة الضغط، مما يُسهّل عملية الكشف عن التسريبات عبر طرق متنوعة.
فيما يلي بعض الطرق التي يمكن من خلالها استخدام مضخات التفريغ للكشف عن التسرب:
1. طريقة انخفاض الضغط بالتفريغ: تُعدّ طريقة انخفاض الضغط بالتفريغ تقنية شائعة الاستخدام للكشف عن التسريبات. وتعتمد على إحداث فراغ في نظام أو مكون مغلق باستخدام مضخة تفريغ، ثم مراقبة تغير الضغط بمرور الوقت. في حال وجود تسريب، سيزداد الضغط تدريجيًا نتيجة دخول الهواء أو الغاز. ومن خلال قياس معدل ارتفاع الضغط، يمكن تقدير موقع التسريب وحجمه. تُستخدم مضخات التفريغ لإخلاء النظام وتوفير مستوى الفراغ الأولي المطلوب للاختبار.
٢. اختبار الفقاعات: اختبار الفقاعات طريقة بسيطة ومرئية للكشف عن التسريبات. في هذه الطريقة، يُضغط المكون أو النظام المراد اختباره بغاز، ثم يُغمر في سائل، عادةً ما يكون ماءً وصابونًا. في حال وجود تسريب، سيتشكل الغاز المتسرب من المكون على شكل فقاعات في السائل، مما يدل على وجود التسريب وموقعه. يمكن استخدام مضخات التفريغ لإحداث فرق في الضغط يدفع الغاز خارج مكان التسريب، مما يُسهّل اكتشاف الفقاعات.
3. كشف تسرب الهيليوم: يُعدّ كشف تسرب الهيليوم طريقةً بالغة الحساسية تُستخدم لتحديد مواقع التسريبات الصغيرة جدًا. نظرًا لصغر حجم ذرة الهيليوم، فإنها قادرة على اختراق الفتحات والتسريبات الصغيرة بسهولة. في هذه الطريقة، يُضغط النظام أو المكون بغاز الهيليوم، وتُستخدم مضخة تفريغ لإخلاء المنطقة المحيطة. ثم يُستخدم كاشف تسرب الهيليوم لفحص المنطقة بحثًا عن وجود الهيليوم، مما يُشير إلى موقع التسرب. تُعدّ مضخات التفريغ ضرورية لخلق بيئة الضغط المنخفض المطلوبة لهذه الطريقة ولضمان دقة الكشف.
٤. اختبار تغير الضغط: يمكن استخدام مضخات التفريغ أيضًا في اختبار تغير الضغط للكشف عن التسريبات. تتضمن هذه الطريقة ضغط النظام أو أحد مكوناته ثم عزله عن مصدر الضغط. يُرصد الضغط بمرور الوقت، وأي انخفاض ملحوظ فيه يشير إلى وجود تسريب. يمكن استخدام مضخات التفريغ لإخلاء النظام بعد الضغط، وإعادته إلى الضغط الجوي للمقارنة أو إعادة الاختبار.
5. الكشف عن التسرب باستخدام مطياف الكتلة: يُعدّ الكشف عن التسرب باستخدام مطياف الكتلة طريقةً بالغة الحساسية والدقة تُستخدم لتحديد التسربات وقياس كميتها. تتضمن هذه الطريقة إدخال غاز مُتتبّع، عادةً ما يكون الهيليوم، إلى النظام أو المكوّن قيد الاختبار. تُستخدم مضخة تفريغ لإخلاء المنطقة المحيطة، ويُستخدم مطياف الكتلة لتحليل عينات الغاز للكشف عن وجود الغاز المُتتبّع. تتيح هذه الطريقة الكشف الدقيق عن التسربات وقياس كميتها حتى عند مستويات منخفضة للغاية. تُعدّ مضخات التفريغ ضرورية لتوفير ظروف التفريغ اللازمة وضمان الحصول على نتائج موثوقة.
باختصار، تُعدّ مضخات التفريغ أداة فعّالة للكشف عن التسريبات. فهي تُسهّل استخدام طرق الكشف المختلفة، مثل اختبار انخفاض الضغط، واختبار الفقاعات، والكشف عن تسريبات الهيليوم، واختبار تغير الضغط، والكشف عن التسريبات باستخدام مطياف الكتلة. تُهيّئ مضخات التفريغ بيئة الضغط المنخفض المطلوبة، وتُساعد في إخلاء النظام أو المكوّن قيد الاختبار، وتُمكّن من الكشف الدقيق والموثوق عن التسريبات. يعتمد اختيار مضخة التفريغ على المتطلبات الخاصة بطريقة الكشف عن التسريبات ومستوى الحساسية المطلوب للتطبيق.
هل يمكن استخدام مضخات التفريغ في المختبرات؟
نعم، تُستخدم مضخات التفريغ على نطاق واسع في المختبرات لمجموعة متنوعة من التطبيقات. إليك شرح مفصل:
تُعدّ مضخات التفريغ أدوات أساسية في المختبرات، إذ تُمكّن العلماء والباحثين من إنشاء بيئات تفريغ أو ضغط منخفض والتحكم بها. وتُعدّ هذه الظروف المُتحكّم بها ضرورية للعديد من العمليات والتجارب العلمية. فيما يلي بعض الأسباب الرئيسية لاستخدام مضخات التفريغ في المختبرات:
1. التبخير والتقطير: تُستخدم مضخات التفريغ بكثرة في عمليات التبخير والتقطير المخبرية. فمن خلال إحداث فراغ، تُخفض هذه المضخات درجة غليان السوائل، مما يسمح بتبخير أكثر لطفًا وتحكمًا. وهذا مفيدٌ بشكل خاص للمواد الحساسة للحرارة أو عندما يكون التحكم الدقيق في عملية التبخير مطلوبًا.
٢. الترشيح: يُعدّ الترشيح بالتفريغ تقنية شائعة في المختبرات لفصل المواد الصلبة عن السوائل أو الغازات. تعمل مضخات التفريغ على توليد قوة شفط تساعد على سحب السائل أو الغاز عبر المرشح، تاركةً الجزيئات الصلبة خلفه. تُستخدم هذه الطريقة على نطاق واسع في عمليات مثل تحضير العينات، وعلم الأحياء الدقيقة، والكيمياء التحليلية.
3. التجفيف بالتجميد: تلعب مضخات التفريغ دورًا حاسمًا في عمليات التجفيف بالتجميد أو التجفيف بالتجميد. يتضمن التجفيف بالتجميد إزالة الرطوبة من المادة وهي في حالة تجميد، مما يحافظ على بنيتها وخصائصها. تُسهّل مضخات التفريغ عملية التسامي للماء المتجمد مباشرةً إلى بخار، مما يؤدي إلى إزالة الرطوبة في ظروف ضغط منخفض.
٤. أفران وغرف التفريغ: تُستخدم مضخات التفريغ مع أفران وغرف التفريغ لإنشاء بيئات ضغط منخفض مُتحكم بها لتطبيقات متنوعة. تُستخدم أفران التفريغ لتجفيف المواد الحساسة للحرارة، وإزالة المذيبات، أو إجراء التفاعلات تحت ضغط منخفض. أما غرف التفريغ فتُستخدم لاختبار المكونات في ظروف تحاكي الفضاء أو الارتفاعات العالية، وإزالة الغازات من المواد، أو دراسة الظواهر المتعلقة بالتفريغ.
5. الأجهزة التحليلية: تعتمد العديد من الأجهزة التحليلية المخبرية على مضخات التفريغ لتعمل بشكل صحيح. على سبيل المثال، تتطلب أجهزة قياس الطيف الكتلي، والمجاهر الإلكترونية، ومعدات تحليل الأسطح، وغيرها من الأجهزة التحليلية، ظروف تفريغ للحفاظ على سلامة العينة وتحقيق نتائج دقيقة.
٦. الكيمياء وعلوم المواد: تُستخدم مضخات التفريغ في العديد من التجارب الكيميائية وتجارب علوم المواد. وتُستخدم لإزالة الغازات من العينات، وخلق بيئات مضبوطة، وإجراء التفاعلات تحت ضغط منخفض، أو دراسة تفاعلات الطور الغازي. كما تُستخدم مضخات التفريغ في تقنيات ترسيب الأغشية الرقيقة مثل الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) والترسيب الكيميائي للبخار (CVD).
7. أنظمة التفريغ للتجارب: في البحث العلمي، تُصمم وتُبنى أنظمة التفريغ عادةً لتجارب أو تطبيقات محددة. قد تشمل هذه الأنظمة مضخات تفريغ وصمامات وغرفًا متعددة لإنشاء بيئات تفريغ متخصصة مصممة خصيصًا لمتطلبات التجربة.
بشكل عام، تُعدّ مضخات التفريغ أدوات متعددة الاستخدامات تُستخدم على نطاق واسع في المختبرات بمختلف التخصصات العلمية. فهي تُمكّن الباحثين من التحكم في ظروف التفريغ أو الضغط المنخفض ومعالجتها، مما يُسهّل إجراء مجموعة واسعة من العمليات والتجارب والتحليلات. ويعتمد اختيار مضخة التفريغ على عوامل مثل مستوى التفريغ المطلوب، ومعدل التدفق، والتوافق الكيميائي، واحتياجات التطبيق المحددة.
تم التحرير بواسطة CX بتاريخ 13 ديسمبر 2023
