Mô tả sản phẩm
Mô tả sản phẩm
Máy bơm chân không cánh quay chủ yếu bao gồm thân bơm, rôto, cánh quay, nắp chụp, thùng dầu, v.v. Rôto có 3 cánh được lắp lệch tâm trong một vỏ hình trụ, 3 cánh trượt trong các rãnh của rôto. Khi quay, lực ly tâm giữ cho các cánh tiếp xúc với vỏ và chuyển động quay làm cho rôto trượt dọc theo vỏ.
| 1.Giao diện cổng xả | 2. Bộ lọc khí thải | 3. Van hút |
| 4. Đồng hồ đo mức dầu | 5. Van xả | 6.Nút bịt lỗ đổ dầu |
| 7.Van xả | 8. Lưỡi dao | 9.Rotor |
| 10. Xe tăng | 11. Quạt hướng trục | 12. Động cơ |
| 13. Bộ lọc dầu | 14.Giao diện cổng hút | 15. Van điều áp không khí |
| 16. Ống tản nhiệt | 17. Van hồi lưu |
Nguyên lý hoạt động
Sơ đồ bên dưới thể hiện cấu trúc của bơm. Khi rôto quay, các cánh quạt, vỏ bơm và 2 nắp chụp ở hai đầu tạo thành ba khoang. Mỗi vòng quay, thể tích của mỗi khoang tăng hoặc giảm do sự trượt của các cánh quạt, hoàn thành quá trình hút và xả.
Các tính năng chính
- Có khả năng hoạt động liên tục trong thời gian dài dưới áp suất đầu vào 5×10.4Pa.
- Độ ồn thấp, độ rung thấp, không cần bu lông chân đế.
- Bộ lọc khí thải trong bơm có tác dụng tách dầu trong khí thải một cách hiệu quả, tránh gây ô nhiễm môi trường.
- Được dẫn động trực tiếp bằng động cơ.
- Cấu trúc nhỏ gọn, trọng lượng nhẹ, làm mát bằng không khí.
- Dễ vận hành, lắp đặt và bảo trì.
Ứng dụng
Máy bơm chân không cánh quay thích hợp cho các ứng dụng không yêu cầu độ chân không cao, hoạt động đáng tin cậy và bảo trì thuận tiện. Nó thường được sử dụng trong đóng gói chân không các loại thực phẩm, tạo hình chân không trong ngành công nghiệp cao su và nhựa, vận chuyển giấy trong ngành in ấn, tẩm chân không và chống rò rỉ các loại vật đúc, đồ gá chân không, sấy chân không, lọc chân không và phẫu thuật bệnh viện.
Thông số sản phẩm
| Người mẫu | Tốc độ bơm định mức (50Hz) m³/h |
Áp lực tối đa ≤Pa |
Áp suất tối đa khi van cân bằng khí hoạt động ở mức ≤Pa | Công suất định mức của động cơ (50Hz) kW | Tốc độ quay định mức của động cơ (50Hz) RPM | Khả năng chứa hơi nước kg/h |
Mức độ tiếng ồn db(A) | Dung tích dầu L |
Nhiệt độ làm việc ºC |
Kích thước kết nối hút inch |
Kích thước kết nối xả inch |
Cân nặng kg |
| XD-571 | 10 | 200 | 0.37 | 2800 | 0.4 | 62 | 0.5 | 77 | G1/2″ | G1/2″ | 16 | |
| XD-571 | 20 | 200 | 0.75 | 2880 | 0.4 | 63 | 0.5 | 77 | G1/2″ | G1/2″ | 18 | |
| XD-571A | 20 | 200 | 0.75 | 2880 | 0.4 | 63 | 0.5 | 77 | G1/2″ | G1/2″ | 18 | |
| XD-571C | 20 | 200 | 0.9 | 2880 | 0.4 | 65 | 0.5 | 79 | G3/4″ | G3/4″ | 20 | |
| XD-571 | 25 | 200 | 0.75 | 2880 | 0.4 | 65 | 0.5 | 79 | G3/4″ | G3/4″ | 20 | |
| XD-040C | 40 | 50 | 200 | 1.1 | 1500 | 0.6 | 64 | 1.25 | 76 | G1 1/4″ | G1 1/4″ | 48 |
| XD-063C | 63 | 50 | 200 | 1.5/2.2 | 1500 | 1 | 65 | 2 | 79 | G1 1/4″ | G1 1/4″ | 58 |
| XD-063D | 63 | 50 | 200 | 1.5 | 1500 | 0.6 | 65 | 1.5 | 79 | G1 1/4″ | G1 1/4″ | 49 |
| XD-100C | 100 | 50 | 200 | 2.2/3 | 1500 | 1.5 | 66 | 2 | 79 | G1 1/4″ | G1 1/4″ | 72 |
| XD-160C | 160 | 50 | 200 | 4 | 1500 | 2.5 | 71 | 5 | 70 | G2″ | G2″ | 158 |
| XD-202C | 200 | 50 | 200 | 4 | 1500 | 4 | 73 | 5 | 70 | G2″ | G2″ | 158 |
| XD-250C | 250 | 50 | 200 | 5.5 | 1500 | 4.5 | 73 | 7 | 73 | G2″ | G2″ | 195 |
| XD-302C | 300 | 50 | 200 | 5.5/7.5 | 1500 | 5 | 75 | 7 | 75 | G2″ | G2″ | 211 |
Bản vẽ kích thước
Nhà máy của chúng tôi
Câu hỏi thường gặp
Hỏi: Tôi cần cung cấp thông tin gì khi gửi yêu cầu tư vấn?
A: Bạn có thể hỏi trực tiếp dựa trên model, nhưng chúng tôi luôn khuyến khích bạn liên hệ với chúng tôi để chúng tôi có thể giúp bạn kiểm tra xem máy bơm đó có phù hợp nhất với ứng dụng của bạn hay không.
Hỏi: Bạn có thể chế tạo máy bơm chân không theo yêu cầu riêng không?
A: Vâng, chúng tôi có thể thiết kế một số sản phẩm đặc biệt để đáp ứng nhu cầu của khách hàng. Ví dụ như hệ thống làm kín tùy chỉnh, xử lý bề mặt đặc biệt có thể được áp dụng cho bơm chân không Roots và bơm chân không trục vít. Vui lòng liên hệ với chúng tôi nếu bạn có yêu cầu đặc biệt.
Hỏi: Tôi đang gặp sự cố với máy bơm chân không hoặc hệ thống chân không, bạn có thể giúp đỡ được không?
A: Chúng tôi có các kỹ sư ứng dụng và thiết kế với hơn 30 năm kinh nghiệm trong lĩnh vực ứng dụng chân không ở nhiều ngành công nghiệp khác nhau và đã hỗ trợ rất nhiều khách hàng giải quyết các vấn đề của họ, chẳng hạn như vấn đề rò rỉ, giải pháp tiết kiệm năng lượng, hệ thống chân không thân thiện với môi trường hơn, v.v. Vui lòng liên hệ với chúng tôi và chúng tôi sẽ rất vui nếu có thể hỗ trợ gì cho hệ thống chân không của bạn.
Hỏi: Công ty có thể thiết kế và chế tạo hệ thống hút chân không theo yêu cầu riêng của khách hàng không?
A: Vâng, chúng tôi có thể làm được việc này.
Hỏi: Số lượng đặt hàng tối thiểu (MOQ) của bạn là bao nhiêu?
A: 1 chiếc hoặc 1 bộ.
Hỏi: Thời gian giao hàng của bạn như thế nào?
A: 5-10 ngày làm việc đối với bơm chân không tiêu chuẩn nếu số lượng dưới 20 chiếc, 20-30 ngày làm việc đối với hệ thống chân không thông thường với số lượng dưới 5 bộ. Đối với số lượng lớn hơn hoặc các yêu cầu đặc biệt, vui lòng liên hệ với chúng tôi để kiểm tra thời gian giao hàng.
Hỏi: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Thanh toán bằng T/T, đặt cọc trước 50% và thanh toán 50% trước khi giao hàng.
Hỏi: Chế độ bảo hành thì sao?
A: Chúng tôi cung cấp bảo hành 1 năm (ngoại trừ các bộ phận hao mòn).
Hỏi: Dịch vụ thế nào?
A: Chúng tôi cung cấp dịch vụ hỗ trợ kỹ thuật từ xa qua video. Chúng tôi có thể cử kỹ sư dịch vụ đến tận nơi đối với một số yêu cầu đặc biệt.
| Dịch vụ hậu mãi: | Hướng dẫn bằng video trực tuyến |
|---|---|
| Bảo hành: | 1 năm |
| Dầu hay không: | Dầu |
| Kết cấu: | Bơm chân không quay |
| Phương pháp hút chân không: | Bơm dịch chuyển tích cực |
| Tốc độ bơm định mức (50Hz): | 100m3/H |
Vai trò của bơm chân không trong sản xuất chất bán dẫn là gì?
Máy bơm chân không đóng vai trò cực kỳ quan trọng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn. Dưới đây là giải thích chi tiết:
Sản xuất chất bán dẫn bao gồm việc sản xuất các mạch tích hợp (IC) và các thiết bị bán dẫn khác được sử dụng trong nhiều ứng dụng điện tử. Máy bơm chân không được sử dụng rộng rãi trong suốt quá trình sản xuất chất bán dẫn để tạo ra và duy trì điều kiện chân không cần thiết cho các bước sản xuất cụ thể.
Dưới đây là một số vai trò quan trọng của bơm chân không trong sản xuất chất bán dẫn:
1. Các quy trình lắng đọng: Máy bơm chân không được sử dụng trong các quy trình lắng đọng như lắng đọng hơi vật lý (PVD) và lắng đọng hơi hóa học (CVD). Các quy trình này bao gồm việc lắng đọng các lớp màng mỏng vật liệu lên các tấm bán dẫn để tạo ra các lớp và hoa văn khác nhau. Máy bơm chân không giúp tạo ra môi trường áp suất thấp cần thiết để kiểm soát chính xác quá trình lắng đọng, đảm bảo sự hình thành màng đồng nhất và chất lượng cao.
2. Khắc và Làm sạch: Máy bơm chân không được sử dụng trong các quy trình khắc và làm sạch, bao gồm việc loại bỏ các lớp hoặc chất gây ô nhiễm cụ thể khỏi các tấm bán dẫn. Các kỹ thuật khắc khô, chẳng hạn như khắc plasma và khắc ion phản ứng, yêu cầu môi trường chân không để tạo điều kiện thuận lợi cho quá trình ion hóa và loại bỏ vật liệu. Máy bơm chân không giúp tạo ra các điều kiện áp suất thấp cần thiết cho các quy trình khắc và làm sạch hiệu quả.
3. Cấy ion: Cấy ion là một quy trình được sử dụng để đưa các tạp chất vào các vùng cụ thể của tấm bán dẫn nhằm thay đổi các đặc tính điện của nó. Máy bơm chân không được sử dụng để hút chân không buồng cấy ion, tạo ra môi trường chân không cần thiết cho việc gia tốc và cấy chùm ion một cách chính xác và có kiểm soát.
4. Xử lý và vận chuyển wafer: Máy bơm chân không được sử dụng trong hệ thống xử lý và vận chuyển wafer. Các hệ thống này sử dụng lực hút chân không để giữ và thao tác các wafer bán dẫn một cách an toàn trong các bước sản xuất khác nhau, chẳng hạn như nạp và dỡ wafer từ buồng xử lý, vận chuyển bằng robot giữa các thiết bị và căn chỉnh wafer.
5. Hệ thống khóa tải: Hệ thống khóa tải được sử dụng để chuyển các tấm bán dẫn giữa điều kiện khí quyển và môi trường chân không của buồng xử lý. Bơm chân không là thành phần không thể thiếu của hệ thống khóa tải, tạo ra và duy trì điều kiện chân không cần thiết cho việc chuyển tấm bán dẫn đồng thời giảm thiểu rủi ro ô nhiễm.
6. Đo lường và Kiểm tra: Máy bơm chân không được sử dụng trong các công cụ đo lường và kiểm tra dùng để đặc trưng hóa các thiết bị bán dẫn. Các công cụ này, chẳng hạn như kính hiển vi điện tử quét (SEM) và hệ thống chùm ion hội tụ (FIB), thường hoạt động trong môi trường chân không để cho phép chụp ảnh độ phân giải cao và phân tích chính xác cấu trúc và khuyết tật của chất bán dẫn.
7. Phát hiện rò rỉ: Máy bơm chân không được sử dụng trong các hệ thống phát hiện rò rỉ để xác định và định vị các điểm rò rỉ trong buồng chân không, đường ống xử lý và các bộ phận khác. Các hệ thống này dựa vào máy bơm chân không để hút chân không hệ thống và sau đó theo dõi sự tăng áp suất, cho thấy sự hiện diện của rò rỉ.
8. Kiểm soát môi trường phòng sạch: Các nhà máy sản xuất chất bán dẫn duy trì môi trường phòng sạch để ngăn ngừa ô nhiễm trong quá trình chế tạo. Máy bơm chân không được sử dụng trong thiết kế và vận hành hệ thống thông gió và lọc khí của phòng sạch, giúp duy trì mức độ sạch không khí cần thiết bằng cách loại bỏ các hạt bụi và duy trì sự chênh lệch áp suất không khí được kiểm soát.
Máy bơm chân không được sử dụng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn thường được chuyên dụng để đáp ứng các yêu cầu khắt khe của ngành. Chúng cần cung cấp mức độ chân không cao, điều khiển chính xác, mức độ ô nhiễm thấp và độ tin cậy để hoạt động liên tục.
Nhìn chung, máy bơm chân không là thiết bị không thể thiếu trong sản xuất chất bán dẫn, cho phép tạo ra các điều kiện chân không cần thiết cho nhiều quy trình khác nhau, đảm bảo sản xuất các thiết bị bán dẫn chất lượng cao.
Có thể sử dụng máy bơm chân không để phát hiện rò rỉ không?
Đúng vậy, máy bơm chân không có thể được sử dụng để phát hiện rò rỉ. Dưới đây là giải thích chi tiết:
Phát hiện rò rỉ là một nhiệm vụ quan trọng trong nhiều ngành công nghiệp, bao gồm sản xuất, ô tô, hàng không vũ trụ và HVAC. Nó bao gồm việc xác định và định vị các điểm rò rỉ trong một hệ thống hoặc bộ phận có thể dẫn đến mất chất lỏng, khí hoặc áp suất. Máy bơm chân không có thể đóng vai trò quan trọng trong quá trình phát hiện rò rỉ bằng cách tạo ra môi trường áp suất thấp và hỗ trợ phát hiện rò rỉ thông qua nhiều phương pháp khác nhau.
Dưới đây là một số cách sử dụng bơm chân không để phát hiện rò rỉ:
1. Phương pháp giảm áp suất chân không: Phương pháp giảm áp suất chân không là một kỹ thuật phổ biến được sử dụng để phát hiện rò rỉ. Phương pháp này bao gồm việc tạo ra chân không trong một hệ thống hoặc bộ phận kín bằng cách sử dụng bơm chân không và theo dõi sự thay đổi áp suất theo thời gian. Nếu có rò rỉ, áp suất sẽ tăng dần do không khí hoặc khí xâm nhập. Bằng cách đo tốc độ tăng áp suất, vị trí và kích thước của chỗ rò rỉ có thể được ước tính. Bơm chân không được sử dụng để hút chân không hệ thống và thiết lập áp suất chân không ban đầu cần thiết cho thử nghiệm.
2. Phương pháp kiểm tra bằng bọt khí: Kiểm tra bằng bọt khí là một phương pháp đơn giản và trực quan để phát hiện rò rỉ. Trong phương pháp này, bộ phận hoặc hệ thống cần kiểm tra được nén khí, sau đó nhúng vào chất lỏng, thường là nước xà phòng. Nếu có rò rỉ, khí thoát ra từ bộ phận sẽ tạo thành bọt khí trong chất lỏng, cho biết sự hiện diện và vị trí của chỗ rò rỉ. Có thể sử dụng máy bơm chân không để tạo ra sự chênh lệch áp suất, đẩy khí ra khỏi chỗ rò rỉ, giúp dễ dàng phát hiện bọt khí hơn.
3. Phát hiện rò rỉ khí heli: Phát hiện rò rỉ khí heli là một phương pháp có độ nhạy cao được sử dụng để xác định vị trí các vết rò rỉ cực nhỏ. Heli, là một nguyên tử nhỏ, có thể dễ dàng thâm nhập vào các khe hở và vết rò rỉ nhỏ. Trong phương pháp này, hệ thống hoặc bộ phận được nén khí heli, và một máy bơm chân không được sử dụng để hút chân không khu vực xung quanh. Sau đó, một máy dò rò rỉ khí heli được sử dụng để dò tìm hoặc quét khu vực nhằm phát hiện sự hiện diện của khí heli, từ đó chỉ ra vị trí rò rỉ. Máy bơm chân không rất cần thiết để tạo ra môi trường áp suất thấp cần thiết cho phương pháp này và đảm bảo phát hiện chính xác.
4. Thử nghiệm thay đổi áp suất: Máy bơm chân không cũng có thể được sử dụng trong thử nghiệm thay đổi áp suất để phát hiện rò rỉ. Phương pháp này bao gồm việc tạo áp suất cho một hệ thống hoặc bộ phận, sau đó cách ly nó khỏi nguồn áp suất. Áp suất được theo dõi theo thời gian, và bất kỳ sự giảm áp suất đáng kể nào đều cho thấy sự hiện diện của rò rỉ. Máy bơm chân không có thể được sử dụng để hút chân không hệ thống sau khi tạo áp suất, đưa nó trở lại áp suất khí quyển để so sánh hoặc thử nghiệm lại.
5. Phát hiện rò rỉ bằng máy đo phổ khối: Phát hiện rò rỉ bằng máy đo phổ khối là một phương pháp có độ nhạy và độ chính xác cao được sử dụng để xác định và định lượng các vết rò rỉ. Phương pháp này bao gồm việc đưa một khí đánh dấu, thường là heli, vào hệ thống hoặc bộ phận đang được kiểm tra. Một máy bơm chân không được sử dụng để hút chân không khu vực xung quanh, và một máy đo phổ khối được sử dụng để phân tích các mẫu khí nhằm phát hiện sự hiện diện của khí đánh dấu. Phương pháp này cho phép phát hiện và định lượng chính xác các vết rò rỉ ở mức rất thấp. Máy bơm chân không rất quan trọng để tạo ra các điều kiện chân không cần thiết và đảm bảo kết quả đáng tin cậy.
Tóm lại, máy bơm chân không có thể được sử dụng hiệu quả cho mục đích phát hiện rò rỉ. Chúng hỗ trợ nhiều phương pháp phát hiện rò rỉ khác nhau như giảm chân không, thử nghiệm bong bóng, phát hiện rò rỉ heli, thử nghiệm thay đổi áp suất và phát hiện rò rỉ bằng máy quang phổ khối. Máy bơm chân không tạo ra môi trường áp suất thấp cần thiết, hỗ trợ hút chân không hệ thống hoặc bộ phận đang được thử nghiệm và cho phép phát hiện rò rỉ chính xác và đáng tin cậy. Việc lựa chọn máy bơm chân không phụ thuộc vào các yêu cầu cụ thể của phương pháp phát hiện rò rỉ và độ nhạy cần thiết cho ứng dụng.
Có thể sử dụng máy bơm chân không trong phòng thí nghiệm không?
Đúng vậy, máy bơm chân không được sử dụng rộng rãi trong các phòng thí nghiệm cho nhiều ứng dụng khác nhau. Dưới đây là giải thích chi tiết:
Máy bơm chân không là công cụ thiết yếu trong phòng thí nghiệm vì chúng cho phép các nhà khoa học và nhà nghiên cứu tạo ra và kiểm soát môi trường chân không hoặc áp suất thấp. Các điều kiện được kiểm soát này rất quan trọng đối với nhiều quy trình và thí nghiệm khoa học. Dưới đây là một số lý do chính tại sao máy bơm chân không được sử dụng trong phòng thí nghiệm:
1. Bay hơi và chưng cất: Máy bơm chân không thường được sử dụng trong các quá trình bay hơi và chưng cất trong phòng thí nghiệm. Bằng cách tạo ra chân không, chúng làm giảm điểm sôi của chất lỏng, cho phép quá trình bay hơi diễn ra nhẹ nhàng và được kiểm soát tốt hơn. Điều này đặc biệt hữu ích đối với các chất nhạy cảm với nhiệt hoặc khi cần kiểm soát chính xác quá trình bay hơi.
2. Lọc: Lọc chân không là một kỹ thuật phổ biến trong phòng thí nghiệm để tách chất rắn khỏi chất lỏng hoặc chất khí. Máy bơm chân không tạo ra lực hút, giúp hút chất lỏng hoặc khí qua màng lọc, giữ lại các hạt rắn. Phương pháp này được sử dụng rộng rãi trong các quy trình như chuẩn bị mẫu, vi sinh học và hóa phân tích.
3. Sấy đông khô: Máy bơm chân không đóng vai trò quan trọng trong quá trình sấy đông khô hoặc đông khô. Sấy đông khô bao gồm việc loại bỏ độ ẩm khỏi một chất khi nó ở trạng thái đông lạnh, bảo toàn cấu trúc và tính chất của nó. Máy bơm chân không tạo điều kiện cho sự thăng hoa của nước đóng băng trực tiếp thành hơi, dẫn đến việc loại bỏ độ ẩm trong điều kiện áp suất thấp.
4. Lò và buồng chân không: Máy bơm chân không được sử dụng kết hợp với lò và buồng chân không để tạo ra môi trường áp suất thấp được kiểm soát cho nhiều ứng dụng khác nhau. Lò chân không được sử dụng để sấy khô các vật liệu nhạy nhiệt, loại bỏ dung môi hoặc tiến hành các phản ứng dưới áp suất giảm. Buồng chân không được sử dụng để thử nghiệm các linh kiện trong điều kiện mô phỏng không gian hoặc độ cao, khử khí vật liệu hoặc nghiên cứu các hiện tượng liên quan đến chân không.
5. Thiết bị phân tích: Nhiều thiết bị phân tích trong phòng thí nghiệm cần đến bơm chân không để hoạt động đúng cách. Ví dụ, máy quang phổ khối, kính hiển vi điện tử, thiết bị phân tích bề mặt và các thiết bị phân tích khác thường yêu cầu điều kiện chân không để duy trì tính toàn vẹn của mẫu và đạt được kết quả chính xác.
6. Hóa học và Khoa học Vật liệu: Máy bơm chân không được sử dụng trong nhiều thí nghiệm hóa học và khoa học vật liệu. Chúng được dùng để khử khí mẫu, tạo môi trường được kiểm soát, tiến hành phản ứng dưới áp suất giảm hoặc nghiên cứu các phản ứng pha khí. Máy bơm chân không cũng được sử dụng trong các kỹ thuật lắng đọng màng mỏng như lắng đọng hơi vật lý (PVD) và lắng đọng hơi hóa học (CVD).
7. Hệ thống chân không dùng trong thí nghiệm: Trong nghiên cứu khoa học, hệ thống chân không thường được thiết kế và chế tạo cho các thí nghiệm hoặc ứng dụng cụ thể. Các hệ thống này có thể bao gồm nhiều bơm chân không, van và buồng để tạo ra môi trường chân không chuyên dụng phù hợp với yêu cầu của thí nghiệm.
Nhìn chung, máy bơm chân không là công cụ đa năng được sử dụng rộng rãi trong các phòng thí nghiệm thuộc nhiều lĩnh vực khoa học khác nhau. Chúng cho phép các nhà nghiên cứu kiểm soát và điều chỉnh điều kiện chân không hoặc áp suất thấp, tạo điều kiện thuận lợi cho nhiều quy trình, thí nghiệm và phân tích. Việc lựa chọn máy bơm chân không phụ thuộc vào các yếu tố như mức độ chân không cần thiết, lưu lượng, khả năng tương thích hóa học và nhu cầu ứng dụng cụ thể.
Biên tập bởi CX 13/12/2023
