Opis produktu
Opis produktu
Łopatkowa pompa próżniowa składa się głównie z korpusu pompy, wirnika, łopatki obrotowej, pokrywy końcowej, zbiornika oleju itd. Wirnik z trzema łopatkami jest zamontowany mimośrodowo w cylindrycznej obudowie, a trzy łopatki przesuwają się w szczelinach wirnika. Podczas obrotu siła odśrodkowa utrzymuje łopatki w kontakcie z obudową, a obrót napędza wirnik, który przesuwa się wzdłuż obudowy.
| 1.Interfejs kanału wydechowego | 2. Filtr wydechowy | 3. Zawór ssący |
| 4.Wskaźnik poziomu oleju | 5. Zawór spustowy | 6. Korek wlewu |
| 7. Zawór wydechowy | 8.Ostrze | 9. Wirnik |
| 10.Czołg | 11.Wentylator osiowy | 12.Silnik |
| 13.Filtr oleju | 14. Interfejs portu ssącego | 15. Zawór balastu powietrznego |
| 16.Rura chłodnicy | 17.Zawór zwrotny |
Zasada działania
Poniższy schemat przedstawia konstrukcję pompy. Podczas obrotu wirnika łopatki, obudowa i dwie pokrywy tworzą trzy komory. Z każdym obrotem objętość każdej komory zwiększa się lub zmniejsza w wyniku przesuwania się łopatek, co kończy proces zasysania i tłoczenia.
Główne cechy
- Możliwość ciągłej pracy przez długi czas przy ciśnieniu wlotowym 5×104Rocznie.
- Niski poziom hałasu, niskie wibracje, nie ma potrzeby stosowania śrub fundamentowych.
- Filtr wylotowy w pompie skutecznie oddziela olej od gazu, zapobiegając zanieczyszczeniu środowiska.
- Napędzany bezpośrednio silnikiem.
- Kompaktowa konstrukcja, niska waga, chłodzenie powietrzem.
- Łatwy w obsłudze, instalacji i konserwacji.
Aplikacje
Łopatkowa pompa próżniowa nadaje się do zastosowań, w których wymagania dotyczące podciśnienia nie są wysokie, a działanie jest niezawodne, a konserwacja łatwa. Jest powszechnie stosowana w pakowaniu próżniowym różnych produktów spożywczych, formowaniu próżniowym w przemyśle gumowym i tworzyw sztucznych, transporcie papieru w drukarstwie, impregnacji próżniowej i zapobieganiu wyciekom różnych odlewów, w urządzeniach próżniowych, suszeniu próżniowym, filtracji próżniowej oraz w chirurgii szpitalnej.
Parametry produktu
| Model | Nominalna prędkość pompowania (50 Hz) m³/godz. |
Maksymalne ciśnienie ≤Pa |
Ciśnienie końcowe z zaworem balastu gazowego włączonym ≤Pa | Moc znamionowa silnika (50 Hz) kW | Prędkość znamionowa silnika (50 Hz) obr./min | Pojemność pary wodnej kg/godz. |
Poziom hałasu dB(A) | Pojemność oleju L |
Temperatura pracy ºC |
Rozmiar przyłącza ssącego cal |
Rozmiar przyłącza wylotowego cal |
Waga kg |
| XD-571 | 10 | 200 | 0.37 | 2800 | 0.4 | 62 | 0.5 | 77 | G1/2″ | G1/2″ | 16 | |
| XD-571 | 20 | 200 | 0.75 | 2880 | 0.4 | 63 | 0.5 | 77 | G1/2″ | G1/2″ | 18 | |
| XD-571A | 20 | 200 | 0.75 | 2880 | 0.4 | 63 | 0.5 | 77 | G1/2″ | G1/2″ | 18 | |
| XD-571C | 20 | 200 | 0.9 | 2880 | 0.4 | 65 | 0.5 | 79 | G3/4″ | G3/4″ | 20 | |
| XD-571 | 25 | 200 | 0.75 | 2880 | 0.4 | 65 | 0.5 | 79 | G3/4″ | G3/4″ | 20 | |
| XD-040C | 40 | 50 | 200 | 1.1 | 1500 | 0.6 | 64 | 1.25 | 76 | G1 1/4″ | G1 1/4″ | 48 |
| XD-063C | 63 | 50 | 200 | 1.5/2.2 | 1500 | 1 | 65 | 2 | 79 | G1 1/4″ | G1 1/4″ | 58 |
| XD-063D | 63 | 50 | 200 | 1.5 | 1500 | 0.6 | 65 | 1.5 | 79 | G1 1/4″ | G1 1/4″ | 49 |
| XD-100C | 100 | 50 | 200 | 2.2/3 | 1500 | 1.5 | 66 | 2 | 79 | G1 1/4″ | G1 1/4″ | 72 |
| XD-160C | 160 | 50 | 200 | 4 | 1500 | 2.5 | 71 | 5 | 70 | G2″ | G2″ | 158 |
| XD-202C | 200 | 50 | 200 | 4 | 1500 | 4 | 73 | 5 | 70 | G2″ | G2″ | 158 |
| XD-250C | 250 | 50 | 200 | 5.5 | 1500 | 4.5 | 73 | 7 | 73 | G2″ | G2″ | 195 |
| XD-302C | 300 | 50 | 200 | 5.5/7.5 | 1500 | 5 | 75 | 7 | 75 | G2″ | G2″ | 211 |
Rysunek wymiarowy
Nasza fabryka
Często zadawane pytania
P: Jakie informacje powinienem podać w ramach zapytania?
A: Możesz bezpośrednio zapytać o model pompy, jednak zawsze zalecamy kontakt z nami, abyśmy mogli pomóc Ci sprawdzić, czy pompa będzie najbardziej odpowiednia do Twojego zastosowania.
P: Czy można wykonać pompę próżniową na zamówienie?
Odp.: Tak, możemy wykonać projekty specjalne dostosowane do potrzeb klienta. Na przykład niestandardowe systemy uszczelnień, a także specjalną obróbkę powierzchni dla pomp próżniowych Roots i śrubowych pomp próżniowych. W przypadku specjalnych wymagań prosimy o kontakt.
P: Mam problem z naszymi pompami próżniowymi lub systemami próżniowymi. Czy możesz mi pomóc?
A: Nasi inżynierowie ds. aplikacji i projektowania mają ponad 30 lat doświadczenia w zastosowaniach próżniowych w różnych branżach i pomagają wielu klientom rozwiązywać problemy, takie jak problemy z nieszczelnościami, rozwiązania energooszczędne, bardziej przyjazne dla środowiska systemy próżniowe itp. Skontaktuj się z nami, a z przyjemnością pomożemy Ci w rozwiązaniu Twojego systemu próżniowego.
P: Czy potraficie zaprojektować i wykonać systemy próżniowe na zamówienie?
A: Tak, jesteśmy w tym dobrzy.
P: Jakie jest minimalne zamówienie?
A: 1 sztuka lub 1 zestaw.
P: Jaki jest czas dostawy?
A: 5-10 dni roboczych dla standardowej pompy próżniowej przy zamówieniu poniżej 20 sztuk, 20-30 dni roboczych dla konwencjonalnego systemu próżniowego przy zamówieniu poniżej 5 zestawów. W przypadku większych ilości lub specjalnych wymagań prosimy o kontakt w celu ustalenia czasu realizacji.
P: Jakie są warunki płatności?
A: Przelewem bankowym, zaliczka/depozyt 50% i płatność 50% przed wysyłką.
P: A jak jest z gwarancją?
A: Udzielamy 1-rocznej gwarancji (z wyjątkiem części eksploatacyjnych).
P: Jak wygląda usługa?
A: Oferujemy zdalne wsparcie techniczne z wykorzystaniem wideo. Możemy wysłać inżyniera serwisowego na miejsce w przypadku specjalnych wymagań.
| Serwis posprzedażowy: | Instrukcja wideo online |
|---|---|
| Gwarancja: | 1 rok |
| Olej czy nie: | Olej |
| Struktura: | Pompa próżniowa rotacyjna |
| Metoda wyciągowa: | Pompa wyporowa |
| Nominalna prędkość pompowania (50 Hz): | 100m3/godz. |
Jaką rolę odgrywają pompy próżniowe w produkcji półprzewodników?
Pompy próżniowe odgrywają kluczową rolę w procesach produkcji półprzewodników. Oto szczegółowe wyjaśnienie:
Produkcja półprzewodników obejmuje produkcję układów scalonych (IC) i innych urządzeń półprzewodnikowych wykorzystywanych w różnych zastosowaniach elektronicznych. Pompy próżniowe są szeroko stosowane w całym procesie produkcji półprzewodników w celu wytworzenia i utrzymania wymaganych warunków próżniowych na poszczególnych etapach produkcji.
Oto kilka kluczowych ról pomp próżniowych w produkcji półprzewodników:
1. Procesy osadzania: Pompy próżniowe są wykorzystywane w procesach osadzania, takich jak fizyczne osadzanie z fazy gazowej (PVD) i chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD). Procesy te polegają na osadzaniu cienkich warstw materiałów na płytkach półprzewodnikowych w celu utworzenia różnorodnych warstw i wzorów. Pompy próżniowe pomagają stworzyć środowisko niskiego ciśnienia niezbędne do precyzyjnej kontroli procesu osadzania, zapewniając jednorodne i wysokiej jakości formowanie warstw.
2. Trawienie i czyszczenie: Pompy próżniowe są wykorzystywane w procesach trawienia i czyszczenia, które obejmują usuwanie określonych warstw lub zanieczyszczeń z płytek półprzewodnikowych. Techniki trawienia na sucho, takie jak trawienie plazmowe i trawienie jonami reaktywnymi, wymagają środowiska próżniowego, aby ułatwić jonizację i usuwanie materiału. Pompy próżniowe pomagają w stworzeniu niezbędnych warunków niskiego ciśnienia dla wydajnego trawienia i czyszczenia.
3. Implantacja jonowa: Implantacja jonowa to proces polegający na wprowadzaniu domieszek do określonych obszarów płytki półprzewodnikowej w celu modyfikacji jej właściwości elektrycznych. Pompy próżniowe służą do opróżniania komory implantacji jonowej, tworząc środowisko próżniowe niezbędne do precyzyjnego i kontrolowanego przyspieszania i implantacji wiązki jonowej.
4. Transport i przenoszenie płytek półprzewodnikowych: Pompy próżniowe są stosowane w systemach transportu i przenoszenia płytek półprzewodnikowych. Systemy te wykorzystują podciśnienie do bezpiecznego trzymania i manipulowania płytkami półprzewodnikowymi na różnych etapach produkcji, takich jak załadunek i rozładunek z komór procesowych, przenoszenie między narzędziami za pomocą robota oraz wyrównywanie płytek.
5. Systemy Load Lock: Systemy Load Lock służą do przenoszenia płytek półprzewodnikowych między warunkami atmosferycznymi a środowiskiem próżniowym komór procesowych. Pompy próżniowe są integralnymi elementami systemów Load Lock, tworząc i utrzymując warunki próżniowe niezbędne do przenoszenia płytek, minimalizując jednocześnie ryzyko zanieczyszczeń.
6. Metrologia i inspekcja: Pompy próżniowe są wykorzystywane w narzędziach metrologicznych i inspekcyjnych służących do charakteryzowania urządzeń półprzewodnikowych. Narzędzia te, takie jak skaningowe mikroskopy elektronowe (SEM) i systemy zogniskowanej wiązki jonów (FIB), często pracują w środowisku próżniowym, aby umożliwić obrazowanie o wysokiej rozdzielczości i dokładną analizę struktur i defektów półprzewodników.
7. Wykrywanie nieszczelności: Pompy próżniowe są wykorzystywane w systemach wykrywania nieszczelności do identyfikacji i lokalizacji nieszczelności w komorach próżniowych, liniach technologicznych i innych komponentach. Systemy te wykorzystują pompy próżniowe do opróżniania układu, a następnie monitorowania wzrostu ciśnienia, co wskazuje na obecność nieszczelności.
8. Kontrola środowiska w pomieszczeniu czystym: Zakłady produkujące półprzewodniki utrzymują środowisko w pomieszczeniu czystym, aby zapobiec zanieczyszczeniom podczas procesu produkcji. Pompy próżniowe są wykorzystywane w projektowaniu i obsłudze systemów wentylacji i filtracji w pomieszczeniu czystym, pomagając utrzymać wymagany poziom czystości powietrza poprzez usuwanie cząstek stałych i utrzymywanie kontrolowanych różnic ciśnień powietrza.
Pompy próżniowe stosowane w procesach produkcji półprzewodników są często wyspecjalizowane, aby sprostać rygorystycznym wymaganiom branży. Muszą zapewniać wysoki poziom próżni, precyzyjną kontrolę, niski poziom zanieczyszczeń i niezawodność umożliwiającą ciągłą pracę.
Pompy próżniowe są niezastąpione w produkcji półprzewodników, gdyż umożliwiają stworzenie niezbędnych warunków próżniowych dla różnych procesów, gwarantując produkcję wysokiej jakości układów półprzewodnikowych.
Czy pompy próżniowe można stosować do wykrywania wycieków?
Tak, pompy próżniowe mogą być używane do wykrywania nieszczelności. Oto szczegółowe wyjaśnienie:
Wykrywanie wycieków jest kluczowym zadaniem w różnych branżach, w tym w przemyśle wytwórczym, motoryzacyjnym, lotniczym i kosmicznym oraz systemach HVAC. Polega ono na identyfikacji i lokalizacji wycieków w systemie lub komponencie, które mogą skutkować utratą płynów, gazów lub ciśnienia. Pompy próżniowe mogą odgrywać istotną rolę w procesach wykrywania wycieków, tworząc środowisko niskiego ciśnienia i ułatwiając wykrywanie wycieków różnymi metodami.
Oto kilka sposobów wykorzystania pomp próżniowych do wykrywania nieszczelności:
1. Metoda zaniku próżni: Metoda zaniku próżni to powszechnie stosowana technika wykrywania nieszczelności. Polega ona na wytworzeniu próżni w szczelnym układzie lub elemencie za pomocą pompy próżniowej i monitorowaniu zmian ciśnienia w czasie. W przypadku wystąpienia nieszczelności, ciśnienie będzie stopniowo wzrastać z powodu przedostawania się powietrza lub gazu. Pomiar tempa wzrostu ciśnienia pozwala oszacować lokalizację i rozmiar nieszczelności. Pompy próżniowe służą do opróżnienia układu i ustalenia początkowej próżni wymaganej do przeprowadzenia testu.
2. Badanie metodą pęcherzykową: Badanie metodą pęcherzykową to prosta i wizualna metoda wykrywania nieszczelności. W tej metodzie testowany element lub system jest poddawany działaniu gazu pod ciśnieniem, a następnie zanurzany w cieczy, zazwyczaj wodzie z mydłem. W przypadku nieszczelności, gaz ulatniający się z elementu utworzy pęcherzyki w cieczy, wskazując na obecność i lokalizację nieszczelności. Pompy próżniowe mogą być użyte do wytworzenia różnicy ciśnień, która wypycha gaz z nieszczelności, ułatwiając wykrycie pęcherzyków.
3. Wykrywanie wycieków helu: Wykrywanie wycieków helu to niezwykle czuła metoda lokalizacji bardzo małych wycieków. Hel, jako mały atom, może z łatwością przenikać przez niewielkie otwory i nieszczelności. W tej metodzie system lub element jest poddawany działaniu ciśnienia helu, a następnie pompa próżniowa jest używana do ewakuacji otaczającego obszaru. Następnie detektor wycieku helu jest używany do wykrywania lub skanowania obszaru w celu wykrycia obecności helu, wskazując lokalizację wycieku. Pompy próżniowe są niezbędne do stworzenia środowiska niskiego ciśnienia wymaganego w tej metodzie i zapewnienia dokładnego wykrywania.
4. Testowanie zmian ciśnienia: Pompy próżniowe mogą być również używane do testowania zmian ciśnienia w celu wykrycia nieszczelności. Metoda ta polega na zwiększeniu ciśnienia w systemie lub podzespole, a następnie odłączeniu go od źródła ciśnienia. Ciśnienie jest monitorowane w czasie, a każdy znaczący spadek ciśnienia wskazuje na obecność nieszczelności. Pompy próżniowe mogą być używane do opróżnienia systemu po zwiększeniu ciśnienia, przywracając ciśnienie atmosferyczne w celu porównania lub ponownego przetestowania.
5. Wykrywanie nieszczelności za pomocą spektrometru masowego: Wykrywanie nieszczelności za pomocą spektrometru masowego to niezwykle czuła i precyzyjna metoda identyfikacji i ilościowego określania nieszczelności. Polega ona na wprowadzeniu gazu wskaźnikowego, zazwyczaj helu, do badanego układu lub komponentu. Pompa próżniowa służy do opróżnienia otaczającego obszaru, a spektrometr masowy do analizy próbek gazu pod kątem obecności gazu wskaźnikowego. Ta metoda umożliwia dokładne wykrywanie i ilościowe określanie nieszczelności nawet na bardzo niskim poziomie. Pompy próżniowe odgrywają kluczową rolę w tworzeniu niezbędnych warunków próżniowych i zapewnianiu wiarygodnych wyników.
Podsumowując, pompy próżniowe mogą być skutecznie wykorzystywane do wykrywania nieszczelności. Ułatwiają one wykrywanie nieszczelności różnymi metodami, takimi jak zanik próżni, testowanie pęcherzykowe, wykrywanie nieszczelności helem, testowanie zmian ciśnienia oraz wykrywanie nieszczelności za pomocą spektrometru masowego. Pompy próżniowe tworzą wymagane środowisko niskiego ciśnienia, wspomagają ewakuację testowanego systemu lub komponentu oraz umożliwiają dokładne i niezawodne wykrywanie nieszczelności. Wybór pompy próżniowej zależy od specyficznych wymagań metody wykrywania nieszczelności oraz czułości wymaganej w danym zastosowaniu.
Czy pompy próżniowe można stosować w laboratoriach?
Tak, pompy próżniowe są szeroko stosowane w laboratoriach w szerokim zakresie zastosowań. Oto szczegółowe wyjaśnienie:
Pompy próżniowe są niezbędnymi narzędziami w warunkach laboratoryjnych, ponieważ umożliwiają naukowcom i badaczom tworzenie i kontrolowanie środowisk próżniowych lub niskociśnieniowych. Te kontrolowane warunki są kluczowe dla różnych procesów naukowych i eksperymentów. Oto kilka kluczowych powodów, dla których pompy próżniowe są stosowane w laboratoriach:
1. Odparowywanie i destylacja: Pompy próżniowe są często stosowane w laboratoryjnych procesach odparowywania i destylacji. Wytwarzając próżnię, obniżają one temperaturę wrzenia cieczy, umożliwiając łagodniejsze i bardziej kontrolowane odparowywanie. Jest to szczególnie przydatne w przypadku substancji wrażliwych na ciepło lub gdy wymagana jest precyzyjna kontrola procesu odparowywania.
2. Filtracja: Filtracja próżniowa to powszechna technika stosowana w laboratoriach do oddzielania ciał stałych od cieczy lub gazów. Pompy próżniowe wytwarzają podciśnienie, które pomaga zasysać ciecz lub gaz przez filtr, pozostawiając cząstki stałe. Metoda ta jest szeroko stosowana w procesach takich jak przygotowywanie próbek, mikrobiologia i chemia analityczna.
3. Liofilizacja: Pompy próżniowe odgrywają kluczową rolę w procesach liofilizacji. Liofilizacja polega na usunięciu wilgoci z substancji w stanie zamrożonym, zachowując jej strukturę i właściwości. Pompy próżniowe umożliwiają sublimację zamrożonej wody bezpośrednio do postaci pary wodnej, co prowadzi do usunięcia wilgoci w warunkach niskiego ciśnienia.
4. Piece i komory próżniowe: Pompy próżniowe są stosowane w połączeniu z piecami i komorami próżniowymi do tworzenia kontrolowanych środowisk niskiego ciśnienia w różnych zastosowaniach. Piece próżniowe służą do suszenia materiałów wrażliwych na ciepło, usuwania rozpuszczalników lub prowadzenia reakcji pod obniżonym ciśnieniem. Komory próżniowe służą do testowania komponentów w symulowanych warunkach kosmicznych lub na dużych wysokościach, odgazowywania materiałów lub badania zjawisk związanych z próżnią.
5. Instrumenty analityczne: Wiele laboratoryjnych instrumentów analitycznych wymaga pomp próżniowych do prawidłowego działania. Na przykład spektrometry masowe, mikroskopy elektronowe, sprzęt do analizy powierzchni i inne instrumenty analityczne często wymagają warunków próżniowych, aby zachować integralność próbki i uzyskać dokładne wyniki.
6. Chemia i materiałoznawstwo: Pompy próżniowe są wykorzystywane w licznych eksperymentach chemicznych i materiałoznawczych. Służą do odgazowywania próbek, tworzenia kontrolowanych atmosfer, prowadzenia reakcji pod obniżonym ciśnieniem lub badania reakcji w fazie gazowej. Pompy próżniowe są również wykorzystywane w technikach osadzania cienkich warstw, takich jak fizyczne osadzanie z fazy gazowej (PVD) i chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD).
7. Systemy próżniowe do eksperymentów: W badaniach naukowych systemy próżniowe są często projektowane i konstruowane na potrzeby konkretnych eksperymentów lub zastosowań. Systemy te mogą obejmować wiele pomp próżniowych, zaworów i komór, tworząc specjalistyczne środowiska próżniowe dostosowane do wymagań eksperymentu.
Ogólnie rzecz biorąc, pompy próżniowe to wszechstronne narzędzia, które znajdują szerokie zastosowanie w laboratoriach różnych dyscyplin naukowych. Umożliwiają one badaczom kontrolowanie i manipulowanie warunkami próżni lub niskiego ciśnienia, ułatwiając szeroki zakres procesów, eksperymentów i analiz. Wybór pompy próżniowej zależy od takich czynników, jak wymagany poziom próżni, natężenie przepływu, kompatybilność chemiczna oraz specyficzne potrzeby danego zastosowania.
redaktor przez CX 2023-12-13
