제품 설명
제품 설명
로터리 베인 진공 펌프는 주로 펌프 본체, 로터, 로터리 베인, 엔드 캡, 오일 탱크 등으로 구성됩니다. 3개의 베인이 있는 로터는 원통형 하우징에 편심적으로 장착되며, 이 3개의 베인은 로터 슬롯에서 미끄러지듯 움직입니다. 회전 시 원심력이 베인을 하우징에 밀착시키고, 회전 운동으로 로터가 하우징을 따라 미끄러지듯 이동합니다.
| 1. 배기 포트 인터페이스 | 2. 배기 필터 | 3.흡입 밸브 |
| 4. 오일 레벨 게이지 | 5. 배수 밸브 | 6. 주입구 마개 |
| 7. 배기 밸브 | 8. 블레이드 | 9. 로터 |
| 10.탱크 | 11. 축류 팬 | 12. 모터 |
| 13. 오일 필터 | 14.흡입구 인터페이스 | 15. 공기식 밸러스트 밸브 |
| 16. 라디에이터 튜브 | 17. 리턴 밸브 |
작동 원리
아래 그림은 펌프의 구조를 보여줍니다. 로터가 회전하면 날개, 하우징 및 양쪽 끝 덮개가 세 개의 챔버를 형성합니다. 매 회전마다 날개의 슬라이딩으로 인해 각 챔버의 부피가 증가하거나 감소하여 흡입 및 토출 과정이 완료됩니다.
주요 특징
- 5×10의 입구 압력 하에서 장시간 연속 작동 가능4아빠.
- 저소음, 저진동, 발 고정 볼트가 필요 없습니다.
- 펌프에 장착된 배기 필터는 가스에서 오일을 효과적으로 분리하여 환경 오염을 방지합니다.
- 모터에 의해 직접 구동됩니다.
- 콤팩트한 구조, 가벼운 무게, 공랭식.
- 작동, 설치 및 유지 관리가 간편합니다.
응용 프로그램
회전식 날개 진공 펌프는 진공도가 높지 않아도 작동이 안정적이고 유지보수가 간편한 용도에 적합합니다. 다양한 식품의 진공 포장, 고무 및 플라스틱 산업의 진공 성형, 인쇄 산업의 용지 이송, 각종 주조물의 진공 함침 및 누출 방지, 진공 고정 장치, 진공 건조, 진공 여과, 병원 수술 등 다양한 분야에서 널리 사용됩니다.
제품 매개변수
| 모델 | 정격 펌핑 속도(50Hz) m³/h |
궁극적인 압력 ≤Pa |
가스 밸러스트 밸브가 작동 중일 때 최종 압력은 ≤Pa입니다. | 정격 모터 출력(50Hz) kW | 정격 모터 속도(50Hz) RPM | 수증기 용량 kg/시간 |
소음 수준(dB(A)) | 석유 용량 엘 |
작동 온도 섭씨 |
흡입 연결 크기 인치 |
배출 연결 크기 인치 |
무게 킬로그램 |
| XD-571 | 10 | 200 | 0.37 | 2800 | 0.4 | 62 | 0.5 | 77 | G1/2″ | G1/2″ | 16 | |
| XD-571 | 20 | 200 | 0.75 | 2880 | 0.4 | 63 | 0.5 | 77 | G1/2″ | G1/2″ | 18 | |
| XD-571A | 20 | 200 | 0.75 | 2880 | 0.4 | 63 | 0.5 | 77 | G1/2″ | G1/2″ | 18 | |
| XD-571C | 20 | 200 | 0.9 | 2880 | 0.4 | 65 | 0.5 | 79 | G3/4″ | G3/4″ | 20 | |
| XD-571 | 25 | 200 | 0.75 | 2880 | 0.4 | 65 | 0.5 | 79 | G3/4″ | G3/4″ | 20 | |
| XD-040C | 40 | 50 | 200 | 1.1 | 1500 | 0.6 | 64 | 1.25 | 76 | G1 1/4″ | G1 1/4″ | 48 |
| XD-063C | 63 | 50 | 200 | 1.5/2.2 | 1500 | 1 | 65 | 2 | 79 | G1 1/4″ | G1 1/4″ | 58 |
| XD-063D | 63 | 50 | 200 | 1.5 | 1500 | 0.6 | 65 | 1.5 | 79 | G1 1/4″ | G1 1/4″ | 49 |
| XD-100C | 100 | 50 | 200 | 2.2/3 | 1500 | 1.5 | 66 | 2 | 79 | G1 1/4″ | G1 1/4″ | 72 |
| XD-160C | 160 | 50 | 200 | 4 | 1500 | 2.5 | 71 | 5 | 70 | G2″ | G2″ | 158 |
| XD-202C | 200 | 50 | 200 | 4 | 1500 | 4 | 73 | 5 | 70 | G2″ | G2″ | 158 |
| XD-250C | 250 | 50 | 200 | 5.5 | 1500 | 4.5 | 73 | 7 | 73 | G2″ | G2″ | 195 |
| XD-302C | 300 | 50 | 200 | 5.5/7.5 | 1500 | 5 | 75 | 7 | 75 | G2″ | G2″ | 211 |
치수 도면
우리 공장
자주 묻는 질문
질문: 문의를 위해 어떤 정보를 제공해야 하나요?
A: 모델을 기준으로 직접 문의하실 수도 있지만, 펌프가 귀하의 용도에 가장 적합한지 확인하는 데 도움을 드릴 수 있도록 저희에게 연락하시는 것을 권장합니다.
질문: 맞춤형 진공 펌프를 제작할 수 있습니까?
A: 네, 고객의 요구 사항에 맞춰 특별한 설계를 제공할 수 있습니다. 예를 들어, 맞춤형 밀봉 시스템, 특수 표면 처리 등을 루트 진공 펌프 및 스크류 진공 펌프에 적용할 수 있습니다. 특별한 요구 사항이 있으시면 언제든지 문의해 주세요.
질문: 저희 진공 펌프나 진공 시스템에 문제가 있는데, 도움을 주실 수 있나요?
A: 저희는 다양한 산업 분야에서 30년 이상의 진공 응용 분야 경력을 보유한 애플리케이션 및 설계 엔지니어들을 보유하고 있으며, 누출 문제, 에너지 절약 솔루션, 더욱 친환경적인 진공 시스템 등 많은 고객사의 문제를 해결해 드리고 있습니다. 진공 시스템 관련 문의 사항이 있으시면 언제든지 연락 주십시오. 기꺼이 도움을 드리겠습니다.
질문: 맞춤형 진공 시스템을 설계하고 제작할 수 있습니까?
A: 네, 저희가 이 일을 잘 해낼 수 있습니다.
질문: 최소 주문 수량(MOQ)은 얼마인가요?
A: 1개 또는 1세트.
질문: 배송 시간은 어떻게 되나요?
A: 표준 진공 펌프는 수량이 20개 미만일 경우 5~10영업일, 일반 진공 시스템은 5세트 미만일 경우 20~30영업일이 소요됩니다. 수량이 많거나 특별한 요구 사항이 있는 경우, 납기일을 확인하기 위해 당사에 문의해 주십시오.
질문: 지불 조건은 어떻게 되나요?
A: T/T 송금으로, 50% 선불/보증금, 나머지 50%는 선적 전에 지불하시면 됩니다.
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A: 저희는 소모품을 제외하고 1년 무상 보증을 제공합니다.
질문: 서비스는 어땠나요?
A: 저희는 원격 영상 기술 지원을 제공합니다. 특별한 요청 사항이 있는 경우 서비스 엔지니어를 현장으로 파견할 수도 있습니다.
| 판매 후 서비스: | 온라인 동영상 강의 |
|---|---|
| 보증: | 1년 |
| 기름을 넣느냐 마느냐: | 기름 |
| 구조: | 회전식 진공 펌프 |
| 배기 방식: | 정용량 펌프 |
| 공칭 펌핑 속도(50Hz): | 100m3/시간 |
반도체 제조에서 진공 펌프의 역할은 무엇인가요?
진공 펌프는 반도체 제조 공정에서 매우 중요한 역할을 합니다. 자세한 설명은 다음과 같습니다.
반도체 제조는 다양한 전자 기기에 사용되는 집적 회로(IC) 및 기타 반도체 소자의 생산을 포함합니다. 진공 펌프는 반도체 제조 공정 전반에 걸쳐 특정 제조 단계에 필요한 진공 조건을 생성하고 유지하는 데 광범위하게 사용됩니다.
다음은 반도체 제조에서 진공 펌프의 주요 역할 몇 가지입니다.
1. 증착 공정: 진공 펌프는 물리적 증착(PVD) 및 화학적 증착(CVD)과 같은 증착 공정에 사용됩니다. 이러한 공정은 반도체 웨이퍼 위에 얇은 막을 증착하여 다양한 층과 패턴을 형성하는 것을 포함합니다. 진공 펌프는 증착 공정을 정밀하게 제어하는 데 필요한 저압 환경을 조성하여 균일하고 고품질의 막 형성을 보장합니다.
2. 에칭 및 세척: 진공 펌프는 반도체 웨이퍼에서 특정 층이나 오염 물질을 제거하는 에칭 및 세척 공정에 사용됩니다. 플라즈마 에칭 및 반응성 이온 에칭과 같은 건식 에칭 기술은 물질의 이온화 및 제거를 용이하게 하기 위해 진공 환경을 필요로 합니다. 진공 펌프는 효율적인 에칭 및 세척 공정에 필요한 저압 조건을 조성하는 데 도움을 줍니다.
3. 이온 주입: 이온 주입은 반도체 웨이퍼의 특정 영역에 불순물을 도입하여 전기적 특성을 변경하는 공정입니다. 진공 펌프를 사용하여 이온 주입 챔버를 진공 상태로 만들어 정확하고 제어된 이온 빔 가속 및 주입에 필요한 진공 환경을 조성합니다.
4. 웨이퍼 핸들링 및 이송: 진공 펌프는 웨이퍼 핸들링 및 이송 시스템에 사용됩니다. 이러한 시스템은 진공 흡입을 이용하여 공정 챔버에서의 로딩 및 언로딩, 로봇을 이용한 장비 간 이송, 웨이퍼 정렬 등 다양한 제조 단계에서 반도체 웨이퍼를 안전하게 고정하고 조작합니다.
5. 로드록 시스템: 로드록 시스템은 반도체 웨이퍼를 대기 조건과 공정 챔버의 진공 환경 사이에서 이송하는 데 사용됩니다. 진공 펌프는 로드록 시스템의 필수 구성 요소로서, 웨이퍼 이송에 필요한 진공 조건을 생성 및 유지하는 동시에 오염 위험을 최소화합니다.
6. 계측 및 검사: 진공 펌프는 반도체 소자의 특성 분석에 사용되는 계측 및 검사 장비에 활용됩니다. 주사 전자 현미경(SEM) 및 집속 이온 빔(FIB) 시스템과 같은 이러한 장비는 고해상도 이미징과 반도체 구조 및 결함에 대한 정확한 분석을 가능하게 하기 위해 진공 환경에서 작동하는 경우가 많습니다.
7. 누출 감지: 진공 펌프는 진공 챔버, 공정 라인 및 기타 구성 요소의 누출을 식별하고 위치를 파악하기 위한 누출 감지 시스템에 사용됩니다. 이러한 시스템은 진공 펌프를 사용하여 시스템 내부를 진공 상태로 만든 다음 압력 상승을 감지하여 누출 여부를 확인합니다.
8. 클린룸 환경 제어: 반도체 제조 시설은 제조 공정 중 오염을 방지하기 위해 클린룸 환경을 유지합니다. 진공 펌프는 클린룸 환기 및 여과 시스템의 설계 및 작동에 사용되어 미립자를 제거하고 제어된 공기압 차이를 유지함으로써 필요한 공기 청정도를 유지하는 데 도움을 줍니다.
반도체 제조 공정에 사용되는 진공 펌프는 업계의 엄격한 요구 사항을 충족하기 위해 특수 제작되는 경우가 많습니다. 이러한 펌프는 높은 진공도, 정밀한 제어, 낮은 오염 수준, 그리고 연속 작동을 위한 신뢰성을 제공해야 합니다.
전반적으로 진공 펌프는 반도체 제조에 필수적인 장비로, 다양한 공정에 필요한 진공 조건을 조성하여 고품질 반도체 소자 생산을 보장합니다.
진공 펌프를 누출 감지에 사용할 수 있을까요?
네, 진공 펌프는 누출 감지 목적으로 사용할 수 있습니다. 자세한 설명은 다음과 같습니다.
누출 감지는 제조, 자동차, 항공우주, 냉난방(HVAC) 등 다양한 산업 분야에서 매우 중요한 작업입니다. 시스템이나 부품에서 유체, 가스 또는 압력 손실을 초래할 수 있는 누출 부위를 찾아 위치를 파악하는 것이 핵심입니다. 진공 펌프는 저압 환경을 조성하고 다양한 방법을 통해 누출 감지를 용이하게 함으로써 누출 감지 과정에서 중요한 역할을 수행할 수 있습니다.
진공 펌프를 사용하여 누출을 감지하는 몇 가지 방법은 다음과 같습니다.
1. 진공 감쇠법: 진공 감쇠법은 누출 탐지에 널리 사용되는 기술입니다. 이 방법은 진공 펌프를 이용하여 밀폐된 시스템이나 부품 내부에 진공을 형성하고 시간에 따른 압력 변화를 측정하는 것입니다. 누출이 있는 경우, 공기나 가스가 유입되어 압력이 점차 증가합니다. 압력 상승률을 측정함으로써 누출 위치와 크기를 추정할 수 있습니다. 진공 펌프는 시스템 내부를 진공 상태로 만들어 시험에 필요한 초기 진공을 형성하는 데 사용됩니다.
2. 기포 검사: 기포 검사는 누출을 감지하는 간단하고 시각적인 방법입니다. 이 방법에서는 검사 대상 부품 또는 시스템에 가스를 주입한 후 액체(일반적으로 비눗물)에 담급니다. 누출이 있는 경우, 부품에서 새어 나온 가스가 액체 속에서 기포를 형성하여 누출 부위와 위치를 알려줍니다. 진공 펌프를 사용하여 압력 차이를 발생시켜 누출 부위에서 가스를 밀어내면 기포를 더 쉽게 감지할 수 있습니다.
3. 헬륨 누출 감지: 헬륨 누출 감지는 극히 미세한 누출까지 찾아낼 수 있는 고감도 방법입니다. 헬륨은 원자 크기가 작아 작은 틈이나 누출 부위를 쉽게 통과할 수 있습니다. 이 방법에서는 시스템 또는 부품에 헬륨 가스를 주입하여 가압한 후, 진공 펌프를 사용하여 주변 영역을 진공 상태로 만듭니다. 그런 다음 헬륨 누출 감지기를 사용하여 해당 영역에서 헬륨의 존재 여부를 감지하고 누출 위치를 파악합니다. 진공 펌프는 이 방법에 필요한 저압 환경을 조성하고 정확한 감지를 보장하는 데 필수적입니다.
4. 압력 변화 시험: 진공 펌프는 누출 감지를 위한 압력 변화 시험에도 사용될 수 있습니다. 이 방법은 시스템 또는 구성 요소에 압력을 가한 후 압력원으로부터 차단하는 방식으로 진행됩니다. 시간에 따른 압력 변화를 모니터링하고, 상당한 압력 강하가 발생하면 누출이 있는 것으로 판단합니다. 진공 펌프를 사용하여 가압 후 시스템을 진공 상태로 만들어 대기압으로 되돌린 다음 비교 또는 재시험을 수행할 수 있습니다.
5. 질량 분석기를 이용한 누출 탐지: 질량 분석기를 이용한 누출 탐지는 누출을 식별하고 정량화하는 데 사용되는 매우 민감하고 정밀한 방법입니다. 이 방법은 테스트 대상 시스템 또는 구성 요소에 추적 가스(일반적으로 헬륨)를 주입하는 방식으로 진행됩니다. 진공 펌프를 사용하여 주변 영역을 진공 상태로 만든 후, 질량 분석기를 이용하여 가스 샘플에서 추적 가스의 존재 여부를 분석합니다. 이 방법은 매우 미량의 누출까지 정확하게 탐지하고 정량화할 수 있습니다. 진공 펌프는 필요한 진공 상태를 조성하고 신뢰할 수 있는 결과를 보장하는 데 필수적입니다.
요약하자면, 진공 펌프는 누출 감지에 효과적으로 사용될 수 있습니다. 진공 감쇠, 기포 시험, 헬륨 누출 감지, 압력 변화 시험, 질량 분석기 누출 감지 등 다양한 누출 감지 방법을 지원합니다. 진공 펌프는 필요한 저압 환경을 조성하고, 테스트 대상 시스템 또는 부품의 진공 배출을 도와 정확하고 신뢰할 수 있는 누출 감지를 가능하게 합니다. 진공 펌프의 선택은 특정 누출 감지 방법의 요구 사항과 적용 분야에 필요한 감도에 따라 달라집니다.
진공 펌프는 실험실에서 사용할 수 있을까요?
네, 진공 펌프는 실험실에서 매우 다양한 용도로 널리 사용됩니다. 자세한 설명은 다음과 같습니다.
진공 펌프는 실험실에서 과학자와 연구자들이 진공 또는 저압 환경을 만들고 제어할 수 있도록 해주기 때문에 필수적인 도구입니다. 이러한 제어된 조건은 다양한 과학적 과정과 실험에 매우 중요합니다. 실험실에서 진공 펌프가 사용되는 주요 이유는 다음과 같습니다.
1. 증발 및 증류: 진공 펌프는 실험실 증발 및 증류 공정에 자주 사용됩니다. 진공을 생성함으로써 액체의 끓는점을 낮추어 보다 부드럽고 정밀하게 제어된 증발을 가능하게 합니다. 이는 열에 민감한 물질이나 증발 공정을 정확하게 제어해야 할 때 특히 유용합니다.
2. 여과: 진공 여과는 실험실에서 액체나 기체로부터 고체를 분리하는 데 흔히 사용되는 기술입니다. 진공 펌프는 흡입력을 발생시켜 액체나 기체를 필터를 통해 빨아들이고 고체 입자는 걸러냅니다. 이 방법은 시료 준비, 미생물학, 분석 화학 등 다양한 분야에서 널리 사용됩니다.
3. 동결 건조: 진공 펌프는 동결 건조 공정에서 매우 중요한 역할을 합니다. 동결 건조는 물질을 얼린 상태에서 수분을 제거하여 구조와 물성을 보존하는 공정입니다. 진공 펌프는 얼어붙은 물이 직접 수증기로 승화되도록 하여 저압 조건에서 수분을 제거합니다.
4. 진공 오븐 및 챔버: 진공 펌프는 다양한 응용 분야에 필요한 제어된 저압 환경을 조성하기 위해 진공 오븐 및 챔버와 함께 사용됩니다. 진공 오븐은 열에 민감한 재료를 건조하거나, 용매를 제거하거나, 감압 조건에서 반응을 수행하는 데 사용됩니다. 진공 챔버는 모의 우주 또는 고고도 환경에서 부품을 테스트하거나, 재료의 탈기 또는 진공 관련 현상을 연구하는 데 활용됩니다.
5. 분석 기기: 많은 실험실 분석 기기는 제대로 작동하기 위해 진공 펌프에 의존합니다. 예를 들어, 질량 분석기, 전자 현미경, 표면 분석 장비 및 기타 분석 기기는 시료의 무결성을 유지하고 정확한 결과를 얻기 위해 진공 상태를 필요로 하는 경우가 많습니다.
6. 화학 및 재료 과학: 진공 펌프는 수많은 화학 및 재료 과학 실험에 사용됩니다. 시료의 탈기, 제어된 분위기 조성, 감압 조건에서의 반응 수행, 기체상 반응 연구 등에 활용됩니다. 또한 물리적 증착(PVD) 및 화학적 증착(CVD)과 같은 박막 증착 기술에도 사용됩니다.
7. 실험용 진공 시스템: 과학 연구에서 진공 시스템은 특정 실험이나 응용 분야에 맞게 설계 및 제작되는 경우가 많습니다. 이러한 시스템에는 여러 대의 진공 펌프, 밸브 및 챔버가 포함되어 실험 요구 사항에 맞춘 특수 진공 환경을 조성할 수 있습니다.
전반적으로 진공 펌프는 다양한 과학 분야의 실험실에서 광범위하게 사용되는 다재다능한 도구입니다. 연구원들은 진공 펌프를 통해 진공 또는 저압 조건을 제어하고 조작할 수 있어 다양한 공정, 실험 및 분석을 수행할 수 있습니다. 진공 펌프의 선택은 필요한 진공도, 유량, 화학적 호환성 및 특정 응용 분야의 요구 사항과 같은 요소에 따라 달라집니다.
CX 편집, 2023년 12월 13일
