製品説明
真空ポンプは化学工場や製薬工場の分野で使用されています。
製品説明
ドライスクリュー真空ポンプは、一対のスクリューを使用し、ポンプシェル内で同期高速逆回転して吸引と排気の効果を生み出し、2つのスクリューは微細な動的バランス補正を行い、ベアリングによって支えられ、ポンプシェル内に設置されています。スクリューとスクリューの間には一定の隙間があるため、ポンプは作動し、スクリュー同士の摩擦がなく、スムーズに動作し、騒音が低く、作動室は潤滑油を必要としません。そのため、ドライスクリューポンプは大量の蒸気と少量の粉塵ガスを除去でき、真空限界が高く、消費電力が低く、省エネ、メンテナンスフリーなどの利点があります。
当社の強み
作業室内に媒体が存在しないため、クリーンな真空が得られます。
回転部間の隙間がなく、高速運転が可能で、全体の容積が小さい。
ガスに圧縮がないので、凝固性ガスの抽出に適しています。
大量の蒸気と少量の粉塵ガスを除去できます。
. 高真空、到達真空度1Paまで。
ネジ材質は高強度特殊材料、材料密度、耐摩耗性、安定した性能を備えています。
摩擦回転部分なし、低騒音。
シンプルな構造でメンテナンスも簡単。
使用範囲が広い:腐食環境でも使用可能。
オイル消費も水も不要。
ポンプガスはポンプ本体から直接排出されるため、水質汚染がなく、環境圧力がなく、ガス回収がより便利になります。
ルーツポンプ、分子ポンプとのオイルフリーユニットとして構成可能です。
一般的な用途
——石油・ガス回収 ——生物医学 ——食品加工 ——単結晶炉
——真空成形 ——真空炎精錬 ——電子太陽光発電 ——半導体合成
製品パラメータ
| タイプ | 基本パラメータ | ||||||||
| ポンピング速度 メートル3/時 |
圧力限界(Pa) | 電力(kW) | 回転数(rpm) | 入口口径 んん |
出口口径 mm | 冷却水量 L/分 |
騒音 dB(A) | 全体寸法 (長さ*幅*高さ) んん |
|
| LGV-180 | 180 | 5 | 4 | 2900 | 40 | 40 | 2 | 78歳未満 | 1157x375x734 |
| LGV-250 | 250 | 5 | 5.5 | 2900 | 50 | 40 | 5.5 | 78歳未満 | 1462x417x820 |
| LGV-360 | 360 | 5 | 7.5 | 2900 | 50 | 40 | 4 | W78 | 1462x455x820 |
| LGV-540 | 540 | 5 | 11 | 2900 | 65 | 50 | 8 | W80 | 1578x543x860 |
| LGV-720 | 720 | 5 | 15 | 2900 | 80 | 65 | 10 | 80未満 | 1623x562x916 |
| LGV-1100 | 1100 | 5 | 22 | 2900 | 100 | 80 | 14 | w 80 | 1866x598x1050 |
| LG V-1800 | 1800 | 5 | 37 | 2900 | 150 | 100 | 20 | w 80 | 2092×951×1150 |
特性曲線
詳細な写真
ゼネラルマネージャーのスピーチ
真空技術を深く追求し、真空機器を研究開発・製造することで、真空分野での最適なソリューションを提供し、真空の応用をより容易にします。
会社概要
浙江凱恩真空科技有限公司は、真空装置の研究開発、製造、運営を一体化したハイテク企業です。強力な技術力、優れた設備、そして行き届いたアフターサービスを備え、製品の製造工程はISO9001品質システムに基づいて厳密に管理されています。主にスクリュー真空ポンプ、ルーツポンプ、クロー真空ポンプ、ランオフ真空ポンプ、スクロールポンプ、水封式真空ポンプ、真空ユニットなどの真空システムを製造・販売しています。
新工場 pl杭州
当社の製品は、食品、医薬品、冷凍、乾燥プラント、および変圧器関連機器メーカーの真空装置に数多く納入されています。製品は、真空乾燥・脱水、灯油気相乾燥、真空含浸、真空冶金、真空コーティング、真空蒸発、真空濃縮、石油・ガス回収など、幅広く利用されています。
高精度加工装置
当社は大学と連携し、コア技術の研究開発に取り組んでおり、数十件の独自の知的財産特許を保有しています。品質、信用、サービスという基本理念を堅持し、真空ポンプの最先端技術を自らの責任と捉え、厳格な業務姿勢とプロフェッショナルな業務スタイルで、様々な業界の真空機器アプリケーションのお客様に誠心誠意サービスを提供しています。
製品の品質が消費者の協力を勝ち取る
出荷中
ISO9001
| 保証: | 1年 |
|---|---|
| 石油か否か: | オイルフリー |
| 構造: | スクリュー |
| 排気方式: | エントラップメント真空ポンプ |
| 真空度: | 高真空 |
| 仕事機能: | 主吸引ポンプ |
| カスタマイズ: |
利用可能
|
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|---|

半導体製造における真空ポンプの役割とは?
真空ポンプは半導体製造プロセスにおいて重要な役割を果たします。以下に詳しく説明します。
半導体製造には、様々な電子機器に使用される集積回路(IC)やその他の半導体デバイスの製造が含まれます。真空ポンプは、半導体製造プロセス全体を通して広く使用され、特定の製造工程に必要な真空状態を作り出し、維持します。
半導体製造における真空ポンプの主な役割は次のとおりです。
1. 成膜プロセス:真空ポンプは、物理蒸着(PVD)や化学蒸着(CVD)などの成膜プロセスで使用されます。これらのプロセスでは、半導体ウェーハ上に材料の薄膜を堆積させ、様々な層やパターンを形成します。真空ポンプは、成膜プロセスの精密な制御に必要な低圧環境を作り出し、均一で高品質な膜形成を実現します。
2. エッチングとクリーニング:真空ポンプは、半導体ウェーハから特定の層や汚染物質を除去するエッチングおよびクリーニングプロセスで使用されます。プラズマエッチングや反応性イオンエッチングなどのドライエッチング技術では、材料のイオン化と除去を促進するために真空環境が必要です。真空ポンプは、効率的なエッチングおよびクリーニングプロセスに必要な低圧状態を作り出すのに役立ちます。
3. イオン注入:イオン注入は、半導体ウェハの特定の領域に不純物を導入して電気特性を変化させるプロセスです。真空ポンプを用いてイオン注入チャンバーを真空状態にすることで、イオンビームの加速と注入を正確かつ制御された状態で行うために必要な真空環境を作り出します。
4. ウェーハのハンドリングと搬送:真空ポンプはウェーハのハンドリングと搬送システムに使用されます。これらのシステムは、プロセスチャンバーからのロードとアンロード、ツール間のロボット搬送、ウェーハアライメントなど、様々な製造工程において、真空吸引力を利用して半導体ウェーハを安全に保持・操作します。
5. ロードロックシステム:ロードロックシステムは、半導体ウェハを大気環境とプロセスチャンバー内の真空環境間で搬送するために使用されます。真空ポンプはロードロックシステムの不可欠なコンポーネントであり、ウェハ搬送に必要な真空状態を生成・維持しながら、汚染リスクを最小限に抑えます。
6. 計測と検査:真空ポンプは、半導体デバイスの特性評価に使用される計測・検査ツールに利用されています。走査型電子顕微鏡(SEM)や集束イオンビーム(FIB)システムなどのこれらのツールは、半導体の構造や欠陥の高解像度画像化と正確な分析を可能にするため、真空環境で動作することがよくあります。
7. リーク検出:真空ポンプは、真空チャンバー、プロセスライン、その他のコンポーネントにおけるリーク検出システムで使用され、リーク検出システムにおけるリーク箇所を特定・特定します。これらのシステムでは、真空ポンプを使用してシステムを真空状態にし、圧力上昇を監視してリークの存在を示唆します。
8. クリーンルーム環境制御:半導体製造施設では、製造工程中の汚染を防ぐためにクリーンルーム環境を維持しています。真空ポンプは、クリーンルームの換気および濾過システムの設計と運用に使用され、粒子を除去し、空気の差圧を制御することで、必要な空気清浄度レベルを維持するのに役立ちます。
半導体製造プロセスで使用される真空ポンプは、業界の厳しい要件を満たすために、多くの場合特殊化されています。高い真空レベル、精密な制御、低い汚染レベル、そして連続運転のための信頼性が求められます。
総じて、真空ポンプは半導体製造に不可欠であり、さまざまなプロセスに必要な真空状態を作り出すことを可能にし、高品質の半導体デバイスの製造を保証します。

真空ポンプは 3D プリントの品質にどのような影響を与えますか?
真空ポンプは、3Dプリントプロセスの品質と性能を向上させる上で重要な役割を果たします。以下に詳しく説明します。
3Dプリンティング(積層造形とも呼ばれる)は、材料を層状に積み重ねることで立体的な物体を作製するプロセスです。真空ポンプは、3Dプリンティングの様々な側面で活用され、印刷された部品の全体的な品質、精度、信頼性を向上させます。真空ポンプが3Dプリンティングに及ぼす主な影響は以下のとおりです。
1. 材料のハンドリングと濾過:3Dプリントシステムでは、真空ポンプが材料のハンドリングと流れの制御に使用されます。真空ポンプは、ポリマーや金属粉末などの粉末材料を保管容器からプリントチャンバーへ輸送するために必要な吸引力を生成します。また、真空システムは材料から不要な粒子や不純物を濾過・除去し、原料の純度と一貫性を確保する役割も担います。これにより、プリントプロセス中の目詰まりや汚染の問題を防ぐことができます。
2. ビルドプレートの接着:造形物をビルドプレートに適切に接着することは、寸法精度の確保と造形プロセス中の反りや剥離の防止に不可欠です。真空ポンプを用いて真空環境(吸引力)を作り出し、ビルドプレートをしっかりと保持することで、造形物の最初の層と造形面との強固な接着を確保します。これにより安定性が向上し、造形プロセス中の層ずれや変形のリスクが最小限に抑えられます。
3. 材料の乾燥:フィラメントや粉末ポリマーなど、多くの3Dプリント材料は周囲の環境から水分を吸収する可能性があります。水分を含んだ材料は、プリント品質の低下、機械特性の低下、あるいはプリント部品の欠陥につながる可能性があります。乾燥機能を備えた真空ポンプを使用することで、低圧環境を作り出し、プリントプロセスで使用する前に材料から水分を効果的に除去することができます。これにより、材料の乾燥状態と品質が確保され、プリント結果が向上します。
4. 光造形法(SLA)における樹脂ハンドリング:SLA 3Dプリントでは、光源を用いて液状樹脂を選択的に硬化させ、目的の造形物を作成します。樹脂ハンドリングプロセスを容易にするために、真空ポンプが活用されます。真空ポンプは液状樹脂から気泡を脱気または除去するために使用され、材料吐出時のスムーズで気泡のない流れを確保します。これにより、最終的な造形物に閉じ込められた空気や気泡による欠陥や不具合を防ぐことができます。
5. 筐体圧力制御:選択的レーザー焼結法(SLS)やバインダージェッティング法などの一部の3Dプリンティングプロセスでは、プリンティングチャンバーを特定の圧力または制御された雰囲気に維持する必要があります。真空ポンプは、プリンティングチャンバー内に制御された低圧または真空環境を作り出すために使用されます。これにより、正確な圧力調整が可能になり、最適なプリンティング結果を得るための条件を維持できます。このプリンティング環境の制御は、酸化防止、材料の流れ改善、そしてプリンティング部品の品質と一貫性の向上に役立ちます。
6. 後処理と洗浄:真空ポンプは、3Dプリント部品の後処理工程や洗浄にも役立ちます。例えば、サポート材の除去や表面仕上げといった工程では、真空システムは、プリントされた物体から残留サポート材や余分な粉末を除去するのに役立ちます。また、蒸気スムージングなどの真空ベースの洗浄方法にも使用することで、より滑らかな表面仕上げを実現し、プリント部品の美観を向上させることができます。
7. システムのメンテナンスと濾過:3Dプリントシステムで使用される真空ポンプは、効率的で信頼性の高い動作を確保するために、定期的なメンテナンスと適切な濾過が必要です。真空ポンプ内の効果的な濾過システムは、プリント中に発生する汚染物質や粒子を除去し、それらが循環してプリント部品に付着する可能性を防ぎます。これにより、プリント環境の清浄度が維持され、最終的なプリント物に欠陥や不純物が混入するリスクを最小限に抑えることができます。
まとめると、真空ポンプは3Dプリントの品質に大きな影響を与えます。材料のハンドリングと濾過、ビルドプレートの接着、材料の乾燥、SLAにおける樹脂のハンドリング、筐体圧力制御、後処理と洗浄、そしてシステムのメンテナンスと濾過に寄与します。これらの重要な領域に真空ポンプを活用することで、3Dプリントプロセスの精度、寸法安定性、材料品質、そして全体的なプリント品質を向上させることができます。

真空ポンプは実験室で使用できますか?
はい、真空ポンプは幅広い用途で研究室で広く使用されています。詳しい説明は次のとおりです。
真空ポンプは、科学者や研究者が真空または低圧環境を作り出し、制御することを可能にするため、実験室に不可欠なツールです。これらの制御された環境は、様々な科学的プロセスや実験にとって不可欠です。真空ポンプが実験室で使用される主な理由は次のとおりです。
1. 蒸発と蒸留:真空ポンプは、実験室での蒸発および蒸留プロセスで頻繁に使用されます。真空状態を作り出すことで液体の沸点を下げ、より穏やかで制御された蒸発を可能にします。これは、熱に弱い物質や、蒸発プロセスの精密な制御が必要な場合に特に有用です。
2. ろ過:真空ろ過は、実験室で固体を液体または気体から分離するための一般的な技術です。真空ポンプは吸引力を生み出し、液体または気体をフィルターに引き込み、固体粒子だけを残します。この方法は、サンプル調製、微生物学、分析化学などのプロセスで広く使用されています。
3. 凍結乾燥:真空ポンプは凍結乾燥(lyophilization)プロセスにおいて重要な役割を果たします。凍結乾燥とは、物質を凍結状態のまま水分を除去し、その構造と特性を維持するプロセスです。真空ポンプは凍結した水分を直接蒸気へと昇華させ、低圧条件下で水分を除去します。
4. 真空オーブンおよびチャンバー:真空ポンプは、真空オーブンおよびチャンバーと組み合わせて使用され、様々な用途において制御された低圧環境を作り出します。真空オーブンは、熱に弱い材料の乾燥、溶媒の除去、または減圧下での反応に使用されます。真空チャンバーは、宇宙空間または高高度環境を模擬した条件下での部品の試験、材料の脱ガス、または真空関連現象の研究に利用されます。
5. 分析機器:多くの実験室分析機器は、正常に動作するために真空ポンプに依存しています。例えば、質量分析計、電子顕微鏡、表面分析装置などの分析機器は、サンプルの完全性を維持し、正確な結果を得るために、真空状態を必要とすることがよくあります。
6. 化学および材料科学:真空ポンプは、化学および材料科学の様々な実験で利用されています。サンプルの脱ガス、制御された雰囲気の生成、減圧下での反応の実施、気相反応の研究などに使用されます。また、物理蒸着法(PVD)や化学蒸着法(CVD)といった薄膜堆積技術にも真空ポンプが利用されています。
7. 実験用真空システム:科学研究では、特定の実験や用途に合わせて真空システムが設計・構築されることがよくあります。これらのシステムには、複数の真空ポンプ、バルブ、チャンバーが組み込まれ、実験の要件に合わせてカスタマイズされた特殊な真空環境を作り出すことができます。
真空ポンプは、様々な科学分野の研究室で広く使用されている汎用性の高いツールです。研究者は真空または低圧状態を制御・操作することができ、幅広いプロセス、実験、分析を容易にします。真空ポンプの選択は、必要な真空レベル、流量、化学的適合性、特定のアプリケーションのニーズなどの要因によって異なります。


編集者 CX 2023-11-24