製品説明
製品説明
Tシリーズ真空ポンプ
特徴：
1.耐腐食性材料を使用した設計
2.オイル逆流防止装置を積極的に設置し、シャットダウン時にオイル逆流が発生しないようにする
3.さまざまなニーズを満たす2種類のガスバラスト
4.高圧下でもスムーズに作業できる
5.付属品が少なく、クイックリリース
6.4件の特許取得済み
主なテクニカル指標
| T8 | T16 | T30 | T40 | T60 | |
| 50Hz 公称排気速度 M³/h(L/s) | 9.2/2.6 | 17.0/4.7 | 31.4/8.7 | 42/11.7 | 63/17.5 |
| 50Hz 排気速度 M³/h(L/s) | 7.3/2.0 | 14.8/4.1 | 28.9/8.0 | 39.6/11 | 59/16.4 |
| ガスバラストなしの部分極限圧力（Pa） | 5×10-2 | 5×10-2 | 5×10-2 | 4×10-2 | 4×10-2 |
| ガスバラストなしの全到達圧力（Pa） | 8×10-1 | 4×10-1 | 4×10-1 | 4×10-1 | 4×10-1 |
| ガスバラストを含む全到達圧力（Pa） | 2×10-1 | 6×10-1 | 6×10-1 | 6×10-1 | 6×10-1 |
| 蒸気許容圧力（Pa） | 15 | 20 | 25 | 25 | 25 |
| 蒸気ポンプ能力（g/h） | 100 | 230 | 800 | 1000 | 1100 |
| オイル容量（最小/最大）L | 0.7/1 | 1.4/1.8 | 1.5/2 | 3/4 | 4/5 |
| 騒音レベル（ガスバラスト閉/開）（db a） | 56/58 | 58/60 | 58/60 | 58/60 | 58/60 |
| 周囲温度 ºC | 12-45 | 12-45 | 12-45 | 8-45 | 8-45 |
| コネクタ | KF25 | KF25 | KF25 | KF40 | KF40 |
| 電源 | シングル/3相 | シングル/3相 | シングル/3相 | シングル/3相 | 3相 |
| 定格出力(kw) | 0.37 | 0.55 | 0.75 | 1.1 | 1.5 |
| 寸法（mm） | 485×185×270 | 540×185×270 | 585×185×270 | 660×240×350 | 720×240×350 |
| 重量（オイルなし）kg | 21 | 36 | 40 | 65 | 75 |
詳細な写真
認定資格
よくある質問
| アフターサービス: | オンラインサービス |
|---|---|
| 保証： | 1年 |
| 石油か否か： | / |
| 構造： | ロータリー真空ポンプ |
| 排気方式： | / |
| 真空度: | 高真空 |
| サンプル: |
US$ 1200/個
1個(最小注文数) | |
|---|
| カスタマイズ: |
利用可能
|
|
|---|
真空レベルとは何ですか? 真空ポンプではどのように測定されますか?
真空度とは、真空システムにおける大気圧より低い圧力の度合いを指します。これは、システム内の「空」、つまり気体分子が存在しない状態を示します。真空ポンプにおける真空度測定の詳細な説明は以下のとおりです。
真空度は通常、真空システム内の圧力と大気圧の差を表す圧力単位を用いて測定されます。真空度の測定に最も一般的に使用される単位は、SI単位系であるパスカル（Pa）です。その他、Torr、ミリバール（mbar）、水銀柱インチ（inHg）などの単位もよく使用されます。
真空ポンプには、真空システム内の圧力を測定する圧力センサーまたはゲージが装備されています。これらのゲージは、真空アプリケーションで発生する低圧を測定するために特別に設計されています。真空レベルの測定に使用される圧力ゲージには、いくつかの種類があります。
1. ピラニ真空計：ピラニ真空計は気体の熱伝導率を利用して動作します。真空環境にさらされた加熱素子で構成されています。気体分子が加熱素子に衝突すると、熱が奪われ、温度変化が生じます。この温度変化を測定することで圧力を推定し、真空度を決定することができます。
2. 熱電対ゲージ：熱電対ゲージはピラニゲージと同様に、気体の熱伝導率を利用します。2本の異なる金属線を接合して熱電対を形成し、ガス分子が熱電対に衝突すると、線間に温度差が生じ、電圧が発生します。この電圧は圧力に比例し、校正することで真空度を読み取ることができます。
3. 静電容量式マノメータ：静電容量式マノメータは、柔軟なダイヤフラムの変位によって生じる2つの電極間の静電容量の変化を検出することで圧力を測定します。真空システム内の圧力が変化すると、ダイヤフラムが移動し、静電容量を変化させることで真空度を測定します。
4. 電離計：電離計は、真空システム内のガス分子を電離させ、その結果生じる電流を測定することで動作します。イオン電流は圧力に比例するため、真空度を測定することができます。電離計には、熱陰極計、冷陰極計、ベヤード・アルパート計など、様々な種類があります。
5. バラトロンゲージ：バラトロンゲージは静電容量式マノメトリーの原理を利用していますが、設計が異なります。圧力感知ダイアフラムと参照電極との間にわずかな隙間を設けて構成されています。真空システムと参照電極間の圧力差によってダイアフラムが変位し、静電容量が変化して真空レベルを測定します。
真空ポンプの種類によって圧力範囲が異なる場合があり、動作条件に適した特定の圧力計が必要になる場合があることに注意することが重要です。さらに、真空ポンプには、ポンププロセスのさまざまな段階やシステムのさまざまな部分における圧力に関する情報を提供するために、複数の圧力計が装備されていることがよくあります。
要約すると、真空レベルとは、真空システムにおける大気圧より低い圧力を指します。これは、低圧環境向けに特別に設計された圧力計を用いて測定されます。真空ポンプで使用される一般的な圧力計には、ピラニゲージ、熱電対ゲージ、静電容量式マノメータ、イオン化ゲージ、バラトロンゲージなどがあります。
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真空ポンプは太陽光パネルの製造に使用できますか?
はい、真空ポンプは太陽光パネルの製造に広く使用されています。詳しい説明は以下の通りです。
太陽光パネル（PVパネルとも呼ばれる）は、太陽光を電気に変換する装置です。太陽光パネルの製造工程にはいくつかの重要な工程があり、その多くは真空ポンプの使用を必要とします。真空技術は、太陽光パネル製造の効率、信頼性、そして品質を確保する上で重要な役割を果たします。真空ポンプが活用されている主な分野は以下のとおりです。
1. シリコンインゴットの製造：太陽光パネル製造の最初のステップは、シリコンインゴットの製造です。インゴットは、太陽電池の原料となる純粋な結晶シリコンの円筒形の塊です。チョクラルスキー法では真空ポンプが使用されます。この法則は、石英るつぼで多結晶シリコンを溶融し、溶融シリコンから単結晶インゴットをゆっくりと引き上げるものです。真空ポンプは、結晶成長プロセス中の不純物を除去し、汚染を防ぐことで、制御された環境を作り出します。
2. ウェーハ化：シリコンインゴットが製造された後、ウェーハ化工程が行われます。この工程では、インゴットを薄いウェーハにスライスします。ワイヤーソーでは、真空ポンプを使用して低圧環境を作り出し、切断ワイヤーの冷却と潤滑を促進します。また、真空はスライス工程で発生するシリコンの破片を除去するのにも役立ち、クリーンで正確な切断を実現します。
3. 太陽電池の製造：真空ポンプは、太陽電池の製造における様々な段階で重要な役割を果たします。太陽電池とは、太陽光パネル内の個々のユニットであり、太陽光を電気に変換します。真空ポンプは以下の工程で使用されます。
– 拡散：拡散プロセスでは、リンやホウ素などのドーパントをシリコンウェーハに導入し、所望の電気特性を実現します。拡散炉では真空ポンプが使用され、拡散プロセスのための制御された雰囲気を作り出し、太陽電池の品質に影響を与える可能性のある不純物やガスを除去します。
– 蒸着：反射防止コーティング、パッシベーション層、電極材料などの薄膜をシリコンウェーハ上に蒸着します。真空ポンプは、物理蒸着（PVD）や化学蒸着（CVD）などの様々な蒸着技術において、正確かつ均一な膜蒸着に必要な真空状態を作り出すために使用されます。
– エッチング：エッチングプロセスは、太陽電池に所望の表面テクスチャを形成するために用いられ、光捕捉を強化し、効率を向上させます。真空ポンプは、プラズマエッチングまたはウェットエッチング技術において、不要な材料を除去したり、太陽電池に特定の表面構造を形成したりするために使用されます。
4. 封止：太陽電池は製造後、湿気や機械的ストレスなどの環境要因から保護するために封止されます。封止工程では真空ポンプを用いて真空環境を作り出し、封止材から空気と水分を確実に除去します。これにより、適切な接合が実現し、気泡やボイドの発生を防ぎ、太陽電池パネルの性能と寿命を低下させる可能性があります。
5. 試験と品質管理：真空ポンプは、太陽光パネルの製造工程における試験および品質管理プロセスにも活用されています。例えば、真空システムはリークテストに使用され、封止部の完全性を確認し、パネルアセンブリにおける潜在的な欠陥や漏れを検出することができます。また、真空ベースの測定技術は、太陽電池やパネルの電気特性や効率を評価するためにも使用されます。
まとめると、真空ポンプは太陽光パネルの製造に不可欠な要素です。シリコンインゴットの製造、ウェーハ製造、太陽電池の製造（拡散、堆積、エッチング）、封止、試験など、製造プロセスの様々な段階で使用されます。真空技術は、精密な制御、汚染防止、効率的な処理を可能にし、高品質で信頼性の高い太陽光パネルの製造に貢献しています。
真空ポンプ技術を一般的に利用している業界は何ですか?
真空ポンプ技術は、真空または低圧環境の生成と制御が不可欠な様々な産業で応用されています。以下に詳細な説明を示します。
1. 製造・生産：真空ポンプは、様々な業界の製造・生産プロセスで広く利用されています。真空成形、真空包装、真空脱気、真空乾燥、真空蒸留などの作業に用いられています。自動車、航空宇宙、電子機器、医薬品、食品加工などの業界では、精密で制御された製造条件を実現するために真空ポンプ技術が活用されています。
2. 化学・製薬：化学・製薬業界では、溶媒回収、真空ろ過、真空乾燥、蒸留、結晶化、蒸発など、様々な用途で真空ポンプが広く利用されています。真空ポンプは、これらの業界で重要なプロセスを減圧下で実行することを可能にし、様々な化合物や医薬品の効率的な分離、精製、合成を実現します。
3. 半導体およびエレクトロニクス：半導体およびエレクトロニクス業界では、マイクロチップ、電子部品、電子デバイスの製造に真空ポンプが広く使用されています。真空ポンプは、物理蒸着（PVD）、化学蒸着（CVD）、エッチング、イオン注入、スパッタリングなどのプロセスにおいて極めて重要です。これらのプロセスでは、精密な堆積、表面改質、そして汚染のない製造を実現するために、真空状態の制御が不可欠です。
4. 研究開発：真空ポンプ技術は、科学分野全体にわたる研究開発活動に不可欠な要素です。物理学、化学、材料科学、生物学、環境科学といった分野における実験や調査を支えています。真空ポンプは、凍結乾燥、真空蒸留、真空蒸発、真空分光法といったプロセスを容易にし、様々な現象を研究するための制御された大気条件を作り出すのに役立ちます。
5. 食品・飲料：食品・飲料業界では、包装や保存に真空ポンプが広く利用されています。真空シールは、食品の保存期間を延ばすために、空気を除去して真空密閉環境を作り出すことで、腐敗を抑制し鮮度を維持するために使用されます。真空ポンプは、凍結乾燥、真空濃縮、真空冷却などのプロセスにも使用されます。
6. 石油・ガス：石油・ガス業界では、真空ポンプが様々な用途で重要な役割を果たしています。原油の真空蒸留、真空乾燥、蒸気回収、ガス圧縮、ガスストリッピングなどのプロセスに使用されます。真空ポンプは、石油精製、ガス処理、石油化学製品製造において最適な状態を維持するのに役立ちます。
7. 環境・廃棄物管理：真空ポンプは環境・廃棄物管理の分野で利用されています。土壌蒸気抽出、地下水浄化、埋立地ガス回収、廃水処理などの作業に使用されます。真空ポンプは、ガス、蒸気、汚染物質の除去と封じ込めを容易にし、環境保護と持続可能な廃棄物管理に貢献します。
8. 医療・ヘルスケア：医療・ヘルスケア分野では、真空ポンプが様々な用途で利用されています。真空ポンプは、真空補助創傷治療装置、真空ベースの実験室分析装置、病院や診療所の真空吸引システムなどの医療機器に使用されています。また、医療研究、医薬品製造、医療機器製造にも使用されています。
9. 発電：真空ポンプは、原子力発電所や火力発電所などの発電産業で重要な役割を果たしています。蒸気の凝縮、タービンブレードの冷却、変圧器製造時の真空乾燥、発電所設備の試験・保守のための真空システムに使用されます。
10. HVACと冷凍：HVAC（暖房、換気、空調）および冷凍業界では、システムの設置、メンテナンス、修理に真空ポンプが不可欠です。真空ポンプは、冷媒ラインやHVACシステムから空気と水分を排出し、最適なシステム性能と効率を確保するために使用されます。
これらは、真空ポンプ技術が広く利用されている業界のほんの一例です。真空ポンプは汎用性と幅広い用途を備えているため、多くの分野で欠かせないツールとなっており、真空状態の正確な制御、効率的な製造プロセス、そして科学的調査を可能にしています。
編集者：CX 2023-11-14
