ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ
Single stage water ring vacuum pump.
ໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນໂຮງງານເຈ້ຍ, ສານເຄມີ, ການກາຍເປັນຫີນ, ການຜະລິດຢາ, ອາຫານ, ໂລຫະວິທະຍາ ແລະອື່ນໆ
| ການແນະນຳໂດຍຫຍໍ້ | |||
| ປໍ້າສູນຍາກາດວົງແຫວນແຫຼວ | ທາງເລືອກ | ||
| SK | ປໍ້າສູນຍາກາດວົງແຫວນແຫຼວເຊື່ອມຕໍ່ເກຍ | ຜະນຶກດ້ວຍກົນຈັກ, ນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອາຫານ, ການຫຸ້ມຫໍ່ຢາ, ຢາຂ້າເຊື້ອໂລກ, ການພິມ, ການຍ້ອມສີ, ການທໍຜ້າ, ອຸດສາຫະກຳພາດສະຕິກ | ເຫຼັກຫລໍ່/SS |
| SK-A | ປໍ້າສູນຍາກາດວົງແຫວນແຫຼວສຳລັບເຊື່ອມຕໍ່ເກຍ, ກຳຈັດສີເຄືອບ | ອອກແບບເປັນພິເສດສຳລັບອຸດສາຫະກຳພາດສະຕິກ, ການກຳຈັດຊັ້ນເຄືອບພາຍໃນຊ່ອງປັ໊ມ, ສາມາດເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ແກ້ໄຂບັນຫາການເກີດຕະກອນຢ່າງຮ້າຍແຮງໃນສະພາບນ້ຳແຂງ, ສາມາດເລີ່ມຕົ້ນໄດ້ເມື່ອຢຸດເປັນເວລາດົນ. | |
| SK-C | ປໍ້າສູນຍາກາດວົງແຫວນແຫຼວສຳລັບເຊື່ອມຕໍ່ເກລียว, ການກຳຈັດສີເຄືອບ, ສູນຍາກາດທີ່ສູງຂຶ້ນ | ລະດັບສູນຍາກາດສູງກວ່າ SK-A | |
| SK-D | ປໍ້າສູນຍາກາດວົງແຫວນແຫຼວເຊື່ອມຕໍ່ແບບແປນ | ເພີ່ມຂໍ້ຕໍ່ແບບໜ້າແປນໂດຍອີງໃສ່ຊຸດ SK-A | ເຫຼັກຫລໍ່/SS |
| SK-E | ປໍ້າສູນຍາກາດວົງແຫວນແຫຼວເຊື່ອມຕໍ່ແບບແປນ, ສູນຍາກາດທີ່ສູງກວ່າ | ລະດັບສູນຍາກາດສູງກວ່າ SK-D | |
| 2SK-B | ປໍ້າສູນຍາກາດວົງແຫວນແຫຼວສອງຂັ້ນຕອນ | ຂັບເຄື່ອນດ້ວຍສາຍຮັດສອງຂັ້ນຕອນ, ສູນຍາກາດສູງສຸດ, ປະຫຍັດພະລັງງານ, ສຽງດັງຕ່ຳ. | ເຫຼັກຫລໍ່/SS |
| 2BEA/2BEC | ປໍ້າສູນຍາກາດວົງແຫວນແຫຼວຂະໜາດກາງ/ໃຫຍ່ | ໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນໂຮງງານເຈ້ຍ, ສານເຄມີ, ການກາຍເປັນຫີນ, ການຜະລິດຢາ, ອາຫານ, ໂລຫະວິທະຍາ ແລະອື່ນໆ | ເຫຼັກຫລໍ່/SS |
| ປ້ຳນ້ຳ | |||
| IZ/BL | ປ້ຳນ້ຳແບບແຮງเหวี่ยงเหวี่ยง | ||
| (Max) | |||||
| Type of pump | ຄວາມໄວ | ພະລັງງານມໍເຕີ | ຈຳກັດສູນຍາກາດ | Gasm | ນ້ຳໜັກ |
| (ຮອບ/ນາທີ) | (ກິໂລວັດ) | (hpa) | (m 3 /h) | (ກິໂລກຣາມ) | |
| 2BEA103 | 1450 | 11 | 33 | 340 | 125 |
| 2BEA153 | 1450 | 18.5 | 33 | 600 | 190 |
| 2BEA202 | 980 | 22 | 33 | 750 | 450 |
| 2BEA203 | 980 | 37 | 33 | 1120 | 510 |
| 2BEA252 | 660 | 37 | 33 | 1540 | 810 |
| 740 | 45 | 1680 | |||
| 2BEA253 | 660 | 45 | 33 | 2100 | 890 |
| 740 | 55 | 2400 | |||
| 2BEA303 | 472 | 55 | 33 | 2560 | 1400 |
| 530 | 75 | 2850 | |||
| 590 | 75 | 3200 | |||
| 660 | 90 | 3600 | |||
| 740 | 110 | 4000 | |||
| 2BEA353 | 420 | 75 | 33 | 3700 | 2000 |
| 472 | 90 | 4200 | |||
| 500 | 90 | 4480 | |||
| 530 | 110 | 4720 | |||
| 590 | 132 | 5300 | |||
| 2BEA403 | 372 | 110 | 33 | 5680 | 3300 |
| 420 | 132 | 6280 | |||
| 472 | 160 | 7350 | |||
| 530 | 220 | 8120 | |||
| 0 | |||||
| 2BEA405 | 330 | 110 | 160 | 5950 | 3400 |
| 372 | 132 | 6750 | |||
| 420 | 160 | 7550 | |||
| 472 | 185 | 8300 | |||
| 530 | 220 | 9100 | |||
| 2BEA505 | 298 | 160 | 160 | 8800 | 5100 |
| 330 | 185 | 9750 | |||
| 372 | 220 | 1571 | |||
| 420 | 250 | 11820 | |||
| 2BEA605 | 236 | 200 | 160 | 11500 | 7900 |
| 266 | 220 | 13000 | |||
| 298 | 280 | 14900 | |||
| 330 | 315 | 15700 | |||
| 2BEA705 | 210 | 315 | 160 | 17500 | 11500 |
| 236 | 355 | 19700 | |||
| 266 | 450 | 21750 | |||
| 298 | 500 | 23850 | |||
| (Max) | |||||
| Type of pump | ຄວາມໄວ | ພະລັງງານມໍເຕີ | ຈຳກັດສູນຍາກາດ | Gasm | ນ້ຳໜັກ |
| ຮອບ/ນາທີ | (ກິໂລວັດ) | hpa | ມ3/ຊມ | ກິໂລກຣາມ | |
| 2BEC40 | 300 | 75 | 160 | 4256 | 3430 |
| 340 | 90 | 4920 | |||
| 390 | 110 | 5650 | |||
| 440 | 132 | 6300 | |||
| 490 | 132 | 6900 | |||
| 530 | 160 | 7500 | |||
| 570 | 185 | 8000 | |||
| 2BEC42 | 300 | 90 | 160 | 5740 | 3710 |
| 340 | 110 | 6375 | |||
| 390 | 132 | 7600 | |||
| 440 | 160 | 8550 | |||
| 490 | 185 | 9400 | |||
| 530 | 220 | 10130 | |||
| 2BEC50 | 260 | 160 | 160 | 8800 | 5400 |
| 300 | 185 | 10150 | |||
| 340 | 220 | 11400 | |||
| 380 | 250 | 12620 | |||
| 420 | 280 | 13880 | |||
| 2BEC52 | 230 | 160 | 160 | 9300 | 6000 |
| 260 | 185 | 10700 | |||
| 300 | 220 | 12400 | |||
| 340 | 250 | 14000 | |||
| 2BEC60 | 200 | 160 | 160 | 11000 | 8200 |
| 230 | 220 | 12780 | |||
| 260 | 280 | 14550 | |||
| 290 | 315 | 16050 | |||
| 2BEC62 | 200 | 200 | 160 | 13360 | 9100 |
| 230 | 250 | 15600 | |||
| 260 | 280 | 17660 | |||
| 290 | 355 | 19500 | |||
| 2BEC67 | 180 | 220 | 160 | 15200 | 11390 |
| 210 | 315 | 18150 | |||
| 240 | 400 | 20650 | |||
| 270 | 450 | 23100 | |||
| 2BEC72 | 170 | 280 | 160 | 19000 | 14150 |
| 190 | 355 | 21600 | |||
| 210 | 400 | 23800 | |||
| 240 | 500 | 27000 |
| ໂຄງສ້າງ: | ປໍ້າສູນຍາກາດໝຸນ |
|---|---|
| ວິທີການລະບາຍອາກາດ: | ປໍ້າປ່ຽນທິດທາງບວກ |
| ປະລິນຍາສູນຍາກາດ: | ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ |
| ໜ້າທີ່ວຽກງານ: | ປໍ້າດູດຫຼັກ |
| Rotation Way: | Direct Drive or Belt Drive |
| Operating Mode: | ຕໍ່ເນື່ອງ |
| ການປັບແຕ່ງ: |
ມີ
|
|
|---|

ບົດບາດຂອງປໍ້າສູນຍາກາດໃນການຜະລິດອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳແມ່ນຫຍັງ?
ປໍ້າສູນຍາກາດມີບົດບາດສຳຄັນໃນຂະບວນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ. ນີ້ແມ່ນຄຳອະທິບາຍລະອຽດ:
ການຜະລິດອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳກ່ຽວຂ້ອງກັບການຜະລິດວົງຈອນປະສົມປະສານ (ICs) ແລະອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳອື່ນໆທີ່ນຳໃຊ້ໃນການນຳໃຊ້ເອເລັກໂຕຣນິກຕ່າງໆ. ປ້ຳສູນຍາກາດຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງຕະຫຼອດຂະບວນການຜະລິດອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳເພື່ອສ້າງ ແລະ ຮັກສາເງື່ອນໄຂສູນຍາກາດທີ່ຕ້ອງການສຳລັບຂັ້ນຕອນການຜະລິດສະເພາະ.
ນີ້ແມ່ນບົດບາດສຳຄັນຂອງປໍ້າສູນຍາກາດໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ:
1. ຂະບວນການວາງຊັ້ນ: ປໍ້າສູນຍາກາດຖືກນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການວາງຊັ້ນ ເຊັ່ນ: ການວາງຊັ້ນໄອທາງກາຍະພາບ (PVD) ແລະ ການວາງຊັ້ນໄອທາງເຄມີ (CVD). ຂະບວນການເຫຼົ່ານີ້ກ່ຽວຂ້ອງກັບການວາງຊັ້ນຟິມບາງໆຂອງວັດສະດຸໃສ່ແຜ່ນເວເຟີເຄິ່ງຕົວນໍາເພື່ອສ້າງຊັ້ນ ແລະ ຮູບແບບຕ່າງໆ. ປໍ້າສູນຍາກາດຊ່ວຍສ້າງສະພາບແວດລ້ອມຄວາມກົດດັນຕ່ໍາທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບການຄວບຄຸມຂະບວນການວາງຊັ້ນທີ່ຊັດເຈນ, ຮັບປະກັນການສ້າງຟິມທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ ແລະ ເປັນເອກະພາບ.
2. ການແກະສະຫຼັກ ແລະ ການເຮັດຄວາມສະອາດ: ປໍ້າສູນຍາກາດຖືກນຳໃຊ້ໃນຂະບວນການແກະສະຫຼັກ ແລະ ການເຮັດຄວາມສະອາດ, ເຊິ່ງກ່ຽວຂ້ອງກັບການກຳຈັດຊັ້ນ ຫຼື ສິ່ງປົນເປື້ອນສະເພາະອອກຈາກແຜ່ນເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳ. ເຕັກນິກການແກະສະຫຼັກແບບແຫ້ງ, ເຊັ່ນ: ການແກະສະຫຼັກດ້ວຍພລາສມາ ແລະ ການແກະສະຫຼັກດ້ວຍໄອອອນທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ, ຕ້ອງການສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດເພື່ອອຳນວຍຄວາມສະດວກໃນການໄອອອນໄນເຊຊັນ ແລະ ການກຳຈັດວັດສະດຸ. ປໍ້າສູນຍາກາດຊ່ວຍໃນການສ້າງເງື່ອນໄຂຄວາມດັນຕ່ຳທີ່ຈຳເປັນສຳລັບຂະບວນການແກະສະຫຼັກ ແລະ ການເຮັດຄວາມສະອາດທີ່ມີປະສິດທິພາບ.
3. ການປູກຝັງໄອອອນ: ການປູກຝັງໄອອອນແມ່ນຂະບວນການທີ່ໃຊ້ເພື່ອນຳເອົາສິ່ງເຈືອປົນເຂົ້າໄປໃນພື້ນທີ່ສະເພາະຂອງແຜ່ນເຄິ່ງຕົວນຳເພື່ອດັດແປງຄຸນສົມບັດທາງໄຟຟ້າຂອງມັນ. ປໍ້າສູນຍາກາດຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອລະບາຍຫ້ອງປູກຝັງໄອອອນ, ສ້າງສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດທີ່ຕ້ອງການສຳລັບການເລັ່ງ ແລະ ການຝັງລຳແສງໄອອອນທີ່ຖືກຕ້ອງ ແລະ ຄວບຄຸມໄດ້.
4. ການຈັດການ ແລະ ການໂອນແຜ່ນເວເຟີ: ປໍ້າສູນຍາກາດຖືກນຳໃຊ້ໃນລະບົບການຈັດການ ແລະ ການໂອນແຜ່ນເວເຟີ. ລະບົບເຫຼົ່ານີ້ໃຊ້ການດູດສູນຍາກາດເພື່ອຈັບ ແລະ ຈັດການແຜ່ນເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳຢ່າງປອດໄພໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນການຜະລິດຕ່າງໆ, ເຊັ່ນ: ການໂຫຼດ ແລະ ການຍົກອອກຈາກຫ້ອງຂະບວນການ, ການໂອນດ້ວຍຫຸ່ນຍົນລະຫວ່າງເຄື່ອງມື, ແລະ ການຈັດລຽນແຜ່ນເວເຟີ.
5. ລະບົບລັອກການໂຫຼດ: ລະບົບລັອກການໂຫຼດຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອໂອນເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳລະຫວ່າງສະພາບບັນຍາກາດ ແລະ ສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດຂອງຫ້ອງປະມວນຜົນ. ປໍ້າສູນຍາກາດແມ່ນອົງປະກອບທີ່ສຳຄັນຂອງລະບົບລັອກການໂຫຼດ, ສ້າງ ແລະ ຮັກສາສະພາບສູນຍາກາດທີ່ຈຳເປັນສຳລັບການໂອນເວເຟີ ໃນຂະນະທີ່ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນ.
6. ການວັດແທກ ແລະ ການກວດກາ: ປໍ້າສູນຍາກາດຖືກນໍາໃຊ້ໃນເຄື່ອງມືການວັດແທກ ແລະ ການກວດກາທີ່ໃຊ້ສໍາລັບການກໍານົດລັກສະນະຂອງອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນໍາ. ເຄື່ອງມືເຫຼົ່ານີ້, ເຊັ່ນ: ກ້ອງຈຸລະທັດເອເລັກຕຣອນສະແກນ (SEMs) ແລະ ລະບົບລໍາແສງໄອອອນໂຟກັສ (FIB), ມັກຈະເຮັດວຽກໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດເພື່ອໃຫ້ສາມາດຖ່າຍພາບທີ່ມີຄວາມລະອຽດສູງ ແລະ ການວິເຄາະໂຄງສ້າງ ແລະ ຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງເຄິ່ງຕົວນໍາທີ່ຖືກຕ້ອງ.
7. ການກວດຫາການຮົ່ວໄຫຼ: ປໍ້າສູນຍາກາດຖືກນຳໃຊ້ໃນລະບົບກວດຫາການຮົ່ວໄຫຼເພື່ອລະບຸ ແລະ ຊອກຫາການຮົ່ວໄຫຼໃນຫ້ອງສູນຍາກາດ, ສາຍການຜະລິດ, ແລະ ອົງປະກອບອື່ນໆ. ລະບົບເຫຼົ່ານີ້ອາໄສປໍ້າສູນຍາກາດເພື່ອລະບາຍລະບົບ ແລະ ຫຼັງຈາກນັ້ນຕິດຕາມກວດກາການເພີ່ມຂຶ້ນຂອງຄວາມດັນ, ເຊິ່ງຊີ້ບອກເຖິງການຮົ່ວໄຫຼ.
8. ການຄວບຄຸມສະພາບແວດລ້ອມຫ້ອງສະອາດ: ໂຮງງານຜະລິດເຄື່ອງເຄິ່ງຕົວນຳຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມຫ້ອງສະອາດເພື່ອປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຜະລິດ. ປໍ້າສູນຍາກາດຖືກນໍາໃຊ້ໃນການອອກແບບແລະການດໍາເນີນງານຂອງລະບົບລະບາຍອາກາດແລະການກັ່ນຕອງຫ້ອງສະອາດ, ຊ່ວຍຮັກສາລະດັບຄວາມສະອາດຂອງອາກາດທີ່ຕ້ອງການໂດຍການກໍາຈັດອະນຸພາກແລະຮັກສາຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄວາມດັນອາກາດທີ່ຄວບຄຸມ.
ປໍ້າສູນຍາກາດທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳມັກຈະມີຄວາມຊ່ຽວຊານເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງອຸດສາຫະກຳ. ພວກມັນຕ້ອງການໃຫ້ລະດັບສູນຍາກາດສູງ, ການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນ, ລະດັບການປົນເປື້ອນຕ່ຳ, ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືສຳລັບການດຳເນີນງານຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ.
ໂດຍລວມແລ້ວ, ປໍ້າສູນຍາກາດແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ສາມາດສ້າງເງື່ອນໄຂສູນຍາກາດທີ່ຈຳເປັນສຳລັບຂະບວນການຕ່າງໆ, ຮັບປະກັນການຜະລິດອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.

ປໍ້າສູນຍາກາດສາມາດໃຊ້ໃນການຜະລິດແຜງພະລັງງານແສງຕາເວັນໄດ້ບໍ?
ແມ່ນແລ້ວ, ປໍ້າສູນຍາກາດຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຜະລິດແຜງພະລັງງານແສງຕາເວັນ. ນີ້ແມ່ນຄໍາອະທິບາຍລະອຽດ:
ແຜງໂຊລາເຊວ ຫຼື ທີ່ຮູ້ກັນໃນນາມແຜງໂຊລາເຊວ (PV) ແມ່ນອຸປະກອນທີ່ປ່ຽນແສງແດດເປັນໄຟຟ້າ. ຂະບວນການຜະລິດແຜງໂຊລາເຊວກ່ຽວຂ້ອງກັບຂັ້ນຕອນທີ່ສຳຄັນຫຼາຍຢ່າງ, ເຊິ່ງຫຼາຍຢ່າງຕ້ອງໃຊ້ປໍ້າສູນຍາກາດ. ເທັກໂນໂລຢີສູນຍາກາດມີບົດບາດສຳຄັນໃນການຮັບປະກັນປະສິດທິພາບ, ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖື ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງການຜະລິດແຜງໂຊລາເຊວ. ນີ້ແມ່ນບາງຂົງເຂດສຳຄັນທີ່ປໍ້າສູນຍາກາດຖືກນຳໃຊ້:
1. ການຜະລິດກ້ອນຊິລິກອນ: ຂັ້ນຕອນທຳອິດໃນການຜະລິດແຜງໂຊລາເຊວແມ່ນການຜະລິດກ້ອນຊິລິກອນ. ກ້ອນເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນກ້ອນຮູບຊົງກະບອກຂອງຊິລິກອນຜລຶກບໍລິສຸດທີ່ເປັນວັດຖຸດິບສຳລັບແຜງໂຊລາເຊວ. ປໍ້າສູນຍາກາດຖືກນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການ Czochralski, ເຊິ່ງກ່ຽວຂ້ອງກັບການລະລາຍຊິລິກອນໂພລີຜລຶກໃນເຕົາ quartz ແລະຈາກນັ້ນຄ່ອຍໆດຶງກ້ອນຜລຶກດຽວອອກຈາກຊິລິກອນທີ່ລະລາຍ. ປໍ້າສູນຍາກາດສ້າງສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຄວບຄຸມໂດຍການກໍາຈັດສິ່ງເຈືອປົນແລະປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ.
2. ການເຄືອບແຜ່ນ: ຫຼັງຈາກຜະລິດແຜ່ນຊິລິໂຄນແລ້ວ, ພວກມັນຈະຖືກເຄືອບແຜ່ນ, ບ່ອນທີ່ແຜ່ນຈະຖືກຕັດເປັນແຜ່ນບາງໆ. ປໍ້າສູນຍາກາດຖືກນໍາໃຊ້ໃນເຄື່ອງເລື່ອຍລວດເພື່ອສ້າງສະພາບແວດລ້ອມຄວາມກົດດັນຕ່ໍາທີ່ຊ່ວຍໃຫ້ເຢັນລົງແລະຫລໍ່ລື່ນສາຍຕັດ. ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນຍັງຊ່ວຍໃນການກໍາຈັດເສດຊິລິໂຄນທີ່ເກີດຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຕັດ, ຮັບປະກັນການຕັດທີ່ສະອາດແລະແນ່ນອນ.
3. ການຜະລິດແບັດເຕີຣີແສງອາທິດ: ປໍ້າສູນຍາກາດມີບົດບາດສຳຄັນໃນຂັ້ນຕອນຕ່າງໆຂອງການຜະລິດແບັດເຕີຣີແສງອາທິດ. ແບັດເຕີຣີແສງອາທິດແມ່ນໜ່ວຍງານຕ່າງໆພາຍໃນແຜງແສງອາທິດທີ່ປ່ຽນແສງແດດເປັນໄຟຟ້າ. ປໍ້າສູນຍາກາດຖືກນຳໃຊ້ໃນຂະບວນການຕໍ່ໄປນີ້:
– ການແຜ່ກະຈາຍ: ໃນຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍ, ສານເສີມເຊັ່ນ: ຟອສຟໍຣັດ ຫຼື ໂບຣອນ ຈະຖືກນຳເຂົ້າໄປໃນແຜ່ນຊິລິໂຄນເພື່ອສ້າງຄຸນສົມບັດທາງໄຟຟ້າທີ່ຕ້ອງການ. ປໍ້າສູນຍາກາດຖືກນຳໃຊ້ໃນເຕົາແຜ່ກະຈາຍເພື່ອສ້າງບັນຍາກາດທີ່ຄວບຄຸມໄດ້ສຳລັບຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍ ແລະ ກຳຈັດສິ່ງເຈືອປົນ ຫຼື ອາຍແກັສທີ່ອາດຈະສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງແຜງແສງອາທິດ.
– ການວາງຊັ້ນ: ຟິມບາງໆຂອງວັດສະດຸເຊັ່ນ: ຊັ້ນເຄືອບຕ້ານການສະທ້ອນແສງ, ຊັ້ນປ້ອງກັນ, ແລະວັດສະດຸເອເລັກໂຕຣດຖືກວາງລົງເທິງແຜ່ນຊິລິໂຄນ. ປໍ້າສູນຍາກາດຖືກນໍາໃຊ້ໃນເຕັກນິກການວາງຊັ້ນຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການວາງໄອທາງກາຍະພາບ (PVD) ຫຼື ການວາງໄອທາງເຄມີ (CVD) ເພື່ອສ້າງເງື່ອນໄຂສູນຍາກາດທີ່ຈຳເປັນສໍາລັບການວາງຊັ້ນຟິມທີ່ຊັດເຈນແລະເປັນເອກະພາບ.
– ການແກະສະຫຼັກ: ຂະບວນການແກະສະຫຼັກຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອສ້າງໂຄງສ້າງພື້ນຜິວທີ່ຕ້ອງການໃນແຜງແສງອາທິດ, ເຊິ່ງຊ່ວຍເພີ່ມການດັກຈັບແສງ ແລະ ປັບປຸງປະສິດທິພາບ. ປໍ້າສູນຍາກາດຖືກນຳໃຊ້ໃນເຕັກນິກການແກະສະຫຼັກດ້ວຍພລາສມາ ຫຼື ການແກະສະຫຼັກແບບປຽກເພື່ອກຳຈັດວັດສະດຸທີ່ບໍ່ຕ້ອງການ ຫຼື ສ້າງໂຄງສ້າງພື້ນຜິວສະເພາະໃນແຜງແສງອາທິດ.
4. ການຫຸ້ມຫໍ່: ຫຼັງຈາກຜະລິດແຜງໂຊລາເຊວແລ້ວ, ພວກມັນຈະຖືກຫຸ້ມຫໍ່ເພື່ອປົກປ້ອງພວກມັນຈາກປັດໃຈສິ່ງແວດລ້ອມເຊັ່ນ: ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ ແລະ ຄວາມກົດດັນທາງກົນຈັກ. ປໍ້າສູນຍາກາດຖືກນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການຫຸ້ມຫໍ່ເພື່ອສ້າງສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ, ຮັບປະກັນການກໍາຈັດອາກາດ ແລະ ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນອອກຈາກວັດສະດຸຫຸ້ມຫໍ່. ສິ່ງນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ບັນລຸການຍຶດຕິດທີ່ເໝາະສົມ ແລະ ປ້ອງກັນການເກີດຂອງຟອງອາກາດ ຫຼື ຊ່ອງວ່າງ, ເຊິ່ງອາດຈະເຮັດໃຫ້ປະສິດທິພາບ ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງແຜງໂຊລາເຊວຫຼຸດລົງ.
5. ການທົດສອບ ແລະ ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບ: ປໍ້າສູນຍາກາດຍັງຖືກນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການທົດສອບ ແລະ ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບໃນລະຫວ່າງການຜະລິດແຜງໂຊລາເຊວ. ຕົວຢ່າງ, ລະບົບສູນຍາກາດສາມາດໃຊ້ສໍາລັບການທົດສອບການຮົ່ວໄຫຼເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມສົມບູນຂອງການຫຸ້ມຫໍ່ ແລະ ເພື່ອກວດຫາຂໍ້ບົກພ່ອງ ຫຼື ການຮົ່ວໄຫຼທີ່ອາດເກີດຂຶ້ນໃນການປະກອບແຜງ. ເຕັກນິກການວັດແທກທີ່ອີງໃສ່ສູນຍາກາດອາດຈະຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອປະເມີນລັກສະນະທາງໄຟຟ້າ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງແຜງໂຊລາເຊວ ຫຼື ແຜງ.
ສະຫຼຸບແລ້ວ, ປໍ້າສູນຍາກາດແມ່ນສ່ວນປະກອບສຳຄັນໃນການຜະລິດແຜງໂຊລາເຊວ. ພວກມັນຖືກນຳໃຊ້ໃນຂັ້ນຕອນຕ່າງໆຂອງຂະບວນການຜະລິດ, ລວມທັງການຜະລິດຊິລິໂຄນແທ່ງ, ການເຄືອບແຜ່ນ, ການຜະລິດແຜງໂຊລາເຊວ (ການແຜ່ກະຈາຍ, ການວາງຊັ້ນ, ແລະ ການແກະສະຫຼັກ), ການຫຸ້ມຫໍ່, ແລະ ການທົດສອບ. ເທັກໂນໂລຢີສູນຍາກາດຊ່ວຍໃຫ້ມີການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນ, ການປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນ, ແລະ ການປະມວນຜົນທີ່ມີປະສິດທິພາບ, ປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນການຜະລິດແຜງໂຊລາເຊວທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ ແລະ ໜ້າເຊື່ອຖື.
ປໍ້າສູນຍາກາດສາມາດໃຊ້ໃນຫ້ອງທົດລອງໄດ້ບໍ?
ແມ່ນແລ້ວ, ປໍ້າສູນຍາກາດຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຫ້ອງທົດລອງສໍາລັບການນໍາໃຊ້ທີ່ຫຼາກຫຼາຍ. ນີ້ແມ່ນຄໍາອະທິບາຍລະອຽດ:
ປໍ້າສູນຍາກາດແມ່ນເຄື່ອງມືທີ່ສຳຄັນໃນຫ້ອງທົດລອງ ຍ້ອນວ່າມັນຊ່ວຍໃຫ້ນັກວິທະຍາສາດ ແລະ ນັກຄົ້ນຄວ້າສາມາດສ້າງ ແລະ ຄວບຄຸມສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ ຫຼື ຄວາມກົດດັນຕ່ຳ. ເງື່ອນໄຂທີ່ຄວບຄຸມເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍສຳລັບຂະບວນການ ແລະ ການທົດລອງທາງວິທະຍາສາດຕ່າງໆ. ນີ້ແມ່ນເຫດຜົນຫຼັກບາງຢ່າງທີ່ປໍ້າສູນຍາກາດຖືກນຳໃຊ້ໃນຫ້ອງທົດລອງ:
1. ການລະເຫີຍ ແລະ ການກັ່ນ: ປໍ້າສູນຍາກາດມັກຖືກນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການລະເຫີຍ ແລະ ການກັ່ນໃນຫ້ອງທົດລອງ. ໂດຍການສ້າງສູນຍາກາດ, ພວກມັນຈະຊ່ວຍຫຼຸດຈຸດເດືອດຂອງຂອງແຫຼວ, ຊ່ວຍໃຫ້ການລະເຫີຍທີ່ອ່ອນໂຍນ ແລະ ຄວບຄຸມໄດ້ດີຂຶ້ນ. ສິ່ງນີ້ເປັນປະໂຫຍດໂດຍສະເພາະສໍາລັບສານທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ຄວາມຮ້ອນ ຫຼື ເມື່ອຕ້ອງການການຄວບຄຸມຂະບວນການລະເຫີຍທີ່ຊັດເຈນ.
2. ການກັ່ນຕອງ: ການກັ່ນຕອງແບບສູນຍາກາດແມ່ນເຕັກນິກທົ່ວໄປໃນຫ້ອງທົດລອງສໍາລັບການແຍກຂອງແຂງອອກຈາກຂອງແຫຼວ ຫຼື ອາຍແກັສ. ປໍ້າສູນຍາກາດສ້າງການດູດ, ເຊິ່ງຊ່ວຍດຶງຂອງແຫຼວ ຫຼື ອາຍແກັສຜ່ານຕົວກອງ, ເຮັດໃຫ້ອະນຸພາກຂອງແຂງຢູ່ເບື້ອງຫຼັງ. ວິທີການນີ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການກະກຽມຕົວຢ່າງ, ຈຸລິນຊີວິທະຍາ, ແລະ ເຄມີວິເຄາະ.
3. ການອົບແຫ້ງແບບແຊ່ແຂງ: ປໍ້າສູນຍາກາດມີບົດບາດສຳຄັນໃນຂະບວນການອົບແຫ້ງແບບແຊ່ແຂງ ຫຼື ຂະບວນການແຊ່ແຂງ. ການອົບແຫ້ງແບບແຊ່ແຂງກ່ຽວຂ້ອງກັບການກຳຈັດຄວາມຊຸ່ມຊື່ນອອກຈາກສານໃນຂະນະທີ່ມັນຢູ່ໃນສະພາບແຊ່ແຂງ, ຮັກສາໂຄງສ້າງ ແລະ ຄຸນສົມບັດຂອງມັນ. ປໍ້າສູນຍາກາດຊ່ວຍໃຫ້ການລະເຫີຍຂອງນໍ້າແຊ່ແຂງໃຫ້ກາຍເປັນໄອໂດຍກົງ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນໃຫ້ການກຳຈັດຄວາມຊຸ່ມຊື່ນພາຍໃຕ້ສະພາບຄວາມດັນຕໍ່າ.
4. ເຕົາອົບ ແລະ ຫ້ອງສູນຍາກາດ: ປໍ້າສູນຍາກາດຖືກນໍາໃຊ້ຮ່ວມກັບເຕົາອົບ ແລະ ຫ້ອງສູນຍາກາດເພື່ອສ້າງສະພາບແວດລ້ອມຄວາມກົດດັນຕ່ໍາທີ່ຄວບຄຸມໄດ້ສໍາລັບການນໍາໃຊ້ຕ່າງໆ. ເຕົາອົບສູນຍາກາດຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບການອົບແຫ້ງວັດສະດຸທີ່ລະອຽດອ່ອນຕໍ່ຄວາມຮ້ອນ, ການກໍາຈັດຕົວລະລາຍ, ຫຼື ການປະຕິບັດປະຕິກິລິຍາພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນທີ່ຫຼຸດລົງ. ຫ້ອງສູນຍາກາດຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບການທົດສອບອົງປະກອບພາຍໃຕ້ພື້ນທີ່ຈໍາລອງ ຫຼື ສະພາບຄວາມສູງ, ການລະບາຍອາຍແກັສຂອງວັດສະດຸ, ຫຼື ການສຶກສາປະກົດການທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບສູນຍາກາດ.
5. ເຄື່ອງມືວິເຄາະ: ເຄື່ອງມືວິເຄາະໃນຫ້ອງທົດລອງຫຼາຍຊະນິດແມ່ນອີງໃສ່ປໍ້າສູນຍາກາດເພື່ອໃຫ້ເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງຖືກຕ້ອງ. ຕົວຢ່າງ, ເຄື່ອງວັດແທກມວນສານ, ກ້ອງຈຸລະທັດເອເລັກຕຣອນ, ອຸປະກອນວິເຄາະພື້ນຜິວ, ແລະ ເຄື່ອງມືວິເຄາະອື່ນໆມັກຈະຕ້ອງການສະພາບສູນຍາກາດເພື່ອຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງຕົວຢ່າງ ແລະ ບັນລຸຜົນໄດ້ຮັບທີ່ຖືກຕ້ອງ.
6. ເຄມີສາດ ແລະ ວິທະຍາສາດວັດສະດຸ: ປໍ້າສູນຍາກາດຖືກນຳໃຊ້ໃນການທົດລອງທາງເຄມີ ແລະ ວິທະຍາສາດວັດສະດຸຈຳນວນຫຼາຍ. ພວກມັນຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບການລະບາຍອາຍແກັສຂອງຕົວຢ່າງ, ການສ້າງບັນຍາກາດທີ່ຄວບຄຸມ, ການປະຕິບັດປະຕິກິລິຍາພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນທີ່ຫຼຸດລົງ, ຫຼື ການສຶກສາປະຕິກິລິຍາໄລຍະອາຍແກັສ. ປໍ້າສູນຍາກາດຍັງຖືກນໍາໃຊ້ໃນເຕັກນິກການວາງຟິມບາງໆເຊັ່ນ: ການວາງໄອທາງກາຍະພາບ (PVD) ແລະ ການວາງໄອທາງເຄມີ (CVD).
7. ລະບົບສູນຍາກາດສຳລັບການທົດລອງ: ໃນການຄົ້ນຄວ້າວິທະຍາສາດ, ລະບົບສູນຍາກາດມັກຈະຖືກອອກແບບ ແລະ ສ້າງຂຶ້ນສຳລັບການທົດລອງ ຫຼື ການນຳໃຊ້ສະເພາະ. ລະບົບເຫຼົ່ານີ້ສາມາດປະກອບມີປໍ້າສູນຍາກາດຫຼາຍອັນ, ວາວ ແລະ ຫ້ອງເພື່ອສ້າງສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດພິເສດທີ່ປັບແຕ່ງຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງການທົດລອງ.
ໂດຍລວມແລ້ວ, ປໍ້າສູນຍາກາດແມ່ນເຄື່ອງມືທີ່ມີຄວາມຫຼາກຫຼາຍທີ່ພົບເຫັນການນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຫ້ອງທົດລອງໃນສາຂາວິຊາວິທະຍາສາດຕ່າງໆ. ພວກມັນຊ່ວຍໃຫ້ນັກຄົ້ນຄວ້າສາມາດຄວບຄຸມ ແລະ ຈັດການສະພາບສູນຍາກາດ ຫຼື ຄວາມດັນຕໍ່າ, ອໍານວຍຄວາມສະດວກໃຫ້ແກ່ຂະບວນການ, ການທົດລອງ ແລະ ການວິເຄາະທີ່ຫຼາກຫຼາຍ. ການເລືອກປໍ້າສູນຍາກາດແມ່ນຂຶ້ນກັບປັດໃຈຕ່າງໆເຊັ່ນ: ລະດັບສູນຍາກາດທີ່ຕ້ອງການ, ອັດຕາການໄຫຼ, ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງສານເຄມີ, ແລະ ຄວາມຕ້ອງການການນໍາໃຊ້ສະເພາະ.


ບັນນາທິການໂດຍ CX 2023-10-26