
用于晶圆区域清洗的石英腔室真空等离子清洗机
商品描述:
10升等离子清洗机是一款结构紧凑、无损的清洗设备。该清洗机利用低气压激发等离子体作为清洗介质,从而有效避免了液体清洗介质对被清洗物体造成的腐蚀性污染。系统配备机械真空泵,在维持腔室真空的同时,真空泵还能将等离子体反应后产生的污染物抽走,因此,短时清洗即可彻底清除天然污染物。
除了清洁功能外,这款小型等离子清洗机还能根据特定条件下的要求,改变某些材料的表面特性。在清洁过程中,小型等离子清洗机的放电不仅能增强这些材料的附着力、相容性和润湿性,还能对材料进行消毒和灭菌。
应用领域:
小型等离子清洗机广泛应用于光学、光电子学、电子学、耗材科学、日常生活科学、聚合物科学、生物医学和微流体学等领域。
CZPT参数:
| 主要部件 | 产品 | 参数 |
| 清洁腔室 | 腔室物质 | 高纯度石英 |
| 腔室尺寸 | 直径 200 毫米,长度 340 毫米 | |
| 射频电源 | 电力供应属性 | 该电源采用全固态射频电源,并配备高安全性、高可靠性的功率放大器模块和直流模块,有效保证了电源的射频功率输出。此外,还使用了高品质的电子元件,以确保产品的可靠性。 |
| 能源优势 | 耗时较长的典型程序 操作简便灵活。 电源效率高,发热量低 具有最佳反射功率保护功能 |
|
| 射频电功率 | 功率约300瓦,可连续调节 | |
| 信号频率 | 13.56MHz ±0.005% | |
| 镜像功率 | ≤100W | |
| 电力平衡 | ±0.1% | |
| 射频连接器 | N型连接器 | |
| CZPT 的有效性 | ≥75% | |
| 谐波分量 | ≤-50 dBc | |
| 冷却策略 | 压力空气冷却 | |
| 燃料计量 | 计量单位 | 浮球式流量计 |
| 燃料通道 | 两个通道 | |
| 频道种类 | 10~100毫升 | |
| B通道选择 | 16~160毫升 | |
| 真空 | 真空测量 | 数字真空计(电阻式真空计) |
| 真空泵 | 两相旋片式真空泵 | |
| 汽车速度 | 50赫兹:1440 60赫兹:1720 | |
| 抽水费 | 50 Hz:1.1升/秒;60 Hz:1.3升/秒 | |
| 真空分类 | 0.1帕~10000帕 | |
| 终极真空 | 0.5帕 | |
| 马达声 | ≤56dB | |
| 管道接口 | 汽油入口:KF16 排气口 KF16。 | |
| 连接管 | KF16真空波纹管 | |
| 真空阀 | 电磁阀 | |
| 电机电气 | 400瓦 | |
| 其他个人 | 能源供应 | 交流220伏 50/60赫兹 |
| 完全能量 | 800瓦 | |
| 工作温度 | -10℃至40℃ | |
| 功能性真空 | ≤40Pa | |
| 总尺寸 | 600毫米×650毫米×560毫米 | |
| 总重量 | 80公斤(含包装) |
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