Productbeschrijving
Productbeschrijving
Een roterende schottenvacuümpomp bestaat hoofdzakelijk uit een pomphuis, rotor, roterende schotten, eindkap, olietank, enzovoort. Een rotor met 3 schotten is excentrisch gemonteerd in een cilindrische behuizing; de 3 schotten schuiven in de sleuven van de rotor. Tijdens het draaien houdt de centrifugale kracht de schotten in contact met de behuizing en zorgt de rotatie ervoor dat de rotor langs de behuizing schuift.
| 1. Uitlaatpoortinterface | 2. Uitlaatfilter | 3. Zuigklep |
| 4. Oliepeilmeter | 5. Afvoerklep | 6. Vulplug |
| 7. Uitlaatklep | 8. Blad | 9.Rotor |
| 10. Tank | 11. Axiale ventilator | 12. Motor |
| 13. Oliefilter | 14. Interface voor de zuigpoort | 15. Luchtballastklep |
| 16.Radiatorbuis | 17. Retourklep |
Werkingsprincipe
Onderstaande afbeelding toont de structuur van de pomp. Wanneer de rotor draait, vormen de schoepen, de behuizing en de twee eindkappen drie kamers. Bij elke omwenteling neemt het volume van elke kamer toe of af door het verschuiven van de schoepen, waardoor het aanzuig- en afvoerproces wordt voltooid.
Belangrijkste kenmerken
- Kan langdurig continu werken onder een inlaatdruk van 5×104Pa.
- Geluidsarm, trillingsarm, geen voetbouten nodig.
- Het uitlaatfilter in de pomp scheidt de olie effectief van het gas om milieuvervuiling te voorkomen.
- Rechtstreeks aangedreven door een motor.
- Compacte structuur, lichtgewicht, luchtgekoeld.
- Eenvoudig te bedienen, te installeren en te onderhouden.
Toepassingen
De roterende schottenvacuümpomp is geschikt voor toepassingen waarbij geen hoge vacuümeisen gelden en de werking betrouwbaar en het onderhoud eenvoudig is. Deze pomp wordt veel gebruikt bij het vacuümverpakken van diverse voedingsmiddelen, vacuümvormen in de rubber- en kunststofindustrie, papiertransport in de drukkerijsector, vacuümimpregnatie en lekpreventie van diverse gietstukken, vacuümfixatie, vacuümdrogen, vacuümfiltratie en chirurgische ingrepen in ziekenhuizen.
Productparameters
| Model | Nominale pompsnelheid (50 Hz) m³/h |
Ultieme druk ≤Pa |
Maximale druk met gasballastklep open ≤Pa | Nominaal motorvermogen (50 Hz) kW | Nominaal motortoerental (50 Hz) RPM | Waterdampcapaciteit kg/u |
Geluidsniveau in dB(A) | Oliecapaciteit L |
Bedrijfstemperatuur ºC |
Aansluitmaat voor zuiging inch |
Aansluitmaat voor afvoer inch |
Gewicht kg |
| XD-571 | 10 | 200 | 0.37 | 2800 | 0.4 | 62 | 0.5 | 77 | G1/2″ | G1/2″ | 16 | |
| XD-571 | 20 | 200 | 0.75 | 2880 | 0.4 | 63 | 0.5 | 77 | G1/2″ | G1/2″ | 18 | |
| XD-571A | 20 | 200 | 0.75 | 2880 | 0.4 | 63 | 0.5 | 77 | G1/2″ | G1/2″ | 18 | |
| XD-571C | 20 | 200 | 0.9 | 2880 | 0.4 | 65 | 0.5 | 79 | G3/4″ | G3/4″ | 20 | |
| XD-571 | 25 | 200 | 0.75 | 2880 | 0.4 | 65 | 0.5 | 79 | G3/4″ | G3/4″ | 20 | |
| XD-040C | 40 | 50 | 200 | 1.1 | 1500 | 0.6 | 64 | 1.25 | 76 | G1 1/4″ | G1 1/4″ | 48 |
| XD-063C | 63 | 50 | 200 | 1.5/2.2 | 1500 | 1 | 65 | 2 | 79 | G1 1/4″ | G1 1/4″ | 58 |
| XD-063D | 63 | 50 | 200 | 1.5 | 1500 | 0.6 | 65 | 1.5 | 79 | G1 1/4″ | G1 1/4″ | 49 |
| XD-100C | 100 | 50 | 200 | 2.2/3 | 1500 | 1.5 | 66 | 2 | 79 | G1 1/4″ | G1 1/4″ | 72 |
| XD-160C | 160 | 50 | 200 | 4 | 1500 | 2.5 | 71 | 5 | 70 | G2″ | G2″ | 158 |
| XD-202C | 200 | 50 | 200 | 4 | 1500 | 4 | 73 | 5 | 70 | G2″ | G2″ | 158 |
| XD-250C | 250 | 50 | 200 | 5.5 | 1500 | 4.5 | 73 | 7 | 73 | G2″ | G2″ | 195 |
| XD-302C | 300 | 50 | 200 | 5.5/7.5 | 1500 | 5 | 75 | 7 | 75 | G2″ | G2″ | 211 |
Maattekening
Onze fabriek
Veelgestelde vragen
V: Welke informatie moet ik verstrekken voor een aanvraag?
A: U kunt direct informeren naar het model, maar het is altijd aan te raden om contact met ons op te nemen, zodat we u kunnen helpen controleren of de pomp het meest geschikt is voor uw toepassing.
V: Kunt u een vacuümpomp op maat maken?
A: Ja, we kunnen speciale ontwerpen maken die aan de toepassingen van de klant voldoen. Denk bijvoorbeeld aan op maat gemaakte afdichtingssystemen of speciale oppervlaktebehandelingen voor Roots-vacuümpompen en schroefvacuümpompen. Neem contact met ons op als u specifieke wensen heeft.
V: Ik heb problemen met onze vacuümpompen of vacuümsystemen, kunt u mij daarbij helpen?
A: We hebben applicatie- en ontwerpingenieurs met meer dan 30 jaar ervaring in vacuümtoepassingen in verschillende industrieën. We helpen veel klanten bij het oplossen van problemen, zoals lekkageproblemen, energiebesparende oplossingen, milieuvriendelijkere vacuümsystemen, enzovoort. Neem contact met ons op en we helpen u graag verder met uw vacuümsysteem.
V: Kunt u vacuümsystemen op maat ontwerpen en produceren?
A: Ja, daar zijn we geschikt voor.
V: Wat is uw minimale bestelhoeveelheid (MOQ)?
A: 1 stuk of 1 set.
V: Hoe zit het met jullie levertijd?
A: 5-10 werkdagen voor de standaard vacuümpomp bij een afname van minder dan 20 stuks, 20-30 werkdagen voor het conventionele vacuümsysteem bij een afname van minder dan 5 sets. Neem voor grotere aantallen of speciale wensen contact met ons op om de levertijd te controleren.
V: Wat zijn uw betalingsvoorwaarden?
A: Via T/T, 50% vooruitbetaling/aanbetaling en 50% betaald vóór verzending.
V: Hoe zit het met de garantie?
A: Wij bieden 1 jaar garantie (met uitzondering van slijtageonderdelen).
V: Hoe zit het met de service?
A: Wij bieden technische ondersteuning op afstand via videoverbinding. Voor specifieke verzoeken kunnen we een servicemonteur naar uw locatie sturen.
| Klantenservice na aankoop: | Online video-instructie |
|---|---|
| Garantie: | 1 jaar |
| Wel of geen olie? | Olie |
| Structuur: | Roterende vacuümpomp |
| Uitlaatmethode: | Verdringerpomp |
| Nominaal pomptoerental (50 Hz): | 100m3/H |
Wat is de rol van vacuümpompen in de halfgeleiderproductie?
Vacuümpompen spelen een cruciale rol in de productieprocessen van halfgeleiders. Hier volgt een gedetailleerde uitleg:
De productie van halfgeleiders omvat de vervaardiging van geïntegreerde schakelingen (IC's) en andere halfgeleidercomponenten die in diverse elektronische toepassingen worden gebruikt. Vacuümpompen worden veelvuldig ingezet in het halfgeleiderproductieproces om de benodigde vacuümomstandigheden voor specifieke productiestappen te creëren en te handhaven.
Hieronder volgen enkele belangrijke functies van vacuümpompen in de halfgeleiderproductie:
1. Afzettingsprocessen: Vacuümpompen worden gebruikt bij afzettingsprocessen zoals fysische dampafzetting (PVD) en chemische dampafzetting (CVD). Bij deze processen worden dunne materiaallagen op halfgeleiderwafers afgezet om verschillende lagen en patronen te creëren. Vacuümpompen helpen bij het creëren van een lage druk, die nodig is voor een nauwkeurige controle van het afzettingsproces, waardoor een uniforme en hoogwaardige filmvorming wordt gegarandeerd.
2. Etsen en reinigen: Vacuümpompen worden gebruikt bij ets- en reinigingsprocessen, waarbij specifieke lagen of verontreinigingen van halfgeleiderwafers worden verwijderd. Droge etstechnieken, zoals plasma-etsen en reactief ionenetsen, vereisen een vacuümomgeving om de ionisatie en verwijdering van materiaal mogelijk te maken. Vacuümpompen helpen bij het creëren van de noodzakelijke lage druk voor efficiënte ets- en reinigingsprocessen.
3. Ionimplantatie: Ionimplantatie is een proces waarbij onzuiverheden in specifieke gebieden van een halfgeleiderwafer worden geïntroduceerd om de elektrische eigenschappen ervan te wijzigen. Vacuümpompen worden gebruikt om de ionimplantatiekamer te evacueren, waardoor de benodigde vacuümomgeving ontstaat voor nauwkeurige en gecontroleerde versnelling en implantatie van de ionenbundel.
4. Waferhantering en -overdracht: Vacuümpompen worden gebruikt in systemen voor waferhantering en -overdracht. Deze systemen maken gebruik van vacuümzuiging om halfgeleiderwafers veilig vast te houden en te manipuleren tijdens verschillende productiestappen, zoals het laden en lossen uit proceskamers, robotoverdracht tussen gereedschappen en waferuitlijning.
5. Sluissystemen: Sluissystemen worden gebruikt om halfgeleiderwafers te transporteren tussen atmosferische omstandigheden en de vacuümomgeving van proceskamers. Vacuümpompen zijn essentiële onderdelen van sluissystemen; ze creëren en handhaven de vacuümomstandigheden die nodig zijn voor het transport van wafers, terwijl ze het risico op contaminatie minimaliseren.
6. Metrologie en inspectie: Vacuümpompen worden gebruikt in meet- en inspectieapparatuur voor het karakteriseren van halfgeleidercomponenten. Deze apparatuur, zoals scanningelektronenmicroscopen (SEM's) en gefocusseerde ionenbundelsystemen (FIB's), werkt vaak in een vacuümomgeving om beeldvorming met hoge resolutie en nauwkeurige analyse van halfgeleiderstructuren en defecten mogelijk te maken.
7. Lekdetectie: Vacuümpompen worden gebruikt in lekdetectiesystemen om lekken in vacuümkamers, procesleidingen en andere componenten te identificeren en te lokaliseren. Deze systemen maken gebruik van vacuümpompen om het systeem te evacueren en vervolgens te controleren op een eventuele drukstijging, die wijst op de aanwezigheid van lekken.
8. Beheer van de cleanroomomgeving: Halfgeleiderfabrieken hanteren cleanroomomgevingen om besmetting tijdens het fabricageproces te voorkomen. Vacuümpompen worden gebruikt in het ontwerp en de werking van de cleanroomventilatie- en filtratiesystemen, waardoor de vereiste luchtzuiverheid wordt gehandhaafd door deeltjes te verwijderen en gecontroleerde luchtdrukverschillen te handhaven.
Vacuümpompen die worden gebruikt in de productie van halfgeleiders zijn vaak gespecialiseerd om te voldoen aan de strenge eisen van de industrie. Ze moeten een hoog vacuüm, nauwkeurige regeling, een laag verontreinigingsniveau en betrouwbaarheid voor continu gebruik leveren.
Kortom, vacuümpompen zijn onmisbaar in de halfgeleiderproductie, omdat ze de noodzakelijke vacuümomstandigheden voor diverse processen creëren en zo de productie van hoogwaardige halfgeleidercomponenten garanderen.
Kunnen vacuümpompen worden gebruikt voor lekdetectie?
Ja, vacuümpompen kunnen worden gebruikt voor lekdetectie. Hier volgt een gedetailleerde uitleg:
Lekdetectie is een cruciale taak in diverse industrieën, waaronder de productie, automobielindustrie, lucht- en ruimtevaart en HVAC. Het omvat het identificeren en lokaliseren van lekken in een systeem of component die kunnen leiden tot verlies van vloeistoffen, gassen of druk. Vacuümpompen kunnen een belangrijke rol spelen in lekdetectieprocessen door een lage druk te creëren en de detectie van lekken via verschillende methoden te vergemakkelijken.
Hieronder volgen enkele manieren waarop vacuümpompen kunnen worden gebruikt voor lekdetectie:
1. Vacuümvervalmethode: De vacuümvervalmethode is een veelgebruikte techniek voor lekdetectie. Hierbij wordt met behulp van een vacuümpomp een vacuüm gecreëerd in een afgesloten systeem of component, waarna de drukverandering in de loop van de tijd wordt gemeten. Als er een lek aanwezig is, zal de druk geleidelijk toenemen door de instroom van lucht of gas. Door de snelheid van de drukstijging te meten, kunnen de locatie en de grootte van het lek worden geschat. Vacuümpompen worden gebruikt om het systeem te evacueren en het benodigde vacuüm voor de test te creëren.
2. Bellentest: De bellentest is een eenvoudige en visuele methode om lekken op te sporen. Bij deze methode wordt het te testen onderdeel of systeem onder druk gezet met een gas en vervolgens ondergedompeld in een vloeistof, meestal zeepwater. Als er een lek is, vormt het ontsnappende gas bellen in de vloeistof, wat de aanwezigheid en locatie van het lek aangeeft. Vacuümpompen kunnen worden gebruikt om een drukverschil te creëren dat het gas uit het lek perst, waardoor de bellen gemakkelijker te detecteren zijn.
3. Heliumlekdetectie: Heliumlekdetectie is een zeer gevoelige methode om extreem kleine lekken op te sporen. Helium, een klein atoom, kan gemakkelijk door kleine openingen en lekken heen dringen. Bij deze methode wordt het systeem of onderdeel onder druk gezet met heliumgas en wordt een vacuümpomp gebruikt om de omgeving vacuüm te trekken. Vervolgens wordt een heliumlekdetector gebruikt om de omgeving te scannen op de aanwezigheid van helium, wat de locatie van het lek aangeeft. Vacuümpompen zijn essentieel voor het creëren van de lage druk die nodig is voor deze methode en voor een nauwkeurige detectie.
4. Drukveranderingstesten: Vacuümpompen kunnen ook worden gebruikt bij drukveranderingstesten voor lekdetectie. Bij deze methode wordt een systeem of component onder druk gezet en vervolgens afgesloten van de drukbron. De druk wordt gedurende een bepaalde tijd gemeten en een significante drukdaling wijst op de aanwezigheid van een lek. Na het onder druk zetten van het systeem kunnen vacuümpompen worden gebruikt om de druk te verlagen naar atmosferische druk, zodat de meting kan worden vergeleken of herhaald.
5. Lekdetectie met massaspectrometer: Lekdetectie met een massaspectrometer is een zeer gevoelige en nauwkeurige methode om lekken te identificeren en te kwantificeren. Hierbij wordt een tracergas, meestal helium, in het te testen systeem of onderdeel gebracht. Een vacuümpomp wordt gebruikt om de omgeving vacuüm te trekken, waarna een massaspectrometer de gasmonsters analyseert op de aanwezigheid van het tracergas. Deze methode maakt een nauwkeurige detectie en kwantificering van lekken mogelijk, zelfs op zeer lage niveaus. Vacuümpompen zijn essentieel voor het creëren van de benodigde vacuümomstandigheden en het garanderen van betrouwbare resultaten.
Samenvattend kunnen vacuümpompen effectief worden gebruikt voor lekdetectie. Ze maken diverse lekdetectiemethoden mogelijk, zoals vacuümverval, bellentesten, heliumlekdetectie, drukveranderingstesten en lekdetectie met massaspectrometrie. Vacuümpompen creëren de benodigde lage druk, helpen bij het evacueren van het te testen systeem of onderdeel en maken nauwkeurige en betrouwbare lekdetectie mogelijk. De keuze van de vacuümpomp hangt af van de specifieke eisen van de lekdetectiemethode en de vereiste gevoeligheid voor de toepassing.
Kunnen vacuümpompen in laboratoria worden gebruikt?
Ja, vacuümpompen worden veelvuldig gebruikt in laboratoria voor uiteenlopende toepassingen. Hier volgt een gedetailleerde uitleg:
Vacuümpompen zijn essentiële hulpmiddelen in laboratoria, omdat ze wetenschappers en onderzoekers in staat stellen vacuüm- of lagedrukomgevingen te creëren en te beheersen. Deze gecontroleerde omstandigheden zijn cruciaal voor diverse wetenschappelijke processen en experimenten. Hieronder volgen enkele belangrijke redenen waarom vacuümpompen in laboratoria worden gebruikt:
1. Verdamping en destillatie: Vacuümpompen worden vaak gebruikt bij verdampings- en destillatieprocessen in laboratoria. Door een vacuüm te creëren, verlagen ze het kookpunt van vloeistoffen, waardoor een zachtere en meer gecontroleerde verdamping mogelijk is. Dit is met name nuttig voor warmtegevoelige stoffen of wanneer nauwkeurige controle over het verdampingsproces vereist is.
2. Filtratie: Vacuümfiltratie is een veelgebruikte techniek in laboratoria voor het scheiden van vaste stoffen van vloeistoffen of gassen. Vacuümpompen creëren zuigkracht, waardoor de vloeistof of het gas door het filter wordt gezogen en de vaste deeltjes achterblijven. Deze methode wordt veel gebruikt in processen zoals monsterpreparatie, microbiologie en analytische chemie.
3. Vriesdrogen: Vacuümpompen spelen een cruciale rol in vriesdroog- of lyofilisatieprocessen. Bij vriesdrogen wordt vocht uit een stof verwijderd terwijl deze bevroren is, waardoor de structuur en eigenschappen behouden blijven. Vacuümpompen zorgen ervoor dat bevroren water direct sublimeert tot damp, waardoor vocht onder lage druk wordt verwijderd.
4. Vacuümovens en -kamers: Vacuümpompen worden in combinatie met vacuümovens en -kamers gebruikt om gecontroleerde lage-drukomgevingen te creëren voor diverse toepassingen. Vacuümovens worden gebruikt voor het drogen van warmtegevoelige materialen, het verwijderen van oplosmiddelen of het uitvoeren van reacties onder verlaagde druk. Vacuümkamers worden gebruikt voor het testen van componenten onder gesimuleerde ruimte- of hooggelegen omstandigheden, het ontgassen van materialen of het bestuderen van vacuümgerelateerde verschijnselen.
5. Analytische instrumenten: Veel analytische instrumenten in laboratoria zijn afhankelijk van vacuümpompen om goed te functioneren. Massaspectrometers, elektronenmicroscopen, apparatuur voor oppervlakteanalyse en andere analytische instrumenten vereisen bijvoorbeeld vaak vacuümomstandigheden om de integriteit van het monster te behouden en nauwkeurige resultaten te verkrijgen.
6. Chemie en materiaalkunde: Vacuümpompen worden gebruikt in talloze experimenten in de chemie en materiaalkunde. Ze worden ingezet voor het ontgassen van monsters, het creëren van gecontroleerde atmosferen, het uitvoeren van reacties onder verlaagde druk of het bestuderen van gasfasereacties. Vacuümpompen worden ook gebruikt bij dunnefilmdepositietechnieken zoals fysische dampafzetting (PVD) en chemische dampafzetting (CVD).
7. Vacuümsystemen voor experimenten: In wetenschappelijk onderzoek worden vacuümsystemen vaak ontworpen en gebouwd voor specifieke experimenten of toepassingen. Deze systemen kunnen meerdere vacuümpompen, kleppen en kamers bevatten om gespecialiseerde vacuümomgevingen te creëren die zijn afgestemd op de eisen van het experiment.
Vacuümpompen zijn over het algemeen veelzijdige instrumenten die veelvuldig worden gebruikt in laboratoria in diverse wetenschappelijke disciplines. Ze stellen onderzoekers in staat om vacuüm- of lagedrukomstandigheden te beheersen en te manipuleren, waardoor een breed scala aan processen, experimenten en analyses mogelijk wordt. De keuze van een vacuümpomp hangt af van factoren zoals het vereiste vacuümniveau, de doorstroomsnelheid, de chemische compatibiliteit en de specifieke toepassingsbehoeften.
bewerkt door CX 2023-12-13
