Descripción del Producto
Descripción del Producto
EM4/EM8
Ultimate pressure:≤ 2 and ≤ 20 mbar
Pumping speed:4÷10 m3/hora
The EM 4 and EM 8 are single-stage rotary vane lubricated pumps with oil recirculation. The rotor is keyed directly CHINAMFG the motor shaft.
The EM 4 and EM 8 are single-stage rotary vane lubricated pumps with oil recirculation.
The rotor is keyed directly CHINAMFG the motor shaft.
The oil tank is provided with a system for separating the oil mists from the exhaust air.
The gas ballast, except for EM4, prevents condensation inside the pump when small quantities of steam are sucked.
The EM 4 and EM 8 pumps are suitable for the evacuation of closed systems or to operate at a constant vacuum included in the following range:
EM 4 – EM 8 from 2 to 300 mbar (absolute)
EM 4 B – EM 8 B from 20 to 850 mbar (absolute)
ACCESORIOS
Los siguientes accesorios son útiles para la instalación y para el control de los parámetros de funcionamiento de la bomba:
-
Filtro de succión externo
-
Vacuum gauges
Especificaciones principales
|
EM4 |
EM8 |
||||
|
Velocidad de bombeo |
m³/h |
50 Hz |
4 |
8,5 |
|
|
60 Hz |
4,8 |
10 |
|||
|
Presión máxima con lastre de gas (abs.) |
mbar |
≤ 2 (≤ 20 /B) |
≤ 2 (≤ 20 /B) |
||
|
Potencia del motor |
kW |
50 Hz |
0,12 |
0,25 |
|
|
60 Hz |
0,15 |
0,30 |
|||
|
Velocidad del motor |
rpm |
50 Hz |
3000 |
3000 |
|
|
60 Hz |
3600 |
3600 |
|||
|
Tolerancia al vapor de agua |
mbar |
/ |
20 |
||
|
Capacidad de bombeo de vapor de agua |
kilogramos/hora |
/ |
0,125 |
||
|
Carga de lubricante |
yo |
0,1 |
0,15 |
||
|
Nivel de presión sonora |
dB(A) |
50 Hz |
57 |
58 |
|
|
60 Hz |
59 |
60 |
|||
|
Dimensiones |
Largo x Ancho x Alto |
mm |
236x129x139 |
300x166x139 |
|
|
Peso |
kilogramo |
5,4 |
11,7 |
||
|
Conexiones* |
Entrada |
1/8″ Gas |
3/8″ Gas |
||
* Otros tipos de conexión disponibles bajo petición CHINAMFG
| Servicio postventa: | 12 meses a partir de la fecha de inicio o 15 meses a partir de |
|---|---|
| Garantía: | 12 meses a partir de la fecha de inicio o 15 meses a partir de |
| Aceite o no: | Aceite |
| Estructura: | Bomba de vacío rotativa |
| Método de extracción: | Bomba de vacío por atrapamiento |
| Grado de vacío: | Vacío |
| Personalización: |
Disponible
|
|
|---|
¿Cuál es el papel de las bombas de vacío en la fabricación de semiconductores?
Las bombas de vacío desempeñan un papel fundamental en los procesos de fabricación de semiconductores. A continuación, una explicación detallada:
La fabricación de semiconductores implica la producción de circuitos integrados (CI) y otros dispositivos semiconductores utilizados en diversas aplicaciones electrónicas. Las bombas de vacío se utilizan ampliamente en todo el proceso de fabricación de semiconductores para crear y mantener las condiciones de vacío necesarias en cada paso de fabricación.
A continuación se presentan algunas funciones clave de las bombas de vacío en la fabricación de semiconductores:
1. Procesos de deposición: Las bombas de vacío se utilizan en procesos de deposición como la deposición física de vapor (PVD) y la deposición química de vapor (CVD). Estos procesos implican la deposición de películas delgadas de materiales sobre obleas semiconductoras para crear diversas capas y patrones. Las bombas de vacío ayudan a crear un entorno de baja presión necesario para un control preciso del proceso de deposición, garantizando una formación de película uniforme y de alta calidad.
2. Grabado y limpieza: Las bombas de vacío se utilizan en los procesos de grabado y limpieza, que implican la eliminación de capas específicas o contaminantes de las obleas semiconductoras. Las técnicas de grabado en seco, como el grabado por plasma y el grabado iónico reactivo, requieren un entorno de vacío para facilitar la ionización y la eliminación del material. Las bombas de vacío ayudan a crear las condiciones de baja presión necesarias para procesos de grabado y limpieza eficientes.
3. Implantación de iones: La implantación de iones es un proceso que introduce impurezas en regiones específicas de una oblea semiconductora para modificar sus propiedades eléctricas. Se utilizan bombas de vacío para evacuar la cámara de implantación de iones, creando el entorno de vacío necesario para una aceleración e implantación precisas y controladas del haz de iones.
4. Manipulación y transferencia de obleas: En los sistemas de manipulación y transferencia de obleas se emplean bombas de vacío. Estos sistemas utilizan succión por vacío para sujetar y manipular de forma segura las obleas semiconductoras durante diversas etapas de fabricación, como la carga y descarga de las cámaras de proceso, la transferencia robótica entre herramientas y la alineación de las obleas.
5. Sistemas de bloqueo de carga: Los sistemas de bloqueo de carga se utilizan para transferir obleas semiconductoras entre las condiciones atmosféricas y el entorno de vacío de las cámaras de proceso. Las bombas de vacío son componentes integrales de los sistemas de bloqueo de carga, ya que crean y mantienen las condiciones de vacío necesarias para la transferencia de obleas, minimizando al mismo tiempo los riesgos de contaminación.
6. Metrología e Inspección: Las bombas de vacío se utilizan en herramientas de metrología e inspección para caracterizar dispositivos semiconductores. Estas herramientas, como los microscopios electrónicos de barrido (MEB) y los sistemas de haz de iones enfocado (FIB), suelen operar en un entorno de vacío para permitir la obtención de imágenes de alta resolución y un análisis preciso de las estructuras y defectos de los semiconductores.
7. Detección de Fugas: Las bombas de vacío se utilizan en sistemas de detección de fugas para identificar y localizar fugas en cámaras de vacío, líneas de proceso y otros componentes. Estos sistemas utilizan bombas de vacío para evacuar el sistema y monitorear cualquier aumento de presión, lo que indica la presencia de fugas.
8. Control del entorno de la sala limpia: Las plantas de fabricación de semiconductores mantienen entornos de sala limpia para evitar la contaminación durante el proceso de fabricación. Se utilizan bombas de vacío en el diseño y la operación de los sistemas de ventilación y filtración de la sala limpia, lo que ayuda a mantener los niveles de limpieza del aire requeridos mediante la eliminación de partículas y el control de los diferenciales de presión del aire.
Las bombas de vacío utilizadas en la fabricación de semiconductores suelen estar especializadas para cumplir con los estrictos requisitos de la industria. Deben proporcionar altos niveles de vacío, un control preciso, bajos niveles de contaminación y fiabilidad para un funcionamiento continuo.
En general, las bombas de vacío son indispensables en la fabricación de semiconductores, ya que permiten la creación de las condiciones de vacío necesarias para diversos procesos, garantizando la producción de dispositivos semiconductores de alta calidad.
Consideraciones para seleccionar una bomba de vacío para aplicaciones de salas blancas
Al seleccionar una bomba de vacío para salas blancas, se deben tener en cuenta varias consideraciones. A continuación, una explicación detallada:
Las salas blancas son entornos controlados que se utilizan en industrias como la fabricación de semiconductores, la farmacéutica, la biotecnología y la microelectrónica. Estos entornos requieren un estricto cumplimiento de las normas de limpieza y control de partículas para evitar la contaminación de procesos o productos sensibles. Seleccionar la bomba de vacío adecuada para aplicaciones de salas blancas es crucial para mantener el nivel de limpieza requerido y minimizar la introducción de contaminantes. A continuación, se presentan algunas consideraciones clave:
1. Limpieza: La limpieza de la bomba de vacío es fundamental en aplicaciones de salas blancas. La bomba debe diseñarse y construirse para minimizar la generación y liberación de partículas, vapores de aceite u otros contaminantes en el ambiente de la sala blanca. Las bombas de vacío sin aceite o secas son las preferidas en aplicaciones de salas blancas, ya que eliminan el riesgo de contaminación por aceite. Además, las bombas con superficies lisas y mínimas grietas son más fáciles de limpiar y mantener, lo que reduce la posibilidad de acumulación de partículas.
2. Desgasificación: La desgasificación se refiere a la liberación de gases o vapores de las superficies de los materiales, incluida la propia bomba de vacío. En aplicaciones de salas blancas, es crucial seleccionar una bomba de vacío con baja desgasificación para evitar la introducción de contaminantes al ambiente. Las bombas de vacío diseñadas específicamente para salas blancas suelen someterse a tratamientos especiales o utilizar materiales con baja desgasificación para minimizar este efecto.
3. Generación de partículas: Las bombas de vacío pueden generar partículas debido a la fricción y el desgaste de las piezas móviles, como rotores o álabes. Estas partículas pueden convertirse en una fuente de contaminación en salas blancas. Al seleccionar una bomba de vacío para aplicaciones en salas blancas, es fundamental considerar el nivel de generación de partículas de la bomba y elegir bombas diseñadas y probadas para minimizar las emisiones de partículas. Las bombas con características como materiales autolubricantes o mecanismos de sellado avanzados pueden ayudar a reducir la generación de partículas.
4. Sistemas de filtración y extracción: Los sistemas de filtración y extracción asociados con la bomba de vacío son fundamentales para mantener los estándares de la sala limpia. La bomba de vacío debe estar equipada con filtros eficientes que capturen y eliminen cualquier partícula o contaminante generado durante su funcionamiento. Los filtros de alta calidad, como los filtros HEPA (filtros de aire de partículas de alta eficiencia), pueden atrapar eficazmente incluso las partículas más pequeñas. El sistema de extracción debe estar diseñado adecuadamente para garantizar que el aire filtrado salga de la sala limpia o pase por un proceso de filtración adicional antes de reintroducirse en el ambiente.
5. Ruido y vibraciones: El ruido y las vibraciones generados por las bombas de vacío pueden afectar las operaciones de la sala limpia. El ruido excesivo puede afectar el entorno de trabajo y comprometer la comunicación, mientras que las vibraciones pueden interrumpir procesos o equipos sensibles. Se recomienda elegir bombas de vacío diseñadas específicamente para un funcionamiento silencioso y que incorporen medidas para minimizar las vibraciones. Las bombas con amortiguación de ruido y sistemas de aislamiento de vibraciones pueden ayudar a mantener un entorno de sala limpia silencioso y estable.
6. Cumplimiento de las normas: Las aplicaciones de salas blancas suelen tener normas o regulaciones específicas de la industria que deben cumplirse. Al seleccionar una bomba de vacío, es importante asegurarse de que cumpla con las normas y requisitos pertinentes para salas blancas. Se pueden considerar las normas ISO de limpieza, los niveles de clasificación de salas blancas y las directrices específicas de la industria sobre recuento de partículas, niveles de desgasificación o niveles de ruido permitidos. Los fabricantes que proporcionan documentación y certificaciones relacionadas con la idoneidad para salas blancas pueden ayudar a demostrar el cumplimiento.
7. Mantenimiento y facilidad de servicio: El mantenimiento adecuado y el servicio regular de las bombas de vacío son esenciales para su funcionamiento fiable y eficiente. Al elegir una bomba de vacío para salas blancas, considere factores como la facilidad de mantenimiento, la disponibilidad de repuestos y el acceso a servicio y soporte técnico del fabricante. Las bombas con funciones de mantenimiento fáciles de usar, instrucciones de servicio claras y una red de atención al cliente eficiente pueden ayudar a minimizar el tiempo de inactividad y garantizar el rendimiento continuo de la sala blanca.
En resumen, la selección de una bomba de vacío para aplicaciones en salas blancas requiere una cuidadosa consideración de factores como la limpieza, las características de desgasificación, la generación de partículas, los sistemas de filtración y extracción, el ruido y las vibraciones, el cumplimiento de las normas y los requisitos de mantenimiento. Al elegir bombas de vacío diseñadas específicamente para salas blancas y considerar estos factores clave, los operadores de salas blancas pueden mantener el nivel de limpieza requerido y minimizar el riesgo de contaminación en sus procesos y productos críticos.
¿Hay diferentes tipos de bombas de vacío disponibles?
Sí, existen varios tipos de bombas de vacío, cada una diseñada para aplicaciones y principios de funcionamiento específicos. A continuación, una explicación detallada:
Las bombas de vacío se clasifican según sus principios de funcionamiento, mecanismos y el tipo de vacío que pueden generar. Algunos tipos comunes de bombas de vacío incluyen:
1. Bombas de vacío de paletas rotativas:
– Descripción: Las bombas de paletas rotativas son bombas de desplazamiento positivo que utilizan paletas giratorias para crear vacío. Las paletas se deslizan dentro y fuera de las ranuras del rotor de la bomba, atrapando y comprimiendo el gas para crear succión y generar vacío.
– Aplicaciones: Las bombas de vacío de paletas rotativas se utilizan ampliamente en aplicaciones que requieren niveles de vacío moderados, como sistemas de vacío de laboratorio, envasado, refrigeración y aire acondicionado.
2. Bombas de vacío de diafragma:
Descripción: Las bombas de diafragma utilizan un diafragma flexible que se mueve hacia arriba y hacia abajo para crear vacío. El diafragma separa la cámara de vacío del mecanismo de accionamiento, lo que evita la contaminación y garantiza un funcionamiento sin aceite.
– Aplicaciones: Las bombas de vacío de diafragma se utilizan comúnmente en laboratorios, equipos médicos, instrumentos de análisis y aplicaciones donde se requiere vacío sin aceite o resistente a productos químicos.
3. Bombas de vacío de desplazamiento:
Descripción: Las bombas de espiral tienen dos espirales —una fija y otra orbital— que crean una serie de bolsas de gas móviles en forma de medialuna. A medida que las espirales se mueven, el gas queda atrapado y comprimido continuamente, lo que genera vacío.
– Aplicaciones: Las bombas de vacío scroll son adecuadas para aplicaciones que requieren un vacío limpio y seco, como instrumentos analíticos, secado al vacío y recubrimiento al vacío.
4. Bombas de vacío de pistón:
Descripción: Las bombas de pistón utilizan pistones alternativos para crear vacío comprimiendo gas y liberándolo mediante válvulas. Pueden alcanzar altos niveles de vacío, pero pueden requerir lubricación.
– Aplicaciones: Las bombas de vacío de pistón se utilizan en aplicaciones que requieren altos niveles de vacío, como hornos de vacío, liofilización y fabricación de semiconductores.
5. Bombas de vacío moleculares turbo:
Descripción: Las turbobombas utilizan álabes o impulsores giratorios de alta velocidad para crear un flujo molecular, bombeando continuamente moléculas de gas fuera del sistema. Suelen requerir una bomba auxiliar para su funcionamiento.
– Aplicaciones: Las bombas turbomoleculares se utilizan en aplicaciones de alto vacío, como fabricación de semiconductores, laboratorios de investigación y espectrometría de masas.
6. Bombas de vacío de difusión:
Descripción: Las bombas de difusión se basan en la difusión de moléculas de gas y su posterior eliminación mediante un chorro de vapor a alta velocidad. Operan a altos niveles de vacío y requieren una bomba auxiliar.
– Aplicaciones: Las bombas de difusión se utilizan comúnmente en aplicaciones que requieren altos niveles de vacío, como metalurgia al vacío, cámaras de simulación espacial y aceleradores de partículas.
7. Bombas de vacío criogénicas:
– Descripción: Las bombas criogénicas utilizan temperaturas extremadamente bajas para condensar y capturar moléculas de gas, creando vacío. Su funcionamiento se basa en fluidos criogénicos, como nitrógeno líquido o helio.
– Aplicaciones: Las bombas de vacío criogénicas se utilizan en aplicaciones de ultra alto vacío, como la investigación de física de partículas, la ciencia de los materiales y los reactores de fusión.
Estos son solo algunos ejemplos de los diferentes tipos de bombas de vacío disponibles. Cada tipo tiene sus ventajas, limitaciones y es adecuado para aplicaciones específicas. La elección de la bomba de vacío depende de factores como el nivel de vacío requerido, la compatibilidad con gases, la fiabilidad, el coste y las necesidades específicas de la aplicación.
editor por CX 2023-11-08
