アイテムの説明
水封式ポンプは、当初は自吸式ポンプとして利用されていました。インペラ、ポンプ本体、吸込ディスクと排気ディスク、ポンプ本体壁に形成された水封リング、吸込口、排気口、補助排気弁などで構成されています。
飲料水用リングポンプ方式
飲料水用リングポンプ方式（4枚組）
真空ろ過、真空水移送、真空供給、真空蒸発、真空集中、真空再収集、真空脱気などの工業製造工程の多くで、水リングポンプが広く利用されています。真空応用技術の急速な発展に伴い、水リングポンプは粗真空の取得においてより注目されるようになりました。水リングポンプ内のガス圧縮は等温であるため、可燃性ガスや爆発性ガスを除去できるだけでなく、粉塵や水を含むガスも除去できるため、水リングポンプの用途は拡大しています。
ポンプ本体には、作動液として適切な量の水が充填されています。インペラが時計回りに回転すると、水はインペラによって周囲に飛び散ります。遠心力によって、水はポンプキャビティの形状によって決まる、ほぼ等厚の閉じたリングを形成します。水リングの下側の内表面はインペラハブに接しており、水リングの上側の内表面はブレードの先端に接しています（実際には、ブレードは水リングに一定の深さで挿入されています）。この時点で、インペラハブと水リングの間に三日月形の空間が形成され、この空間はインペラによってブレードの数に等しい複数の小さな空洞に分割されます。インペラの下部を0°を始点とすると、インペラが180°回転して小さな空洞の量が小さいものから大きいものへと移動し、終端で吸込口に接続され、このときガスが吸入されます。吸込小空洞の終端が吸込口から隔離されると、インペラが回転を続け、小さな空洞が大きくなるにつれて小さくなり、燃料が圧縮されます。小さな空洞が排気口に接続されると、燃料がポンプから排出されます。
要約すると、飲料水用リングポンプは、ポンプ室の容積を変化させることで吸引、圧縮、排気を行うため、可変容積式真空ポンプに分類されます。
インペラはポンプ本体内に偏心して取り付けられています。インペラが回転すると、ポンプ本体に流入する水はインペラによって周囲に投げ出されます。遠心力によって、水はポンプキャビティの形状とほぼ同じ厚さの閉じた水リングを形成します。水リングの上部内面はインペラのホイールハブに接しており、水リングの下部内面はブレードの頂部に接しています。このとき、インペラハブと水リングの間に三日月形の空間が形成され、この空間はインペラによってブレードの数に等しい多数の小さな空洞に分割されます。インペラの上部を始点とし、回転インペラの入口で180°回転させると、小空洞の容積が徐々に小さくなり、圧力が徐々に低下し、吸引口または排出トレイを備えた鉱山では、小空洞領域内の圧力がポンプ容器の圧力よりも小さくなると、ガス力の平衡理論に従って、ポンプされたガスが小空洞に吸い込まれ続け、吸引プロセスになります。吸引が吸引口の隔離によって完了すると、小空洞の容積は徐々に減少し、圧力が上昇し、このとき圧縮プロセスになり、圧縮された燃料が排気力に達すると、補助排気弁から排出されます。その領域から、通気孔と連動した小容量の空洞が圧力上昇をさらに低減し、ガス圧が排気圧よりも高い場合、圧縮空気はポンプの継続的なプロセスの中で通気孔から排出され、吸引、圧縮、排気のプロセスを繰り返し実行して、連続抽出の目的を達成します。
良い点
シンプルな構造、製造精度への要求の軽減、加工の容易さ。
コンパクトな構造で、ポンプの回転数も大きく、通常は減速機なしでモーターに直接接続できます。そのため、構成サイズが小さくても大きな吐出量が得られ、設置面積も小さくて済みます。
圧縮燃料は基本的に等温状態であり、つまり圧縮ガソリンの温度変化は極めて小さい。
ポンプ内部に金属製の摩擦面がないため、ポンプの潤滑は不要で、メンテナンスも非常に容易です。回転部品と固定部品間のシールは、水シールによって直接行うことができます。
均一な吸引力、安定した信頼性の高い機能、簡単な操作、便利な日常メンテナンス。
典型的な故障とトラブルシューティング方法
初期段階では、真空ポンプの性能が不十分です。
考えられる原因: モーターの電力不足により、速度が不十分になる可能性があります。 飲料水の供給が不十分です。 インペラと分配プレートの間の隙間が大きすぎます。 メカニカルシールの損傷により、飲料水が漏れます。 インペラの摩耗が大きすぎます。 循環飲料水が排出されません。
除去方法: 電源電圧がモーターの定格電圧範囲内にあるかどうかを確認します。給水量を増やします (適切な選択で制御する必要があります。通常、モーターの過負荷加熱につながります)。インペラと分配プレート間のクリアランスを調整します (通常 0.15～0.20 mm)。メカニカルシールを交換します。インペラを交換します。給水出口配管を確認します。
２、音を再生または開始できない
考えられるトリガー: モーターの電源電圧が不足している。モーターの相欠相運転。ポンプが長期間使用されないため腐食が発生する。ポンプの吸込粒子。インペラ抵抗分配板。
トラブルシューティングのアプローチ: 電源電圧が低すぎないか確認します。モーターの配線がしっかりしているか確認します。ポンプが長期間腐食しない場合は、錆除去剤を挿入するか、ポンプカバーを開けて人工的に錆を取り除くことができます。ポンプカバーを開けて異物を取り除きます。インペラと分配板の間の長さを調整します。
3．モーターの過熱
考えられる原因: 水の供給量が多すぎる、モーターの過負荷の可能性、モーターの段損失、通気口の詰まり、インペラが他の部品を引きずっている。
除去方法: 飲料水の供給量を通常の量に減らします (水源についてはポンプの操作推奨事項を参照してください)。配線がしっかりしているかどうかを確認します。排気口を確認します。ポンプカバーを開けて、インペラと他の部分の間のクリアランスを調整します。
4. 動きが不十分
考えられる原因：パイプの漏れ抵抗の低下が増加する
排除方法: ジョイントのメカニカルシールを確認します。パイプとバルブに不具合がないか確認します。
通常の定期メンテナンス
（１）通常動作時には、ベアリングの動作と潤滑を確認するために考慮する必要があります。温度（ベアリングと外輪）は通常、周囲温度より１５℃〜２０℃高く、最高温度は３０℃〜３５℃を超えてはなりません。つまり、ベアリングフレームの外輪の実際の温度は５５℃〜６０℃を超えてはなりません。通常動作ベアリングは、１２ヶ月に３〜４回給油する必要があり、ベアリングは少なくとも１年に１回は清掃し、すべての潤滑油を交換する必要があります。
（２）通常の作業では、パッキンは頻繁に圧縮する必要があります。使用によってパッキンが必要なシール機能を保証できなくなった場合は、新しいパッキンに交換する必要があります。メカニカルシールが使用されていて漏れが見つかった場合は、メカニカルシールのスタティックシールとスタティックリングが破損しているか、または補助シールが劣化していないかを確認してください。このような場合は、新しい部品に交換する必要があります。
（３）異音が発生した場合は、インクルードの両端のストレインプレートを取り外し、インペラとディストリビュータの２つのストップ面が破損していないか、排気バルブプレートが正常かどうかを確認してください。
選考基準
1、水リングポンプの真空仕様単位 2、飲料水リングポンプのポンプ速度要件 3、飲料水リングポンプの運転状況 4、H2Oリングポンプのモーター出力 5、飲料水リングポンプの電圧要件 6、飲料水リングポンプの材質仕様。
関心を寄せるべき問題
取り除く
分解する前に、ポンプキャビティ内の飲料水を排出し、燃料水分離器と吸込管部品を取り外す必要があります。分解手順では、すべてのガスケットを非常に慎重に取り外す必要があります。損傷がある場合は、同じガスケットを交換しなければなりません。ポンプは、次の手順で後端（カップリングやプーリーストッパーなし）から取り外します。
（１）後部シャフトベアリングキャップを取り外し、フックハンドで２つの丸ナットを緩め、ベアリングシートとベアリングを取り外します。
（２）パッキングランドナットを緩めてパッキングランドを取り外す
（３）ポンプカバーとポンプ本体を繋いでいる六角ボルトと、ポンプ保護部の底部にあるボルトを外し、背面カバーを取り外します。
（４）ポンプ本体全体を取り除く
（５）もう一方のストッパーのフットボルトを緩める
（６）カップリングを取り外し、シャフト上の重要な部品を取り除く
（７）ベアリング要素を直前に取り除く
（８）前面の保護カバーを取り外し、シャフトとインペラを一緒に取り外します。
分解後、部品の接合面には油を塗布し、ねじ山にも油を塗布して保護する必要があります。
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/ セット | |
1セット （最小注文数） |
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| アフターサービス: | 1年 |
|---|---|
| 保証： | 1年 |
| 石油か否か： | オイルフリー |
| 構造： | ロータリー真空ポンプ |
| 排気方式： | 容積式ポンプ |
| 真空度: | 低真空 |
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/ セット | |
1セット （最小注文数） |
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| アフターサービス: | 1年 |
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| 保証： | 1年 |
| 石油か否か： | オイルフリー |
| 構造： | ロータリー真空ポンプ |
| 排気方式： | 容積式ポンプ |
| 真空度: | 低真空 |
真空ポンプの基礎知識
真空ポンプは、密閉された空間から気体分子を吸引し、部分的な真空状態を維持する装置です。主な役割は、所定の空間（複数可）内に相対的な真空を作り出すことです。真空ポンプには多くの種類があります。この記事では、それらの仕組み、種類、そして用途について説明します。 
仕組み
真空ポンプは、周囲の大気圧よりも高い圧力をかけることで、システムからガスを除去する機械装置です。真空ポンプの動作原理は、ガスの移動と捕捉の原理に基づいています。真空ポンプは、真空度と1立方センチメートルあたりに除去できる分子数によって分類されます。中真空から高真空では、ガス分子が互いに衝突することで粘性流が発生します。真空度が上昇すると、分子流または遷移流が発生します。
真空ポンプは、多用途のツールとして複数の部品で構成されています。主要部品の一つはモーターで、ローターとステーターで構成されています。ローターとステーターにはコイルが内蔵されており、励磁されると磁場が発生します。どちらの部品も、ポンプの重量を支えるベースに取り付ける必要があります。また、潤滑と冷却のためにシステム全体にオイルを循環させるオイルドレンも備えています。
もう一つの真空ポンプは液封式真空ポンプです。このポンプは、インペラをブレードの上または下に配置することで動作します。液封式ポンプはインペラの速度を調整することもできます。ただし、このタイプのポンプを使用する場合は、専門家に相談することをお勧めします。
真空ポンプは、気体分子を圧力の高い領域または低い領域に移動させることで機能します。圧力が低下すると、分子の除去は困難になります。産業用真空システムでは、1～10-6 Torrの範囲で動作可能なポンプが必要です。
タイプ
真空ポンプには様々な種類があり、実験室など、様々な用途で使用されています。これらのポンプの主な目的は、真空チャンバーから空気または気体分子を除去することです。ポンプの種類によって、この目的を達成する技術は異なります。容積式ポンプ、液封式ポンプ、分子移動式ポンプ、エントラップメント式ポンプなどがあります。
これらのポンプの一部は、真空管、ブラウン管、電灯、半導体製造などの産業プロセスで使用されています。また、自動車の油圧部品や航空機の動力源としても使用されています。ジャイロスコープは通常、これらのポンプによって制御されています。場合によっては、医療現場でも使用されています。
真空ポンプの仕組みは、ポンプで汲み出すガスの種類によって異なります。主に容積型、負圧型、そして運動量移動型の3つのタイプがあります。潤滑の種類に応じて、これらの原理はさらに異なるタイプのポンプに分類されます。例えば、ドライ真空ポンプはガスや蒸気の影響を受けにくいです。
真空ポンプのもう1つのタイプは、ロータリーベーンポンプと呼ばれます。このタイプのポンプは、ローターと真空チャンバーという2つの主要部品で構成されています。これらのポンプは、可動部品をポンプケーシングに対して回転させることによって作動します。ロータリーポンプの接合面は、低圧側への流体の漏れを防ぐため、非常に小さなクリアランスで設計されています。低脈動と高い連続流量が求められる真空用途に適しています。ただし、研削媒体には適していません。
真空ポンプには様々な種類があり、用途に適したものを選ぶことが重要です。ポンプの種類は、システムのニーズと目的によって異なります。大型のものは連続運転が可能で、小型のものは断続運転に適しています。 
適用する
真空ポンプは、様々な産業プロセスや科学プロセスで使用されています。例えば、真空管、ブラウン管、電球の製造に使用されています。また、半導体プロセスにも使用されています。真空ポンプは、他の機器の機械的支持としても使用されます。例えば、自動車のエンジンには、航空機の油圧部品に動力を供給するために複数の真空ポンプが搭載されている場合があります。さらに、核融合研究でもよく使用されます。
実験室で最も一般的に使用される真空ポンプは、ロータリーベーンポンプです。このポンプは、円形のハウジング内の一連の回転ブレードに空気流を導くことで動作します。ブレードがハウジングを通過する際に、キャビティ内のガスを除去し、真空状態を作り出します。ロータリーポンプは通常、単段式または二段式で、10～6barの圧力に対応できます。また、排気速度も高速です。
真空ポンプは、ウェハ上に太陽電池を製造する際にも使用されます。これには、ドーピング、拡散、ドライエッチング、プラズマ化学蒸着法（PCVD）、バルク粉末生成など、幅広いプロセスが含まれます。これらの用途は、プロセスで使用される真空ポンプの種類に依存しており、選定する真空ポンプは環境に合わせて設計されている必要があります。
真空ポンプにはいくつかの種類がありますが、基本的な動作原理は同じです。真空の種類に応じて、それぞれ機能と容量が異なります。一般的には、容積式ポンプ、ロータリーベーンポンプ、液封式ポンプ、分子送出ポンプに分類されます。
メンテナンス
一般的なメンテナンスおよび修理の責任者は、研究責任者（PI）です。Agknxsは、PIおよびその他の関連する研究室スタッフによって遵守され、承認される必要があります。Agknxsは、真空ポンプ機器の日常メンテナンスに関するガイドラインを提供します。Agknxsは、真空ポンプ機器の詳細な定期点検に代わるものではありません。定期的な点検は、認定/資格を有するサービス担当者によって実施される必要があります。機器が故障した場合は、PIまたはRPに連絡して支援を受ける必要があります。
まず、真空ポンプに緩んだ部品がないか確認してください。入口圧力計と出口圧力計が開いていることを確認してください。適切な圧力が表示されたら、ゲートバルブを開いてください。また、真空ポンプのヘッドと流量も確認してください。流量とヘッドはラベルに記載されている範囲内である必要があります。ベアリング温度は35°F（約17℃）以内、最高温度は80°F（約27℃）を超えてはなりません。真空ポンプのブッシングがひどく摩耗している場合は交換してください。
真空ポンプが複数回の異常な動作状態を経験した場合は、性能試験を実施する必要があります。結果を基準値と比較し、異常を特定する必要があります。ポンプの早期故障を回避するには、予知保全への体系的なアプローチが不可欠です。これは半導体業界において比較的新しい分野ですが、大手半導体企業や主要な真空ポンプサプライヤーは、まだ一貫したアプローチを開発していません。
真空ポンプの性能評価のため、簡略化されたポンプダウン試験法を提案する。この方法には、模擬曝気現場試験と4つのポンプ性能指標が含まれる。性能指標は、ガス負荷時、アイドル時、およびガス負荷依存試験条件下で評価される。 
料金
真空ポンプの総コストは、初期投資と継続的なメンテナンス費用という2つの主要な要素で構成されます。後者は初期投資の約4～5倍の費用がかかるため、最も高額な要素です。したがって、よりエネルギー効率の高いモデルを選択することは、システム全体のコストと投資回収期間を削減する良い方法です。
真空ポンプの初期費用は約$786です。オイル潤滑式ロータリーベーンポンプが最も安価で、オイルフリー式ロータリーベーンポンプは若干高価です。非接触式ポンプも若干高価です。真空ポンプのコストはそれほど高くありませんが、慎重に検討する必要がある要素です。
真空ポンプを選ぶ際には、排気するガスの種類を考慮することが重要です。空気のみの排気に適したポンプもあれば、ヘリウムの排気用に設計されたポンプもあります。オイルフリーエアは、空気とは異なる排気速度特性を持っています。そのため、ポンプがお客様の要件を満たすことを確認するには、媒体の特性を考慮する必要があります。真空ポンプのコストは、日々の運転コストとメンテナンスコストがはるかに高額になる可能性があるため、購入価格よりもはるかに高くなる可能性があります。
潤滑式真空ポンプは耐久性が高く、価格も手頃ですが、メンテナンスの頻度が高くなる場合があります。メンテナンス費用は、ポンプで送り出すガスの種類によって異なります。軽いガスはゆっくりとポンプで送り出す必要があり、重いガスはより速くポンプで送り出す必要があります。真空ポンプのメンテナンスレベルは、潤滑の頻度によっても異なります。
ダイヤフラム真空ポンプは定期的なメンテナンスとオイル交換が必要です。ダイヤフラムポンプのオイルは、使用時間3000時間ごとに交換する必要があります。また、このポンプは耐薬品性と耐腐食性を備えているため、酸性や粘性物質にも使用できます。
czh 編集者 2023-03-27
